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布线机器人主手(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111140502A(43)申请公布日2020.05.12(21)申请号201911038656.1B60T13/52(2006.01)(22)申请日2019.10.29(30)优先权数据2018-2086632018.11.06JP2018-2370772018.12.19JP(71)申请人株式会社三国地址日本东京都(72)发明人小仓崇宽 (74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司11002代理人张晶 谢顺星(51)Int.Cl....

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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111140502A(43)申请公布日2020.05.12(21)申请号201911038656.1B60T13/52(2006.01)(22)申请日2019.10.29(30)优先权数据2018-2086632018.11.06JP2018-2370772018.12.19JP(71)申请人株式会社三国地址日本东京都(72)发明人小仓崇宽 (74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司11002代理人张晶 谢顺星(51)Int.Cl.F04C18/344(2006.01)F04C25/02(2006.01)F04C29/12(2006.01)权利要求 关于书的成语关于读书的排比句社区图书漂流公约怎么写关于读书的小报汉书pdf 1页说明书7页附图7页(54)发明名称真空泵(57)摘要技术问题:提供一种能够抑制部件件数增加并且能够抑制液体从排气口进入的真空泵。解决 方案 气瓶 现场处置方案 .pdf气瓶 现场处置方案 .doc见习基地管理方案.doc关于群访事件的化解方案建筑工地扬尘治理专项方案下载 :真空泵(2)具备:泵室(5);吸气通道(6),其用于向泵室(5)引导气体;排气通道(8),其包含向大气开放的排气口(14),并从泵室(5)向排气口(14)引导气体;可动部(4),其用于向泵室(5)吸入气体以及从泵室(5)排出气体;以及阀体(90),其能够封闭排气口(14)。CN111140502ACN111140502A权 利 要 求 书1/1页1.一种真空泵,其具备:泵室;吸气通道,其用于向所述泵室引导气体;排气通道,其包含向大气开放的排气口,从所述泵室向所述排气口引导气体;可动部,其用于向所述泵室吸入气体以及从所述泵室排出气体;以及阀体,其能够封闭所述排气口。2.根据权利要求1所述的真空泵,其特征在于,所述真空泵还具备用于支撑所述阀体的支撑部,所述阀体在支撑于所述支撑部的状态下与所述排气口分离。3.根据权利要求2所述的真空泵,其特征在于,所述排气口朝向下方开口,所述阀体在支撑于所述支撑部的状态下位于所述排气口的下方,所述阀体的比重小于1。4.根据权利要求2或3所述的真空泵,其特征在于,所述支撑部与形成所述泵室、所述吸气通道以及所述排气通道的泵壳的至少一部分由相同材料形成为一体。5.根据权利要求2或3所述的真空泵,其特征在于,所述支撑部包含在支撑所述阀体的状态下使所述排气口与所述真空泵的外部连通的缺口部。6.根据权利要求2或3所述的真空泵,其特征在于,所述阀体形成为球状。7.根据权利要求2或3所述的真空泵,其特征在于,所述排气口的出口部形成朝向排气的下游侧扩开的锥状。8.根据权利要求1~3的任一项所述的真空泵,其特征在于,所述真空泵还具备覆盖所述排气口的周围的排气口罩盖部。9.根据权利要求8所述的真空泵,其特征在于,所述支撑部设置于所述排气口罩盖部的下端部,与所述排气口罩盖部由相同材料形成为一体。10.根据权利要求1所述的真空泵,其特征在于,所述真空泵还具备朝向所述排气口对所述阀体施力的施力部件。