硅片黑斑产生原因
硅片清洗时产生的黑斑问题
目前硅片清洗过程中，工艺难以控制，容易产生各种形式的残留物，称之为黑斑，虽不影响产品性能，但由于外观不好，容易被客户投诉。要求开发一套稳定的、对环境友好的清洗工艺，解决清洗中的黑斑问题。
问题分析:主要考虑切割液，再考虑清洗剂。
1、可能采用水性清洗剂
黑斑问题，可能是油性切割液中含有氯、硫等酸性添加剂，在空气中或水中，氧化产生。
解决:分二步清洗。先碳氢清洗，再水洗，都采用超声波清洗。
2、含氯的清洗剂
由于不环保，同时污染工作环境，本人不推荐。
3、碳氢清洗剂
由于碳氢清洗剂，都是小分子的碳氢化合物，本身抗氧化性能非常差，还要水洗，最好再烘干。
线切黑斑的产生
线切黑斑的产生主要的与预清洗工艺有关，单晶对温度，时间很敏感，所以控制脱胶温度和时间很重要，再着就是金属污染，硅被氧化了。目前还比较难对此类黑斑得到定性分析，SEM-EDS，GDMS，ICP-MS都没有很好的结果。
如果切片出现了这种情况，请检查以下以下几个方面:
1、砂浆的回收重复使用的比率达到多少。
2、砂浆的含水率是多少(砂浆的配置环境，湿度是否过大，或出现阴雨天气)。 3、切割出来的片子是否在暴露空气时间过长。
4、浸泡液体的PH值是否呈现碱性。等
核对一下你们的实际情况数据与工艺规定的参数是否出现偏差。
个人认为，黑班的主要原因有以下两个方面:
第一:砂浆的问题。
第二:预清洗，脱胶温度 时间
主要还是清洗工艺的问题,我们也有遇到黑斑,通过控制清洗工艺解决了 预冲洗不到位或者超声波清洗时清洗剂残留-----------烘干后导致黑斑
回收液用多啦! 应该没有补充新液吧!回收液重复使用时有新的有机物产生
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