【doc】磁控溅射镀膜工艺及其发展现状

【doc】磁控溅射镀膜 工艺 钢结构制作工艺流程车尿素生产工艺流程自动玻璃钢生产工艺2工艺纪律检查制度q345焊接工艺规程 及其发展现状 磁控溅射镀膜工艺及其发展现状 @镶睦多璐旃捧域钔, 磁控溅射镀膜工艺及其发展现状 一 ,前言 镀膜玻璃是一种在玻璃 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 面上镀一层或多 层金属氧化物薄膜,使其具有一种或多种功能 的玻璃深加工产品自七十年代开始,在世界 发达国家和地区,传统的单一采光材料——普 通建筑玻璃,已逐步为具有节能,控光,调温,改 变墙体结构以及具有艺术装饰效果的多功能玻 璃新产品所替代,如茶色玻璃,中空玻璃,镀膜 玻璃等,其中又以镀膜玻璃尤为引人注目,发展 也颇为迅速,如欧洲共同体国家在1985年建筑 玻璃总量的三分之二用的是镀膜玻璃,美国镀 膜玻璃的市场在八十年代就已达5000万平方米 /年,在香港,新加坡,台湾等经济蝎起的东南 亚国家和地区,镀膜玻璃的使甩也日渐盛行. 镀膜玻璃作为一种新型的建筑装饰材料已得到 了人们普遍的肯定和喜爱 目前生产镀膜玻璃所采用的 方法 快递客服问题件处理详细方法山木方法pdf计算方法pdf华与华方法下载八字理论方法下载 大体上可 分为浸渍法,化学气相沉积法,真空蒸发法,磁 控溅射法以及在线镀膜等五种方法. 浸渍法是将玻璃浸入盛有金属有机化合物 溶液的槽中,取出后进入炉中加热,去除有机 物,从而形成了金属氧化物膜层.由于攫溃法 使玻璃两边涂膜,且低边部膜层较厚,同时可供 水解盐类不多,因而在国内未得到很好推广. 化学气相沉积法是将金属化合物加热成蒸 汽状,然后涂到加热后的玻璃表面上.这种方 法由于受到所镀物质的限制,且在大板上也难 涂匀,因而其推广也受到限制. 真空蒸发法是在真空条件下,通过电加热 使镀膜材料蒸发,由固相转化为气相,从而沉积 在玻璃表面上,形成稳定的薄膜.此法的不足 之处是所镀膜层不太均匀,有疵点,易脱落.只 能生产单层金属镀膜玻璃,颜色也难以控制. 磁控溅射法是在真空条件下电离惰性气 体,气体离子在电场的作用下.轰击金属靶材使 金属原子沉积到玻璃表面上 在线镀膜一般是在浮法玻璃生产线上进 行,如电浮法,热喷涂等方法,目前我国较少使 用. 在这些方法中,磁控溅射镀膜法是七十年 代末期发展起来的一种先进的工艺方法,它的 膜层由多层金属或金属氧化层组成,允许任意 调节能量通过率,能量反射率,具有良好的外观 美学救果,它克服了其它几种生产方法存在的 一 些缺点,因而目前国际上广泛采用这一方 法.磁控溅射镀膜玻璃已越来越多地被运用于 现代建筑并逐渐在民用住宅,汽车,电子等领域 使用,具有广阔的发展前景 二,磁控溅射镀膜工艺 (一)工艺原理及特点 磁控溅射是一种新型的高速,低温溅射镀 膜方法,它是在专门的真空设备中,借助于高压 直线溅射装置进行的.磁控溅射镀膜工艺的原 理是:将玻璃送入设有磁控阴极和溅射气体(氩 一 25— 气,氮气或氧气)的真空室内,阴极加负电压,在 真空室内辉光放电,产生等离子体,由于金属靶 材带负电,等离子体中带正电的气体离子被加 0,100~-伏阳极 速,并以相当于靶极位降U的能量撞击靶面,将 金属靶的原子轰出来,使之沉淀在玻璃表面上 而形成金属膜工艺原理如下图所示: 磁控灏射镀膜工艺原理圈 磁控溅射镀膜工艺的显着特点是:可以多 层镀膜(双层膜,三层膜等),通过更换金属靶材 即可获得不同品种的产品,如热反射玻璃,低辐 射玻璃,导电玻璃以及镜面膜玻璃等. 采用磁控溅射镀膜工艺生产的镀膜玻璃膜 层均匀牢固,色泽美观.