2CN111140502A说 明 书1/7页真空泵技术领域[0001]本公开涉及一种真空泵。背景技术[0002]以往,如例如专利文献1所述那样,有时为了使汽车等车辆中的制动助力器的负压室内成为负压而使用真空泵。真空泵具备泵室、和用于向泵室吸入气体以及从泵室排出气体的可动部。现有技术文献专利文献[0003]专利文献1:日本专利公开2014-25413号公报发明内容(一)要解决的技术问题[0004]上述的真空泵大多装配于车辆的引擎室,然而根据情况不同,也有时装配于接近地面的位置,根据装配位置不同,当车辆在较深的水坑中行驶时,真空泵会浸水。在真空泵浸水的情况下,如果从排气口进入的液体流入泵室,则有可能使可动部不能正常动作,且不能发挥泵作用。特别地,在真空泵结束动作时(泵电源刚刚断开之后),由于泵室及消声室内是负压,因此要通过从排气口吸入大气而使泵室内回到大气压。因此,假设在真空泵处于浸水的状态下结束动作时,容易从排气口吸入液体。[0005]关于这一点,在专利文献1中未公开与真空泵浸水造成的影响及其对策相关的见解。[0006]本发明的至少一个实施方式鉴于诸如上述的现有技术的问题而作出,其目的在于,提供一种能够在真空泵浸水时抑制液体从排气口进入的真空泵。(二)技术方案[0007](1)本发明的至少一个实施方式的真空泵具备:泵室;吸气通道,其用于向泵室引导气体;排气通道,其包含向大气开放的排气口,从泵室向排气口引导气体;可动部,其用于向泵室吸入气体以及从泵室排出气体;以及阀体,其能够封闭排气口。[0008](2)在一些实施方式中,在上述(1)的结构中,也可以是真空泵还具备用于支撑阀体的支撑部,阀体在支撑于支撑部的状态下与排气口分离。[0009](3)在一些实施方式中,在上述(2)的结构中,也可以是排气口朝向下方开口,阀体在支撑于支撑部的状态下位于排气口的下方,阀体的比重小于1。[0010](4)在一些实施方式中,在上述(2)或(3)的结构中,也可以是支撑部与形成泵室、吸气通道以及排气通道的泵壳的至少一部分由相同材料形成为一体。[0011](5)在一些实施方式中,在上述(2)~(4)的任意一个结构中,也可以是支撑部包含在支撑阀体的状态下使排气口与真空泵的外部连通的缺口部。[0012](6)在一些实施方式中,在上述(2)~(5)的任意一个结构中,也可以是阀体形成为3CN111140502A说 明 书2/7页球状。[0013](7)在一些实施方式中,在上述(2)~(6)的任意一个结构中,也可以是排气口的出口部形成朝向排气的下游侧扩开的锥状。[0014](8)在一些实施方式中,在上述(1)~(7)的任意一个结构中,也可以是真空泵还具备覆盖排气口的周围的排气口罩盖部。[0015](9)在一些实施方式中,在上述(8)的结构中,也可以是支撑部设置于排气口罩盖部的下端部,与排气口罩盖部由相同材料形成为一体。[0016](10)在一些实施方式中,在上述(1)的结构中,也可以是真空泵还具备朝向排气口对阀体施力的施力部件。(三)有益效果[0017]根据本发明的至少一个实施方式,能够提供一种在真空泵浸水时能够抑制液体从排气口进入的真空泵。附图说明[0018]图1是 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 示一个实施方式的真空泵2的示意性分解立体图。图2是图1所示的真空泵2的局部切开剖视图。图3是图1及图2所示的真空泵2上的排气口14的局部放大剖视图。图4是拆卸了顶盖44的状态下的真空泵2的俯视图。图5是一个实施方式的真空泵2上的排气口14的局部放大剖视图,其中,图5的(A)表示排气口14的打开状态,图5的(B)表示排气口14的关闭状态。图6是一个实施方式的真空泵2上的排气口14的局部放大剖视图,其中,图6的(A)表示泵工作时的排气口14的状态,图6的(B)表示泵刚刚停止之后的排气口14的状态。图7是另一实施方式的真空泵2上的排气口14的局部放大剖视图。附图标记说明2-真空泵;4-可动部;5-泵室;6-吸气通道;8-排气通道;10-泵壳;12-排气口罩盖部;14-排气口;15-出口部;90-阀体;92-支撑部;94-缺口部;98-施力部件。