JEM2100F-操作手册

1JEOL2100F簡易操作步驟儀器及真空狀態之準備動作1.確認冰水機溫度18℃+-0.5℃，室內溫度20℃+-0.5℃。2.記錄GUNSIPVacuum(60L)<6E-7(Pa)，GUNSIPVacuum(20L)<4E-7(Pa)，ColumnSIPVACUUM<4X10-5若有異常，請通知管理者及填寫記錄。3.確定SF6氣壓>0.3MPa(Column之左後方)。4.將ACDHeat之LN2加滿。其間若發現ACDHeat外圍凝水，則需補充之。5.將CCDcontrol的Cooling切到on。6.升電壓：按Dialogue開啟HighVoltageControl，按Normal/StandBy之Normal，儀器會自動於二十分鐘後將電壓升至200KV(Standbymode設定在160KV)。27.LoadingHolder的步驟a.待Ready燈亮，放入Column。(Holder放入Column時需隨時注意ColumnVacumn變化。8.BEAMON(按左panel中之(BEAM))，此時可檢查Monitor下之ValveSys的V1及V2是否開啟。10.調整OBJ-FOCUS鈕，將小液晶螢幕上之OL(objectivelensvoltage)值調至OL=3.66V，確認DV=0。註：STDFOCUS(R1)使DV=0。11.在ControllerforJEM-2100F/UHR下將滑鼠移至坐標處點右鍵，即可設定所使用之樣品座，而後點選APPLY。12.找到位置，記錄樣品坐標，調Z-high，Focus(R1)。Aligment:以試片中的破洞作校正。1.在40KX以上時，Beam縮小，移至中心。調整CL-Aperture之X,Y軸，使電子束於縮放時均能同心圓放大。註:旋轉BRIGHTNESS(L1)將電子束放大縮小，右手調整CL-Aperture之X,Y軸。註：Underfocus及Overfocus均能使同心圓放大縮小，但是以Overfocus為基準。2.GunDef-Aligment：倍率200KX。2.1在Maintenance-Alignment選取DEFSelector-Gun，轉動BRIGHTNESS鈕將電子束縮小之後，將Spotsize調至1，以ShiftX,Y將電子束移至螢幕正中心。2.2在Maintenance-Alignment選取DEFSelect-CLA(condenserlensaperture)，將Spotsize調至5，以ShiftX,Y將電子束移至螢幕正中心。2.3.重複步驟2.1及步驟2.2，直到電子束亮點不動在正中心為止。SpotSize選在1。3.倍率200K時，Maintenance-Alignment，並同時選取Wobbler-Anode及DEFSelect-Gun，調整DEF/STIGX,Y鈕，將螢幕上搖晃的電子束調整到不動而呈明暗閃爍為止。34.HTCenter：600KX時，Ｂeam縮小，移至中心，選取BrightnessTilt(L1)及DEF將登絲調至中心。5.若Beam橢圓時，選取Cond-Stig(L1)及DEF/STIG，選轉Brighness調整至最佳狀態。6.200KX：調整影像搖擺(在使調beamtilt時影像不會shift)及繞射點搖擺(調beamshift時影像不會tilt)6.1於Maintenance-Alignment選取Compensator-Tilt，點選Wobbler-TiltX時調整DEF/STIGX，使兩亮點重疊在中央，之後將Compensator-Tilt回復6.2於Maintenance-Alignment選取Compensator-Tilt，點選Wobbler-TiltY時調整DEF/STIGY，使兩亮點重疊在中央，之後將Compensator-Tilt及Wobbler-TiltX,Wobbler-TiltY回復。7.物鏡像差調整(OBJStig)7.1.將試片移至待觀測區域。x100K。Z軸聚焦。7.2昇到x600K。將試片邊緣非晶處移到螢幕中心。昇螢幕。7.3以[OBJFORCUS]將影像調到最低對比。7.4[DEFLECTOR](L1)選到[OBJSTIG]，以[DEFX-Y]將非晶影像調到最低對比。7.5若偏離太多,則重覆調整7.3,7.4。註：按除OBJ-STIG鍵以去除Objectivestigmator校正功能。VI.關機(要訣:把一切回歸原狀。)1.在Dialogue項下選Operation的Stage之NTRL(點選XYZTiltX，TiltY)將樣品歸零。2.BEAMOFF(按左panel中之)，此時可檢查Monitor下之ValveSys的V1及V2是否關畢。3.記錄GUNSIPVacuum(60L)<6E-7(Pa)，GUNSIPVacuum(20L)<4E-7(Pa)，ColumnSIPVACUUM<4X10-5DarkCurrent，EmissionCurrent值。4.將CCDcontrol的Cooling切到Off。5.