品种繁多,产品范围广, 而且产量可太可小,并能按用户要求加工所需 的数量和质量,灵活性太,生命力强,这是其它 方法所不及的 (二)工艺流程 磁控溅射镀膜的简单工艺流程如下: 原片改切一装片一人口等待一洗涤干燥一 初检一真空过渡室一镀膜一真空过渡室一洗涤 干燥一检验一卸片一包装一人库 (三)设备简介 目前世界上生产磁控溅射镀膜设备最着名 的厂家有美国爱可(Airco)公司和德国莱宝 (2,3um) (Leybo~d)公司,这两家的设备在生产镀膜玻璃 的工艺原理上是一样的,但叉各有所长,其主要 的区别有以下几个方面: l,德国莱宝公司的镀膜设备所用的抽真空 系统为涡轮分子泵,而美国爱可公司则用的是 油扩散泵.分子泵较油扩散泵精度高,抽真空 时间短,且两年才需更换一次,而油扩散泵每半 年就需更换一次油,每年需清洗一次 2,美国爱可公司发明了C--MAG可旋转式 靶材,利用它可使靶材利用率提高,平均靶材的 利用率一般为20一30,而旋转式靶材的利 用率可提高到70一80;换靶材时间增长,硅 靶材可以在其上应用,且可生产增透膜和镜 膜 3,德国莱宝公司的溅射室由17个分隔闻组 成,它最多可扩充至六个阴极.而美国爱可公 司的溅射室则由单个室(--个阴极)组成,如市 一 26— 场需求旺盛时欲扩大产量,可增加溅射室数量.引进的技术和设备也大都来自这两 个公司. 具有较太的灵活性.(二)分布情况 三,我国的发展现状由于国内目前尚无一个镀膜玻璃方面的统 (--)发展简史计资料,各厂家在引进时也较少互通信息,因而 我国应用磁控溅射镀膜工艺生产镀膜玻璃很难做到知已知彼,给一些厂家及领导 在决策 起始八十年代中期,其时国内一些厂家陆续引上造成一定的困难.为此将近年来收集的资料 进了一批磁控溅射镀膜设备和技术,生产高档和获取的信息整理于下,供国内同行参考 的镀膜玻璃但由于当时人们对镀膜玻璃的功1,北京市:洛阳玻璃厂与韩国一企业合资 能还没有足够的认识,加之价格偏高,国家又采经营的太洋北京牡丹玻璃有限公司幕墙玻璃生 取了一系列的紧缩政策,一批楼,堂,馆所被停产线,93年3月已正式投产.设备和技术估计是 建或缓建,因而镀膜玻璃的市场极不景气磁控从德国莱宝公司引进. 溅射镀膜工艺也未受到人们的重视和青睐.2,河北省目前有两条磁控溅射镀膜玻璃 随着改革开放的不断深人,人民生活水平生产线,一为秦皇岛耀华玻璃厂87年7fl(签约 有了很大的提高,高层建筑,豪华商场和住宅的时间)从美国赛特尔(xyt0rr)公司引进的二手设 不断涌现,以及房地产业和第三产业的崛起,给备,年生产能力为40万平方米.另一为黄骅市, 镀膜玻璃的使用提供了广阔的市场.近几年92年底从德国菜宝公司引进的技术和设备,目 来,国内各地都出现了"镀膜玻璃热,镀膜玻璃前正在进行设备安装. 供不应求,许多厂家也把目光转移到这一赚钱3,山东省:淄博市和莱芜市92年11月从德 的产品上.国内制造的设备大都以真空蒸发和国莱宝公司各引进一条磁控溅射镀膜玻璃生产 化学沉积等方法为主,近几年发展较快.但由线,生产规模均在l00万平方米/年左右.前者 于其还存在着诸如色彩喷涂不均匀,膜层不牢是由淄博建筑陶瓷厂与香港合资建设,目前已 固,色泽不稳定等缺点,产品质量无法与真空磁投产.后者尚在建设中. 控溅射法生产的产品相比拟,因而很难被选用4河南省洛阳玻璃厂与香港东大工业有 于高层建筑及豪华商场上.鉴于磁控溅射镀膜限公司合资经营的洛阳晶润镀膜玻璃有限公 工艺有着其它方法无可比拟的优越性,且我国司,l992年从美国爱可公司引进生产设备和技 还无法制造连续式磁控溅射镀膜设备,许多厂术,生产规模为12o万平方米/年,93年12月在 家便把目光盯上了国外的制造厂家.从1991年洛阳高新技术开发区建成投产. 至1993年仅三年左右时间,沿海一带就相继引5,江苏省:苏州市于1992年l2月与德国莱 进了十余条国外先进的镀膜玻璃生产线,加上宝公司签约引进其生产设备和技术,估计目前 八十年代引进的五条镀膜玻璃生产线,使进口尚在建设中.