具体实施方式[0019]下面参照附图对本发明一些实施方式进行说明。但是,作为实施方式记载的或者在附图中示出的构成部件的尺寸、材质、形状、其相对配置等并不表示将本发明的范围限定于此,仅是单纯的说明例。例如,“某个方向上”、“沿着某个方向”、“平行”、“正交”、“中心”、“同心”或者“同轴”等表示相对的或者绝对的配置的表达不仅严格地表示那样的配置,也表示以公差、或者能够获得相同功能程度的角度、距离相对位移的状态。另外,例如,表示四边形状、圆筒形状等形状的表达不仅表示几何学上严格意义上的四边形状、圆筒形状等形状,也表示在能够获得相同效果的范围内包含凹凸部、倒角部等的形状。另一方面,“存在”、“具有”、“具备”、“包括”、或者“有”一个构成要素的表达不是排除其它构成要素的存在的排他性表达。4CN111140502A说 明 书3/7页[0020]图1是表示本发明的一个实施方式的真空泵2的示意性分解立体图。图2是图1所示的真空泵2的局部切开剖视图。图3是图1及图2所示的真空泵2上的排气口14的局部放大剖视图。图4是拆卸了顶盖44的状态下的真空泵2的俯视图。图示的示例性真空泵2是用于使汽车等车辆上的制动助力器(真空助力器(マスターバック))的负压室内成为负压的电动真空泵。在下文中,所谓的“上”及“下”表示真空泵2设置于车辆的状态下的“上”及“下”来进行说明。此外,例如,在后述的转子38的旋转轴方向上,可以将顶盖44侧作为上、将马达66侧作为下来规定上下。[0021]如图1及图2所示,真空泵2具备:泵室5;吸气通道6,其用于向泵室5引导气体;排气通道8,其包含向大气开放的排气口14,并从泵室5向排气口14引导气体;可动部4,其用于向泵室5吸入气体以及从泵室5排出气体;以及阀体90,其作为能够封闭排气口14的栓。另外,真空泵2具备容纳可动部4的泵壳10。[0022]泵壳10包含:泵壳主体16,其容纳可动部4;泵盖18,其与泵壳主体16分体设置,并覆盖可动部4的一侧(在图示的方式中是转子38的上侧);顶盖44,其覆盖泵盖18的上侧;以及底盖68,其设置于泵壳主体16与马达66之间,并覆盖泵壳主体16的下侧。如图1及图2所示,泵壳主体16与泵盖18作为可分离的不同部件构成,并利用作为紧固部材的螺栓46而紧固。泵盖18与顶盖44分体设置,顶盖44、泵盖18以及泵壳主体16通过作为紧固部材的螺栓48(参照图1)而紧固在一起。底盖68与泵壳主体16分体设置,并利用作为紧固部材的螺栓49(参照图1)紧固。[0023]可动部4配置于泵室5内,并由作为驱动装置的马达66驱动。该可动部4包含在外周面32形成有多个切缝36的转子38、和分别配置于多个切缝36的多个叶片40。泵壳10的泵壳主体16包含与转子38的外周面32对置的凸轮面42。[0024]这样,在图示的示例性方式中,真空泵2构成为叶片式的电动真空泵,通过利用马达66使与马达66的轴(未示出)连结的转子38旋转,从而叶片40通过离心力沿着转子38的切缝36向转子38的径向外侧移动,叶片40的前端部13在凸轮面42上滑动。此外,在图1及图2中,在转子38的轴向上,顶盖44侧是上侧,马达66侧是下侧。在图示的示例性真空泵2中,在轴向上,从下侧开始按顺序配置有马达66、底盖68、泵壳主体16、转子38、泵盖18以及顶盖44。[0025]如图2所示,在底盖68上设置有用于从制动助力器的负压室(未示出)吸气的吸气管部70。泵盖18包含构成为使气体从吸气通道6向泵室5流入的吸气口34,经由吸气管部70进入吸气通道6的气体经由泵盖18的吸气口34向泵室5流入。[0026]排气通道8包含:消声室72(扩张室),其作为扩张型吸声器,形成于泵壳主体16与底盖68之间;以及消声室74(扩张室),其作为扩张型吸声器,形成于泵盖18与顶盖44之间。泵室5的排气经由形成于泵壳主体16的排出口(未示出)向消声室72排出。通过了消声室72的排气经由贯穿泵壳主体16和泵盖18的贯穿孔76向消声室74流入。流入到消声室74的排气通过排气口14从排气口罩盖部12的后述的贯穿孔22的下端向泵壳10的外部排出。