中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997

中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997中国国家电子级超纯水标准GB/T11446.1-1997电阻率25℃硅铜锌镍钠钾氯>1μm颗粒细菌硝酸根磷酸根硫酸根 ≤μg/L TOC≤μg/L EW-I ≥18* 2 0.2 0.2 0.1 0.5 0.5 1 0.1 0.01 1 1 1 20≥1 ** 10 0 0 1 2 2 1 5 0.1 1 1 1 100 注*（95％时间不低于17），**（95％时间不低于13）细菌个数，最大，个/mL 0.01 0.1 10 100 铜，最...

中国国家电子级超纯水标准 GB/T11446.1-1997电阻率25℃硅铜锌镍钠钾氯>1μm颗粒细菌硝酸根磷酸根硫酸根 ≤μg/L TOC≤μg/L EW-I ≥18* 2 0.2 0.2 0.1 0.5 0.5 1 0.1 0.01 1 1 1 20≥1 ** 10 0 0 1 2 2 1 5 0.1 1 1 1 100 注*（95％时间不低于17），**（95％时间不低于13）细菌个数，最大，个/mL 0.01 0.1 10 100 铜，最大值，μg/L 0.2 1 2 500 锌，最大值，μg/L 0.2 1 5 500 镍，最大值，μg/L 0.1 1 2 500 钠，最大值，μg/L 0.5 2 5 1000 钾，最大值，μg/L 0.5 2 5 500 氯，最大值，μg/L 1 1 10 1000 硝酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 磷酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 硫酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 总有机，最大值，μg/L 20 100 200 1000 电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）硝酸根≤磷酸根≤ μg/L 硫酸根≤μg/L 总有机碳≤μg/L EW-Ⅰ 18（95%的时间不低于17） 2 0.1 0.001 0.2 0.2 0.1 0.5 0.5 1 1 1 1 20 EW-Ⅱ 15（95%的时间不低于13） 10 5 0.1 1 1 1 2 2 1 1 1 1 100

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