静压工作原理:
将具有一定压力的液体介质,经节流器输入到导轨面上的气腔,即可形成承载气膜,使导轨面之间处于纯流体摩擦状态。
压缩空气经节流器进入导轨的各个气腔,使运动部件浮起,导轨面被气膜隔开,气腔中的压缩空气不断地通过封气边而流出。当动导轨受到外载荷作用向下产生一个位移时,导轨间隙变小,增加了气体阻力,使气腔中的油压升高,以平衡外载荷。
静压导轨分类
按结构形式分开式、闭式导轨。闭式导轨:在上、下导轨面上都开有气腔,可以承受双向外载荷,保证运动部件工作平稳。而开式导轨则只能承受单向载荷。
一种常见的闭式气体静导轨
气体润滑轴承的优点:极高的运动速度高、极高的精度、无摩擦损耗、免维护、适用温度范围宽、无污染、寿命长
气体润滑轴承的缺点:承载能力低、需要的制造精度高
气体静压导轨关键:设计参数及结构设计(影响到承载能力、刚度、导轨组件运态性能、导轨副组件制造工艺等)、导轨组件的超精密制造与装配、导轨副组件制造过程测量及性能检测
导轨副组件直线度测量
方案
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对于直线度在1um以下的导轨组件,可以采用精密平晶(长度不超过400mm,平晶精度不超过二分之一波长)+平晶调整座(须自己设计制作)+测量仪器(如电感,须注意测头只能用宝石测头,否则划伤平晶
表
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面)。这是最简单的方案,这种方案测量长度不超过400总长,但对于气浮导轨可以以错开方式多次测量来评价全长导轨精度。超过这个长度对于1um以下长度超过400以上的导轨组件,全世界几乎没有解决方案。
对于长导轨(不超过2m),如果要进行全长的测量,可以采用直线度检测仪进行检测。但价格较贵。