[0027]图5是一个实施方式的真空泵2上的排气口14的局部放大剖视图,图5的(A)表示真空泵2没浸水时的排气口14的打开状态,图5的(B)表示真空泵2浸水时的排气口14的关闭状态。阀体90构成为能够将排气口14的状态转换成例如图5的(A)所示的打开状态、和图5的5CN111140502A说 明 书4/7页(B)所示的关闭状态。打开状态是阀体90与排气口14分离,并且排气通道8内的空间与外部空气在真空泵2的排气侧连通的状态。关闭状态是阀体90与排气口14抵接并封闭排气口14,排气通道8内的空间与外部空气在真空泵2的排气侧未连通的状态。[0028]根据该结构,如图5的(B)所示,即使在真空泵2浸水的情况下,通过阀体90封闭排气口14,也能够抑制从排气口14经由排气通道8向泵室5进入水。由此,能够抑制在真空泵2浸水时,水对可动部4的动作带来影响。[0029]具体而言,在液体经由排气口14进入了泵室5内的情况下,当液体附着于叶片40的表面时,则叶片40难以沿着切缝36顺畅地移动,不能稳定地发挥泵作用。关于这一点,在上述结构的真空泵2中,能够抑制在叶片40的表面附着液体而使叶片40顺畅地移动,因此能够稳定地发挥泵功能。[0030]在一些实施方式中,例如,如图1~图3、图5的(A)及图5的(B)所示,真空泵2还可以具备用于支撑阀体90的支撑部92。在这种情况下,例如,如图2及图3所示,阀体90可以在支撑于支撑部92的状态下与排气口14分离。即,支撑部92可以构成为,在通常情况下(真空泵2未浸水时),支撑阀体90使得排气口14成为打开状态,即所谓常开(ノーマルオープン)的状态。[0031]这样,阀体90在支撑于支撑部92的状态下与排气口14分离,因此能够抑制在例如寒冷场所等低温环境下,由于冻结而使阀体90固定于排气口14而不能排出排气。另外,能够抑制阀体90对排气阻力带来的影响并且抑制泵性能降低,除此之外,例如不需要设置用于使阀体90工作的弹簧等的空间。而且,即使在是叶片式旋转泵的情况下,由于阀体90不会利用排气脉动反复开闭,因此能够抑制产生阀体90与排气口14的敲击声。另外,即使在低温环境下,也能够抑制由于冻结而使阀体90和排气口14固定,从而不能排出排气的状况,因此能够抑制泵室5破损。此外,根据本发明人对上述结构对泵性能的影响进行的认真研究,确认了在阀体90的敲击声方面没有问题。[0032]在一些实施方式中,例如,如图1~图3、图5的(A)及图5的(B)所示,排气口14可以朝向下方开口。在这种情况下,阀体90在支撑于支撑部92的状态下可以位于排气口14的下方,阀体90的比重可以小于1。阀体90可以由例如树脂形成。[0033]这样,根据比重小于1的阀体90位于朝向下方开口的排气口14下方的结构,当真空泵2浸水时,配置于排气口14的下方的阀体90如图5的(B)所示那样通过浮力漂浮,位于阀体90的上方的排气口14被阀体90封闭。另一方面,当消除真空泵2浸水的状态时,阀体90下降,如图5的(A)所示那样,支撑部92支撑在排气口14的下方。因而,不需要在浸水时或者未浸水时用于使阀体90移动的动力源,能够易于转换阀体90对排气口14的开闭。另外,能够以简单的结构实现在真空泵2未浸水的通常情况下,排气口14未被阀体90封闭的、所谓常开的开闭机构。因而,能够抑制排气阻力增大,并且能够抑制在低温环境下阀体90由于冻结固定于排气口14而不能排出排气。此外,通过将阀体的比重设定为比1足够低,能够提高关闭排气口14时的阀体90的响应速度。[0034]在此,对随着将真空泵2从工作状态转换到非工作状态的阀体90的动作进行说明。图6是一个实施方式的真空泵2上的排气口14的局部放大剖视图,图6的(A)表示泵工作时的排气口14的状态,图6的(B)表示泵刚刚停止之后的排气口14的状态。如图6的(A)所示,在真空泵2工作时,由于排气从排气口14排出,因此能够利用排气压6CN111140502A说 明 书5/7页抑制液体进入排气口14。之后,当真空泵2结束动作时(刚刚断开泵电源之后,即马达66刚刚停止之后),如图6的(B)所示,由于泵室5、消声室72以及消声室74的压力是负压,因此当来自排气口14的排气停止排出时,从排气口14向泵内吸入空气。利用该负压,阀体90被吸引到排气口14,排气口14成为关闭状态,因此抑制液体进入排气口14。