传播优秀Word版文档,希望对您有帮助,可双击去除!传播优秀Word版文档,希望对您有帮助,可双击去除!传播优秀Word版文档,希望对您有帮助,可双击去除!实验十一扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验一、实验目的:了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法。二、实验仪器压力传感器模块、温度传感器模块、数显单元、直流稳压源+5V、±15V。三、实验原理在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法,摩托罗拉公司设计出X形硅压力传感器如下图所示:在单晶硅膜片
表
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面形成4个阻值相等的电阻条。并将它们连接成惠斯通电桥,电桥电源端和输出端引出,用制造集成电路的方法封装起来,制成扩散硅压阻式压力传感器。扩散硅压力传感器的工作原理:在X形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流,当敏感芯片没有外加压力作用,内部电桥处于平衡状态,当有剪切力作用时,在垂直电流方向将会产生电场变化,该电场的变化引起电位变化,则在端可得到被与电流垂直方向的两测压力引起的输出电压Uo。(11-1)式中d为元件两端距离。实验接线图如图11-2所示,MPX10有4个引出脚,1脚接地、2脚为Uo+、3脚接+5V电源、4脚为Uo-;当P1>P2时,输出为正;P1
报告
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1.根据实验所得数据,计算压力传感器输入P(P1-P2)—输出Uo2曲线。计算灵敏度L=ΔU/ΔP,非线性误差δf。图11-2扩散硅压力传感器接线图