另外常州通达镀膜玻璃有限公司 的生产线达到y2o条之多,生产能力超过了与美国太阳公司联合投资引进国外全套先进设 1000万平方米.其发展之快争人难以置信.备和技术,使该公司年产量可达1O0万平方米, 由于美国爱可公司和德国莱宝公司制造的成为国内的镀膜玻璃生产基地. 磁控溅射镀膜设备在世界上的知名度,我国所6,上海市:由中国银行上海信托投资咨询 一 27— 公司,中国北方玻璃工业公司,上海耀华玻璃厂 和香港华润(集团)有限公司合资经营的上海阳 光镀膜玻璃有限公司,92年从美国爱可公司引 进磁控溅射镀膜玻璃生产线及从美国格拉斯泰 克公司引进大型水平钢化玻璃设备和技术,可 年产各类镀膜玻璃,钢化玻璃160万平方米,该 线已于93年l1月建成投产,从而满足了上海日 益发展的高档建筑材料的需求. 7,安徽省:蚌埠浮法玻璃公司86年12月(签 约时间)从德国莱宝公司引进设备和技术,年产 量约为28万平方米.该线是我国最早从国外引 进的磁控溅射镀膜玻璃生产线,由于生产规格 偏小,仅能生产i.1x2.1米规格的镀膜玻璃,不 能满足玻璃幕墙对大规格玻璃的需求,因而效 益受到影响. 8,浙江省,杭州耀华幕墙玻璃厂引进了一 条大型磁控溅射镀膜玻璃生产线,估计是从美 国爱可公司引进的设备和技术,目前可能已投 人生产. 9,四JI『省:四川省玻璃厂86年引进美国爱 可公司的设备和技术,其镀膜机为单端式,生产 规模为万平方米/年. 1O,广西:南宁玻璃厂87年l2月(签约时闻)从 美国爱可公司引进磁控溅射镀膜玻璃生产设备 和技术,年产量为50万平方米. 儿,广东省:目前已知的有五个城市六条磁 控溅射镀膜玻璃生产线在生产或正在建设中. 其中南方玻璃有限公司自87年从比利时C?D 进口一套年产8O万平方米的立式镀膜设备后, 由于效益可观,又于91年引进了一套德国莱宝 公司的磁控溅射镀膜玻璃生产设备和技术,该 线可年产100万平方米优质镀膜玻璃.江门恒 辉镀膜玻璃有限公司于92年8月(签约时间)从 德国莱宝公司引进年产1oo万平方米的设备和 技术,93年l2月已投人生产.另外南海和顺德 93年初亦各从德国莱宝公司引进了磁控溅射镀 膜玻璃生产设备和技术,规模与江门相同.珠 海兴业技术玻璃有限公司92年从美国爱可公司 引进磁控溅射镀膜玻璃技术和设备,同时从美 国格拉斯泰克公司引进大型水平钢化玻璃生产 线,目前已投人生产. l2,海南省:海南南光镀膜玻璃有限公司92 年从美国爱可公司引进生产设备和技术.目前 正在进行设备安装 可以看出,由于我国经济发展不平衡,沿海 地区发展速度和消费水平都明显高于内陆地 区,因而引进生产线主饔集中在沿海一带,尤其 是广东,山东,江苏等地,发展更为迅速 (三)存在的一些问 题 快递公司问题件快递公司问题件货款处理关于圆的周长面积重点题型关于解方程组的题及答案关于南海问题 镀膜玻璃的蓬勃发展从一个侧面显示了我 国经济改革的活力,令人欣慰.但在发展过程 中也暴露出一些问题来,值得我们重视. i,在引进设备的谈判中,由于缺乏必要的 资料和信息.缺少专业技术人员,同一厂家的设 备,几乎在同时引进,而价格相差悬殊,有的设 备和技术只花了四百多万元,而有的却花了六, 七百万美元,国家因而损失了大量的外汇. 2,有些厂家在基本条件尚未落实的情况 下,便匆忙引进了设备.在投产之时便处于没 有玻璃原片可供生产之用的窘境,生产难以为 继,如广东和山东的一些厂家便遇到了这一问 题.另外,许多厂家自已不能生产靶材,致使产 品成本居高不下,且难以及时根据市场需求更 换自已的产品 3,国内引进的生产线在94年都将先后投人 生产,届时镀膜玻璃供不应求的局面将大大缓 解,市场竞争将越来越激烈.开发新品种以及 开拓新市场,应引起厂家的足够重视