另外,能够抑制在泵刚刚停止之后,粉尘、异物从排气口14进入。[0035]在一些实施方式中,例如,如图2及图3所示,支撑部92可以与形成泵室5、吸气通道6以及排气通道8的泵壳10的至少一部分由相同材料形成为一体。即,泵壳10的至少一部分与支撑部92可以作为不能分离的一个部件而由相同材料构成。在图示的方式中,支撑部92和泵壳主体16由相同材料构成为一体。根据该结构,由于支撑阀体90的支撑部92与泵壳10的至少一部分由相同材料形成为一体,因此能够抑制部件件数增加,并且能够抑制在真空泵2浸水时,水对可动部4的动作带来影响。[0036]在一些实施方式中,例如,如图2~图5所示,真空泵2可以具备覆盖排气口14的周围的排气口罩盖部12。例如,如图1~图3所示,排气口罩盖部12可以与泵壳10的至少一部分由相同材料构成为一体。即,泵壳10的至少一部分与排气口罩盖部12可以作为不能分离的一个部件而由相同材料构成。[0037]这样,根据具备排气口罩盖部12的结构,由于排气口14的周围被排气口罩盖部12覆盖,而能够抑制在排气口14溅上水花等液体,因此能够抑制排气口14腐蚀,并且能够抑制该液体冻结引起的排气口14封闭。另外,由于排气口14难以直接暴露于外部空气、以及行驶中所受到的冷空气中,因此能够有效地抑制排气口14冻结所造成的封闭。因而,能够减小排气口14的口径而抑制排气噪音,并且能够抑制真空泵2的泵性能降低。另外,能够抑制飞石等造成的排气口14的变形及破损。[0038]在一些实施方式中,如例如图3所示,泵壳主体16与排气口罩盖部12由相同材料构成为一体。即,泵壳主体16与排气口罩盖部12作为不能分离的一个部件而由相同材料构成。[0039]根据该结构,通过使泵壳主体16与排气口罩盖部12由相同材料构成为一体,而抑制部件件数增加及排气口14的腐蚀、冻结,除了上述效果之外,实现排气口罩盖部12的高刚性,并能够抑制振动等引起的排气口罩盖部12的变形。[0040]在一些实施方式中,例如,如图3所示,泵盖18包含形成排气口14的排气管部20,排气口罩盖部12包含供排气管部20插通的贯穿孔22。这样,泵壳10包含具有排气管部20和排气口罩盖部12的双重管结构59。在图示的方式中,排气管部20以从泵盖18的下侧的面39朝向下方突出的方式设置,排气口14及贯穿孔22分别沿着上下方向延伸。贯穿孔22的下端78呈向大气开放。在此,排气管部20的长度设定为比贯穿孔22的长度短,排气管部20的前端79位于贯穿孔22的中途。[0041]根据该结构,通过在与泵壳主体16一体构成的排气口罩盖部12的贯穿孔22中插通泵盖18的排气管部20,从而能够将排气管部20及贯穿孔22作为泵盖18相对于泵壳主体16的定位单元使用。另外,由于排气管部20的长度设定为比贯穿孔22的长度短,因此能够有效地抑制在排气口14上溅上水花等液体。[0042]在一些实施方式中,例如,如图3所示,排气管部20的外周面50包含作为与排气口罩盖部12的贯穿孔22嵌合的承插部的大径部52。在图示的方式中,排气管部20的外周面507CN111140502A说 明 书6/7页包含:具有圆形的剖面形状的大径部52、以及相对于大径部52设置于排气管部20的前端侧、并具有圆形的剖面形状的小径部56。小径部56的直径比大径部52的直径小,小径部56与大径部52经由阶梯面54连接。贯穿孔22包含具有圆形的剖面形状并与大径部52嵌合的大径部60、以及经由阶梯面62连接于大径部60、并与小径部56对置配置且直径比大径部60小的小径部64。通过在排气管部20的阶梯面54与贯穿孔22的阶梯面62抵靠的状态下,使排气管部20的大径部52与排气口罩盖部12的大径部60嵌合,而构成镶嵌结构28。[0043]根据该结构,能够高精度地进行泵盖18相对于泵壳主体16的定位。因此,当将泵盖18组装于泵壳主体16时,如图4所示,能够易于高精度地设定吸气口34相对于泵室5的位置。因而,能够易于进行真空泵2的组装,并且能够抑制泵性能降低。[0044]在一些实施方式中,例如,如图2及图3所示,也可以是支撑部92设置于排气口罩盖部12的下端部,并与排气口罩盖部12由相同材料形成为一体。