降電壓：按Dialogue開啟HighVoltageControl，按Normal/StandBy之StandBy，儀器會自動將電壓降至160KV(Standbymode設定在160KV)。6.安插加熱棒後，在Maintenance選取ACD&Bakev的ACDHEAT點選ON。7.記錄樣品名稱。8.請使用公用之隨身碟存取檔案.使用完後需物歸原位。備註1.本機型之Condenseraperturesize除全開外共有五種，每置換一種CondenserAperture後必需重新Alignment。2.不同之spotsize校正情況略有差別，一旦選定某一spotsize做校正後，若需換另一spotsize觀察時，需微調CondenserStigmator之Alignment。43.本機種之聚焦半角(αselector)於TEMmode下有三種，然而於高倍率下(>300K)以No.1解析度最佳。4.作不同倍率下的成像將倍率放大時Gun及BEAM會稍有偏移需稍調整。5.視使用者之需要條件而定，若觀察影像倍率不大，可忽略＂(7)物鏡像差調整＂之校正，然而若需做HR-STEM及HR-HAADF者，則需嚴格執行前述每一校正步驟。6.於上述每一步驟完成之後，需再回頭反覆確定之前校正的每一步驟之校正情況。7.切記：關機時需將BeamCurrent(Beam鍵)關閉及試片位置歸零(按Property下之HolderExchange)。8.每次置入Double-holder時需按Holder選擇之Apply鍵。將holder送入column：0.確定上緊樣品座。1.確定holder的O-ring上沒有灰塵或毛屑。2.Ionpump的gauge轉至10-4Pa。3.水平握持holder，將guidepin(螺絲突出)對準guidegroove輕推入goniometer中，聽到valve動作的聲音後，將Pump/Airswitch拉起轉至Pump的位置，黃燈亮起。注意：動作至步驟3，此時goniometer於Pumping狀態，切勿驟然抽出holder。4.約等5-10分鐘，綠燈會亮起第一階段送入：將holder順時針輕輕轉動約30度，goniometer與column間的壓差會將holder吸入約0.5cm。第二階段送入：再將holder順時針輕輕轉動約60度到底，goniometer與column間的壓差會將holder吸入。此時吸力強大，手要握緊,使holder慢慢進入column,待guiderod(黑色突出片)完全進入guidehole即完成動作。過程中並注意SIP真空度變化。將doubletilt的Y-tilt插座插入。將holder取出column：1.將doubletilt的Y-tilt插座拔下2.將holder拉出到底，逆時針轉動約60度到底3.將holder再拉出，逆時針轉動約30度，此時guiderod(黑色突出片)在12點鐘位置注意:完成步驟3.後，動作即停止不可再有拉出的動作4.將Pump/Airswitch拉起轉至Air位置，約等30秒後水平取出holder。5FEG操作-EDS按下EDSMODE1.APERTURECENTER﹕使用3﹟COND.APERTURE.(最小點)﹐LEVER左扳(圈入)聚光﹐(SHIFT)對中心﹔展開﹐(機械)對中心TEM和EDS模式都做2.BEAMCENTER﹕在TEM和EDX兩MODE間切換做數次，以SHIFT鈕校正，使兩MODE的光點重合3.HTCENTER﹕(BRIT-DEF)同ALIGNMENT時的 方法 快递客服问题件处理详细方法山木方法pdf计算方法pdf华与华方法下载八字理论方法下载 ﹐TEM做完切到EDS做﹐如果調整時光束會移﹐ 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 示TILT未校正最亮點在中心(TEM和EDS都要做)﹐TILT調整好之後再做一次HTCENTER4.COND.STIG.:調光束之外廓，使光點最小OBJ.STIG.:TEM：調光束之中心點及肋條，NBD：調光束之中心亮點位置FEG操作-NBDCOND.APERTURE.:#4or5(電子束光點很微弱，調整時要很小心)按下NBDMODE(調整方法與EDX相同)1.APERTURECENTER﹕使用5﹟COND.APERTURE.﹐聚光﹐(SHIFT)對中心﹔展開﹐(機械)對中心，TEM和NBD模式都做2.BEAMCENTER﹕(SHIFT)在間來回做數次3.HTCENTER﹕(BRIT-DEF)同ALIGNMENT時的方法﹐TEM做完切到NBD做﹐如果調整時光束會移﹐表示TILT未校正最亮點在中心(TEM和EDS都要做)﹐TILT調整好之後再做一次HTCENTER※TILT未校正好，會使得BEAM無法聚到最小COND.STIG.:TEM：調光束之外形最小NBD：調光束之圓形外廓OBJ.STIG.:TEM：調光束之中心點及肋條NBD：調光束之中心亮點位置4.打REFERENCE及PRECIPITATE時，應使用相同的DIFF.FOCUS值