高度可调的晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号CN213103038U(45)授权公告日2021.05.04(21)申请号202021418359.8(22)申请日2020.07.17(73)专利权人常州铭赛机器人科技股份有限公司地址213100江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城哈工大铭赛科技大厦(72)发明人林翔　周典虬　黄国伟　(74)专利代理机构常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙)32409代理人赵旭(51)Int.Cl.B05D3/02(2006.01)B05C5/02(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)实用新型名称高度可调的晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机(57)摘要本实用新型公开了一种高度可调的晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机，高度可调的晶圆加热装置包括：底板；支撑杆，设于底板；发热支撑台，设于支撑杆且与底板间隔开；加热器，加热器设于发热支撑台；高度调节组件，高度调节组件设于发热支撑台与支撑杆之间以调节发热支撑台的水平高度。该晶圆加热装置通过底板、支撑杆、发热支撑台、加热器和高度调节组件相配合，发热支撑台与支撑杆之间的距离可调节，可将发热支撑台调节到水平状态，使加热器的加热面的各个部位与晶圆之间的距离相同，晶圆各部位的温度均匀。加热器距离底板的高度可调节，可以避免加热器与底板直接接触，提高了生产安全性，且具有设置简单，易于实施等优点。CN213103038UCN213103038U权　利　要　求　书1/1页1.一种高度可调的晶圆加热装置，其特征在于，包括：底板；支撑杆，所述支撑杆设于所述底板；发热支撑台，所述发热支撑台设于所述支撑杆且与所述底板间隔开；加热器，所述加热器设于所述发热支撑台；高度调节组件，所述高度调节组件设于所述发热支撑台与所述支撑杆之间以调节所述发热支撑台的水平高度。2.根据权利要求1所述的高度可调的晶圆加热装置，其特征在于，每个所述支撑杆与所述发热支撑台之间分别设有一个所述高度调节组件。3.根据权利要求1所述的高度可调的晶圆加热装置，其特征在于，所述发热支撑台形成为上端开口的矩形盒体，所述支撑杆为四个且分别设于所述发热支撑台的四个顶角。4.根据权利要求1‑3中任一项所述的高度可调的晶圆加热装置，其特征在于，所述高度调节组件包括：调节座，所述调节座设于所述支撑杆的上端；调节杆，所述调节杆设于所述发热支撑台的下方，所述调节杆与所述调节座可活动地相连以调节所述发热支撑台与所述支撑杆之间的距离。5.根据权利要求4所述的高度可调的晶圆加热装置，其特征在于，所述调节座和所述调节杆的至少一个上设有调节刻度。6.根据权利要求4所述的高度可调的晶圆加热装置，其特征在于，还包括：测高传感器，所述测高传感器设于所述发热支撑台上方以检测所述发热支撑台各部位的高度是否一致。7.根据权利要求6所述的高度可调的晶圆加热装置，其特征在于，所述高度调节组件还包括：调节电机，所述调节电机设于所述调节座与所述调节杆之间以自动调节所述调节座与所述调节杆之间的距离。8.根据权利要求7所述的高度可调的晶圆加热装置，其特征在于，所述调节电机与所述测高传感器相连以根据所述测高传感器检测的结果自动调节所述调节座与所述调节杆之间的距离。9.根据权利要求4所述的高度可调的晶圆加热装置，其特征在于，所述调节座与所述支撑杆一体成型，所述调节杆与所述发热支撑台一体成型。10.一种多工位点胶机，其特征在于，包括权利要求1‑9中任一项所述的高度可调的晶圆加热装置。2CN213103038U说　明　书1/5页高度可调的晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机技术领域[0001]本实用新型涉及点胶机技术领域，具体涉及一种高度可调的晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机。背景技术[0002]随着经济技术的飞速发展，市场对半导体需求的不断增加，晶圆是制造半导体芯片的基本材料，晶圆的点胶技术是先进电子制造业中至为重要的关键性术，其广泛应用于芯片封装和集成电路装备中，其目的是为了减少在产品使用过程中因冷热变化、跌落、振动等因素导致元件的失效机率，从而延长产品的使用寿命。因此，点胶技术作为电子封装技术的关键和核心，其技术水平的提高直接关系到封装技术的优劣。点胶机作为一种新型的自动化设备主要是完成胶体以特定方式通过预先设定的路径点滴到相应位置的功能。[0003]在生产过程中，晶圆需要在加热装置上加热，要达到温度后才能进行点胶，加热装置的加热面的各个部位与晶圆之间的距离要相同，晶圆各部位的温度整体均匀，而不会发生某个局部高，某个局部低的情况。若晶圆各部位的温度不均匀，容易导致晶圆破裂。然而，现有的加热装置与晶圆的距离都是固定的，当加热装置的各部位的高度不一致时，加热装置的高度不可调节，会导致加热装置的加热面的各个部位与晶圆之间的距离不相同，导致晶圆温度不均匀。