厚薄片原因
厚薄片分为3种:①整片超厚超薄②中部以上超厚③厚薄不均
原因
分析
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①整片超厚:1.导向条有空隙,入刀口时,随着钢线切割方向,会把碎导向条直接带入线网钢线错位,切割中钢线会瞬间定位一直到切割结束,这样就出现硅片整体超厚现象;2.导轮磨损严重,切割中钢线会互相拥挤,造成厚薄片;3.砂浆密度的控制,在切割中密度是很重要的一个环节,片子上有线痕、TTV、厚薄片,都和密度有直接关系.4.操作工在操作过程中的切割前的准备工作做的不好,跳线多也会造成整片超厚超薄。5.碳化硅的颗粒径大小悬殊比较大。
②中部以上超厚:1.切割室杂质掉进线网,引起线网跳线,造成厚薄片;2.导轮质量发生变化,导轮槽磨损,线网跳线,引起厚薄片;
③厚薄不均(TTV):1.张力异常,造成厚薄不均现象;2流量时流时断,造成切割力不均匀,造成厚薄片。
线痕的原因
1.线痕大致分为9种:①
表
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面均匀线痕②厚薄片表面有一条线痕
③入刀口线痕④出刀口线痕⑤中部线痕⑥硬点线痕⑦进刀口⑧倒角处的线痕⑨出线位置硅棒的线痕
原因分析:
①表面均匀线痕:砂浆更换量不足,钢线带砂量太少,造成没有足够的切割能力,严重摩擦导致均匀线痕,冷却水温度过高,导致均匀线痕;
②厚薄片表面有一条线痕:切割中有杂质进入线网,线网瞬间跳线,钢线脱离线槽,造成切割定位,导致厚薄片,在线网瞬间跳线时,钢线在交叉时,与晶棒摩擦造成一道线痕;导轮表面磨损,钢线会挤在一起,砂浆分布不均匀,造成线痕;
③入刀口线痕:切割入刀口时,导向条有空隙,硬物进入线网,钢线跳线瞬间会引起线痕;
④出刀口均匀线痕:砂浆少更换10~20L,切割快结束后,砂浆的颗粒基本上已经很疲惫了,棱角几乎已经变圆,切割力已经到了疲惫状态,随着钢线不断的磨损,切割力达不到,就会造成出刀口线痕;另外倒角处有残胶,钢线带砂浆经过时残胶阻止砂浆进入也会产生线痕。
⑤中部线痕:切割中,砂浆嘴断流,造成硅片中部线痕;
⑥硬点线痕:硅片来料硬点,切割中小硬点可能不会造成线网断线,但钢线切到硬点时,不会与其他位置切割力一样,难免会在硬点处停留数秒,这期间会造成一道线痕;
⑦进刀口:由于刚开始切割,钢线处在不稳定状态,钢线的波动产生的线痕;
⑧倒角处的线痕:由于在粘结硅棒时底部残留有胶,到倒角处钢
线带胶切割引起的线痕;
⑨出线位置硅棒的线痕:钢线磨损量大,造成钢线光洁度、圆度不够,携带砂浆数量低,切削能力下降,线膨胀系数增大引起的。
崩边
崩边原因分析:
①倒角崩边:粘棒在作业时,由于用较硬的东西取倒角胶时,造成倒角崩边;
②胶面崩边:切片没有切透,晶棒在预清洗脱胶后造成胶面崩边(有时候看上去切透,其实晶棒中部因线弓还没有完全切透);
③预冲洗造成的崩边:在预冲洗环节硅片和玻璃还通过胶层联系在一起,水压较大的话会给硅片造成崩边。
④
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