S-4800日立扫描电子显微镜（SEM）简易操作指南一、开机前准备1.1制备样品（带口罩与手套进行）SEM样品制备相对简单，原则上只要能放入样品室的样品，都可进行观察。但需注意以下事项：a)样品在物理上和化学上必须要保持稳定，在真空中和电子束轰击下不挥发或变形，没有腐蚀性和放射性。（通常是干燥固体。）b)由于光源是电子，样品必须导电，非导电样品可喷镀金膜。金膜在一定程度上会影响样品原有形貌。（若样品本身导电，衬底不导电，如蓝宝石上的ZnO，只需用导电胶把样品
表
关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf
面连到样品台。）c)由于物镜有强磁性，带有磁性的样品制样必须非常小心，防止在强磁场中样品被吸入物镜或分散在样品室中。通常磁性样品必须退磁，且工作距离（WD）须大于8mm。具体操作过程：(1)按待测样品数量选择样品台，（支持直径d=5mm,15mm,1inch,2inch等规格，若要观测截面可选择带角度的样品台）。(2)剪一小段导电胶，粘到样品台上。若样品为粉末，则把粉末撒到导电胶上，用吸耳球或高压氮气吹扫掉导电胶上未粘紧的粉末；若是块状样品，则把样品牢牢粘到导电胶上，用手轻轻推，样品不会左右晃动。（为观测时方便定位，将样品排列成行（或列），并在行下方（或列左侧）标上数字编号。）(3)样品粘贴完成后，用吸耳球或高压氮气吹扫掉样品台上的粉末、灰尘、水珠、唾沫等（会影响照片质量，甚至使真空度下降而无法加高压，推荐认真执行。）1.2查看真空度打开前面板盖，点击MODE按钮直至IP1指示灯闪，在
登记表
调解登记表下载应聘登记表下载调解登记表下载调解登记表下载调解登记表下载
记下MULTINDICATOR数码显示管的读数，同理读取IP2，IP3并记录。确认IP1<2E-7，IP2<2E-6，IP3<5E-5。（通常情况都是IP1显示0E-8，IP2显示0E-8，IP3显示0E-8或aE-7,1
参数
转速和进给参数表a氧化沟运行参数高温蒸汽处理医疗废物pid参数自整定算法口腔医院集中消毒供应
后，便要对中。加上高压后，单击操作界面上的“Align”键，出现“Alignment”对话框。选中“BeamAlign”，调节旋钮盘STIGMA/ALIGNMENT的X和Y旋钮，使圆斑落在靶环正中。如图11、12所示。图11Alignment对话框图12光斑对中在所需要的放大倍率上，选中“ApertureAlign”，调节旋钮盘的X和Y旋钮（STIGMA/ALIGNMENT）至图像不再摇摆。再选中“StigmaAlign.X”，调节旋钮盘X和Y旋钮，至图像不再摇摆，而是以十字线中心为中心周期性地放大缩小（类似心脏前后跳动），然后选中“StigmaAlign.Y”，同样操作。单击“Close”关闭对话框。(4)聚焦。用鼠标点击倍率状态切换按钮“H/L”，选择低倍模式，点击ABC按钮自动调节对比度和亮度，再滚动轨迹球，寻找明显参照物（可用样品台边缘或样品边缘）。调节粗聚焦Coarse和细聚焦Fine，使轮廓清晰。再点击切换按钮“H/L”，切换到高倍模式,用Coarse/Fine聚焦使轮廓清晰。若在聚焦过程中图像出现位移，则需重复(3)中的“ApertureAlign”，调节旋钮盘的X和Y旋钮至图像不再摇摆，进行物镜可动光阑对中。图13手动操作面板(5)消像散。聚焦和像散校正是相互关联的，需要交替重复进行。推荐在消像散的时候使用“Red1”扫描模式。当没有像散时，在最佳聚焦点上就可以获得清晰的图像；当存在像散时，在欠焦或过焦条件下，图像沿某一方向拉长。在最佳聚焦点上聚焦，交替调节调节旋钮盘STIGMA/ALIGNMENT的X和Y旋钮，调节像散以获得清晰的图像。若在消像散过程中图像发生位移，则需重复步骤(3)中的选中“StigmaAlign.X”，调节旋钮盘STIGMA/ALIGNMENT的X和Y旋钮，至图像不再摇摆，而是以十字线中心为中心周期性地放大缩小（类似心脏前后跳动），然后选中“StigmaAlign.Y”，同样操作，进行像散基准对中。(6)此时通常能观测到清晰图像，若未达到效果则重复步骤(4)(5)。(7)在图像调节结束之后，可以将扫描速度设定为Slow1-4（通常为Slow3），确定图像的质量，若对图像质量比较满意，则点击捕捉“1280”按钮，捕捉的图片将出现在SEM窗口下方。保存照片时，单击该窗口中的图片。选中的图片背景将变成黄色。可用Ctrl键多图选择，或Shift键连续选择。单击窗口左侧的“Save”按钮，出现“ImageSave[CapturedArea]”对话框，如图14所示，可选择路径、文件名、保存信息和图像类型。在“Setup”操作面板的“Record”菜单栏中，可选择照片下方的信息栏所显示的信息。如图15所示。每张照片在完成保存以后，图像右上角都将显示“Saved”红色字样。图14ImageSave[CapturedArea]对话框图15record设置三、关机操作(1)当所有样品测试完成后，单击操作界面左上角“OFF”键关闭高压，然后单击操作界面右上角“HOME”键，等待绿色指示条停止闪烁，样品台恢复至初始交换位置。(2)按照样品交换流程取出样品台。(3)样品交换舱抽真空完成后，可关闭软件——单击操作界面右上角“X”按钮。出现“ExitSEMManager”显示框。一分钟左右，SEM程序即自动退出。(4)关闭前面板显示单元“DISPLAY”开关。关闭循环水。
浙公网安备 33021202002483