实用新型内容[0004]本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。[0005]为此，本实用新型提出一种高度可调的晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机，使加热器的加热面的各个部位与晶圆之间的距离相同，晶圆各部位的温度均匀。[0006]本实用新型还提出一种具有高度可调的晶圆加热装置的多工位点胶机，该多工位点胶机具有生产效率高，产品质量好等优点。[0007]根据本实用新型第一方面实施例的高度可调的晶圆加热装置，包括：底板；支撑杆，所述支撑杆设于所述底板；发热支撑台，所述发热支撑台设于所述支撑杆且与所述底板间隔开；加热器，所述加热器设于所述发热支撑台；高度调节组件，所述高度调节组件设于所述发热支撑台与所述支撑杆之间以调节所述发热支撑台的高度。[0008]根据本实用新型实施例的高度可调的晶圆加热装置，通过底板、支撑杆、发热支撑台、加热器和高度调节组件相配合，发热支撑台与支撑杆之间的距离可调节，可将发热支撑台调节到水平状态，使加热器的加热面的各个部位与晶圆之间的距离相同，晶圆各部位的温度均匀。加热器距离底板的高度可调节，可以避免加热器与底板直接接触，提高了生产安全性，具有设置简单，易于实施等优点。[0009]根据本实用新型一个实施例，每个所述支撑杆与所述发热支撑台之间分别设有一个所述高度调节组件。[0010]根据本实用新型一个实施例，所述发热支撑台形成为上端开口的矩形盒体，所述3CN213103038U说　明　书2/5页支撑杆为四个且分别设于所述发热支撑台的四个顶角。[0011]根据本实用新型一个实施例，所述高度调节组件包括：调节座，所述调节座设于所述支撑杆的上端；调节杆，所述调节杆设于所述发热支撑台的下方，所述调节杆与所述调节座可活动地相连以调节所述发热支撑台与所述支撑杆之间的距离。[0012]根据本实用新型一个实施例，所述调节座和所述调节杆的至少一个上设有调节刻度。[0013]根据本实用新型一个实施例，所述的高度可调的晶圆加热装置还包括：测高传感器，所述测高传感器设于所述发热支撑台上方以检测所述发热支撑台各部位的高度是否一致。[0014]根据本实用新型一个实施例，所述高度调节组件还包括：调节电机，所述调节电机设于所述调节座与所述调节杆之间以自动调节所述调节座与所述调节杆之间的距离。[0015]根据本实用新型一个实施例，所述调节电机与所述测高传感器相连以根据所述测高传感器检测的结果自动调节所述调节座与所述调节杆之间的距离。[0016]根据本实用新型一个实施例，所述调节座与所述支撑杆一体成型，所述调节杆与所述发热支撑台一体成型。[0017]根据本实用新型第二方面实施例的多工位点胶机，包括根据上述任一实施例所述的高度可调的晶圆加热装置。[0018]本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。附图说明[0019]本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：[0020]图1是根据本实用新型实施例的高度可调的晶圆加热装置位于预热区的结构示意图；[0021]图2是根据本实用新型实施例的高度可调的晶圆加热装置位于点胶区的主示图；[0022]图3是根据本实用新型实施例的高度可调的晶圆加热装置位于点胶区的结构示意图；[0023]图4是根据本实用新型实施例的高度可调的晶圆加热装置测的测高传感器的结构示图；[0024]附图标记：[0025]高度可调的晶圆加热装置210；[0026]底板230；[0027]支撑杆240；[0028]高度调节组件241；调节座242；调节杆243；测高传感器245；[0029]发热支撑台250；[0030]加热器260；[0031]点胶机本体400；4CN213103038U说　明　书3/5页具体实施方式[0032]下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。[0033]在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。[0034]在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。[0035]下面参考附图具体描述根据本实用新型实施例的高度可调的晶圆加热装置210及具有其的多工位点胶机。[0036]如图1至图3所示，根据本实用新型实施例的高度可调的晶圆加热装置210，包括底板230、支撑杆240、发热支撑台250、加热器260和高度调节组件241。[0037]具体而言，根据本实用新型实施例的高度可调的晶圆加热装置210，支撑杆240设于底板230，发热支撑台250设于支撑杆240且与底板230间隔开，加热器260设于发热支撑台250，高度调节组件241设于发热支撑台250与支撑杆240之间以调节发热支撑台250的高度。[0038]换言之，根据本实用新型实施例的高度可调的晶圆加热装置210，主要由底板230、支撑杆240、发热支撑台250、加热器260和高度调节组件241组成。支撑杆240设在底板230和发热支撑台250之间，通过支撑杆240能够支撑发热支撑台250。