（一）真空区域的划分气体温度T293.15K管道始端压力P16.666Pa低真空105～102Pa气体绝热指数k1.4管道末端压力P26.66Pa中真空102～10-1Pa气体相对分子量M29气体常数R8.314KJ/(Kmol.K)L/da高真空10-1～10-5Pa气体粘度μ1.81E-02mPa.s气体密度ρ7.93E-05kg/m301超高真空<10-5Pa管道内径d0.08m管道长度L3m0.050.965圆孔直径d11cm真空设备容积V100.00L0.10.931气体流量Wv112.5M3/h气体质量流量WG8.92E-03kg/h0.20.87(二）流型判断0.40.769管道中平均压力Pm6.663Pa0.60.69Pm.d53.304Pa.cm0.80.625判断FlowTransitionalCLP10.572（四）抽气速度20.4(三）流导计算泵名义抽速up31.25L/s40.25a粘性流动泵抽速效率η0.860.1821圆直长管（L>20d）泵有效抽速u25L/s80.143粘性流动长管流导Cvl1.93E+03cm3/s管道的流导C125L/s100.1172圆孔流导判断直径初选值正确200.0625气体压力比X0.99909991粘性流动圆孔的流导Cvl1071989.26847153cm3/s（按圆孔面积）（五）抽气时间粘性流动圆孔的流导Cvl68607313.1821778cm3/s（按管面积）泵名义抽速up31.25L/s3短管流导（L<20d）设备开始抽气的压力P1100kPaWG/D真空管压力降△p粘性流动短管流导Cvl1.93E+03cm3/s经时间t后的抽气压力P260kPa≥3601907.2073822382b分子流动修正系数K1＜3607.66E-021圆直长管（L>20d）抽气时间t1.63s分子流动长管流导Cml15810.6993340237cm3/s（六）压力降计算2圆孔流导气体质量流量WG8.92E-03kg/h分子流动圆孔流导Cml10242.1952230416cm3/sWG/D1.11E-013短管流导（L<20d）摩擦系数f1（查图）修正系数a0.0625管道摩擦系数λ4分子流动短管流导Cml36307.6367296124cm3/s流体流速u16.22m/sc过渡流动真空管每米管道压力降△p0.077Pa过渡流动流导CT1.40E+05cm3/s管道末端压力P26.44Pa△p/P23.57%判断所选直径正确最终得到的流导C1.40E+05cm3/s查
表
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数据FlowMoleculeFlowTransitionalFlowViscous基准摩擦系数F10.0155管径校正系数CD13.5温度校正系数CT11.5CircleHole10242.19522304161.40E+051071989.26847153基准摩擦系数F20.071管径校正系数CD23.2温度校正系数CT21.67CLP15810.69933402371.40E+051.93E+03CSP36307.63672961241.40E+051.93E+03CLP15810.6993340237140046.9642820541927.5注：1蓝色为需要输入的数据2红色为得到的结果3有批注的地方需特别注意SC1Sc2StSc21232AC1AsAsdAs1232.0
浙公网安备 33021202002483