即,排气口罩盖部12和支撑部92可以作为不能分离的一个部件而由相同材料构成。此外,在图示的方式中,支撑部92和排气口罩盖部12一起与泵壳主体16由相同材料构成为一体。这样,通过将支撑阀体90的支撑部92与排气口罩盖部12由相同材料形成为一体,而能够提供一种能够抑制部件件数增加,并且能够抑制从排气口14进入液体的真空泵2。另外,能够使排气口罩盖部12的贯穿孔22作为在支撑部92与排气口14之间引导阀体90移动的引导部发挥功能。[0045]在一些实施方式中,如例如图1及图5的(A)所示,支撑部92可以包含在支撑阀体90的状态下使排气口14与真空泵2的外部连通的缺口部94。缺口部94可以作为沿上下方向延伸的切缝构成。这样的缺口部94可以由例如从排气口罩盖部12朝向下方下垂的爪状的支撑部92形成。形成于支撑部92的缺口部94的数量可以是任意的,例如既可以是一条,也可以是两条,还可以是三条以上。[0046]这样,根据支撑部92包含缺口部94的结构,在阀体90支撑于支撑部92的状态下,能够向外部排出来自排气口14的排气。另外,由于能够经由缺口部94排水,因此能够抑制水在支撑部92积存。因而,能够抑制因积存在支撑部92的水冻结而引起阀体90固定于支撑部92。[0047]在一些实施方式中,例如,如图1~图3所示,阀体90可以形成为球状。形成为球状的阀体90的直径设定为比排气管部20的内径即排气口14的直径大。此时,阀体90的直径可以根据考虑到排气口14的开闭所需要的响应速度、耐磨损性等而确定的阀体90的材质而任意设定,以使得不会由于长期使用所造成的磨损、变形而成为排气口14的直径以下。这样,通过将阀体90形成为球状,即使真空泵2的姿态变化,阀体90也能够顺畅地移动,因此真空泵2在浸水时,无论真空泵2的姿态如何,都能够迅速地封闭排气口14。此外,另一实施方式的阀体90的形状可以是例如圆锥形状、圆锥台形状、火箭型、或者桶型等,只要是能够封闭排气口14的形状即可。[0048]在一些实施方式中,例如,如图3所示,排气管部20的出口部15的内周面可以形成为朝向排气的下游侧扩径的锥状。这样,通过将排气口14的出口部15的内周面形成为锥状,即使阀体90在阀体90的中心与排气口14的轴线偏离的状态下与排气口14抵接,通过使阀体90沿着锥形移动,也能够降低阀体90的中心与排气口14的轴线的偏离。因而,能够更可靠地封闭排气口14并能够抑制水从排气口14进入。8CN111140502A说 明 书7/7页[0049]在一些实施方式中,例如,如图7所示,真空泵2还可以具备朝向排气口14对阀体90施力的施力部件98。施力部件98可以包含例如螺旋弹簧、板弹簧等弹簧。这样,根据具备施力部件98的结构,利用施力部件98,阀体90向排气口14施力,因此实现真空泵2在非工作期间,阀体90始终封闭排气口14的所谓常闭的开闭机构。即,在真空泵2未工作的情况下,阀体90通过施力部件98的弹性力保持为与排气口14接触的状态。另一方面,真空泵2在工作时,在阀体90由于排气压力所承受的力超过上述施力部件98的施力时,阀体90离开排气口14,排气口14敞开。因而,能够获得抑制液体从排气口14进入的效果较高的真空泵2。[0050]本发明不限于上述的实施方式,也包含在上述的实施方式基础上实施了变形的方式、以及适当组合这些方式的方式。[0051]例如,在上述的实施方式中,作为真空泵的一例而对旋转式的叶片泵进行了说明,但真空泵既可以是例如活塞式的泵,也可以是隔膜式的泵。另外,在真空泵是叶片泵的情况下,既可以是平衡型叶片泵,也可以是非平衡型叶片泵。9CN111140502A说 明 书 附 图1/7页图110CN111140502A说 明 书 附 图2/7页图211CN111140502A说 明 书 附 图3/7页图312CN111140502A说 明 书 附 图4/7页图413CN111140502A说 明 书 附 图5/7页图514CN111140502A说 明 书 附 图6/7页图615CN111140502A说 明 书 附 图7/7页图716
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