加热器260可位于发热支撑台250的上方，通过在发热支撑台250与支撑杆240之间设置高度调节组件241，可以调节发热支撑台250与底板230间的距离，使得发热支撑台250保持水平状态，从而保证晶圆的各个部位与加热面之间的距离相同，确保晶圆的受热均匀性。[0039]由此，根据本实用新型实施例的高度可调的晶圆加热装置210，通过采用底板230、支撑杆240、发热支撑台250、加热器260和高度调节组件241相结合，发热支撑台250与支撑杆240之间的距离可调节，可将发热支撑台250调节到水平状态，使加热器260的加热面的各个部位与晶圆之间的距离相同，保证晶圆各部位的受热均匀。加热器260距离底板230的高度可调节，可以避免加热器260与底板230直接接触，提高了生产安全性，具有设置简单，易于实施等优点。[0040]根据本实用新型的一个实施例，每个支撑杆240与发热支撑台250之间分别设有一个高度调节组件241。每个支撑杆240与发热支撑台250之间都对应一个高度调节组件241，通过调节高度调节组件241可快速使每个支撑杆240与发热支撑台250之间的距离发生改5CN213103038U说　明　书4/5页变，进而使发热支撑台250保持水平。通过设置多个高度调节组件241，可提高调节效率。[0041]可选地，发热支撑台250形成为上端开口的矩形盒体，支撑杆240为四个且分别设于发热支撑台250的四个顶角。发热支撑台250采用上端开口的矩形盒体的设计，方便在上方放置加热器260。发热支撑台250的四个顶角分别采用四个支撑杆240进行支撑，可以提高发热支撑台250的稳定性。[0042]根据本实用新型的一个实施例，高度调节组件241包括调节座242和调节杆243，调节座242设于支撑杆240的上端，调节杆243设于发热支撑台250的下方，调节杆243与调节座242可活动地相连以调节发热支撑台250与支撑杆240之间的距离。通过采用调节座242和调节杆243相配合的结构，可调节发热支撑台250与支撑杆240之间的高度，使发热支撑台250处于水平状态，进而保证加热器260的加热面的各个部位与晶圆之间的距离相同。[0043]进一步地，调节座242和调节杆243的至少一个上设有调节刻度。通过在调节座242或者调节杆243上设有刻度，利用刻度对高度调节进行参考，便于发热支撑台250与支撑杆240之间高度的调节，且可提高调节精确度。[0044]如图4所示，在本实用新型的一些具体实施方式中，高度可调的晶圆加热装置210还包括测高传感器245，测高传感器245设于发热支撑台250上方以检测发热支撑台250各部位的高度是否一致。具体地，测高传感器245设在点胶机本体400上。当发热支撑台250各部位的高度不一致时，测高传感器245可以检测到并发出信号，由此可调节高度调节组件241使发热支撑台250各部位的高度一致，进一步地提高了调节精确度，并且易于监控各个支撑杆240到发热支撑台250的距离是否一致，相比于人工监测，更加的敏捷。[0045]可选地，高度调节组件241还包括调节电机，调节电机设于调节座242与调节杆243之间以自动调节调节座242与调节杆243之间的距离。通过调节电机可以自动且平稳地驱动调节杆243，从而改变调节座242与调节杆243之间的距离，与手动调节相比更加快速，便于操控，提高了机械自动化程度。[0046]进一步地，调节电机与测高传感器245相连以根据测高传感器245检测的结果自动调节调节座242与调节杆243之间的距离，也就是说，调节电机能够根据测高传感器245的结果自动进行调节，具有自动化程度高，调节精确，节约人力等优点。[0047]优选地，调节座242与支撑杆240一体成型，调节杆243与发热支撑台250一体成型。采用一体成型减少组装步骤，降低多个零件所带来的高度误差，便于操控与安装，降低了生产加工成本。[0048]总而言之，根据本实用新型实施例中的高度可调的晶圆加热装置210，通过采用高度调节组件241，可实现自动控制发热支撑台250与各个支撑杆240的距离，使发热支撑台250的各部位的高度一致，即加热器260的加热面的各个部位与晶圆之间的距离相同，该晶圆加热装置210具有自动化程度高，调节精确，节约人力和晶圆受热均匀等优点。[0049]根据本实用新型实施例的多工位点胶机包括根据上述任一实施例的高度可调的晶圆加热装置210，由于根据本实用新型实施例的高度可调的晶圆加热装置210具有上述技术效果，因此，根据本实用新型实施例的多工位点胶机也具有相应的技术效果，即可实现自动控制发热支撑台250与各个支撑杆240的距离，发热支撑台250各部位的高度一致，具有自动化程度高，调节精确，节约人力的优点，能够进一步使得晶圆各部位的温度均匀，保证晶圆质量。6CN213103038U说　明　书5/5页[0050]根据本实用新型实施例的多工位点胶机的其他结构和操作对于本领域技术人员而言都是可以理解并且容易实现的，因此不再详细描述。[0051]在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。[0052]尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。7CN213103038U说　明　书　附　图1/2页图1图28CN213103038U说　明　书　附　图2/2页图3图49