(完整word)Varian离子注入设备规格

Varian离子注入机EHP220设备规格概要本E220中束流离子注入机使用离子源，通过磁分析器、平行束透镜、加速系统等系统来完成注入。束流达0.9mA，P+束流达1.6mA，As+束流达1.2mA。系统组成E220中束流离子注入机主要由以下几个主要系统组成：2-1）、束线系统;2-2)、靶室系统；2-3）、电源系统;2-4)、辅助系统；2-5）、控制系统;3.性能指标3-1）、离子能量：10-200keV（+）3-2）、束流最小束流：10UA,且能稳定2001600120090010016001100900401300900800最大束流：能量到靶束流（uA）KeVP+As+B+15450300560101001201503-3）、工作效率机械传送效率N160片/小时（10scans）3-4）、注入均匀性及重复性注入剂量均匀性：1oW0.5%注入剂量重复性：1。00.5%3-5）、质量分析能力M/AM^85（N100KV）3-6）、颗粒污染测试颗粒污染控制V0.1/cm2@0.2um。3-7）、圆片注入倾斜角度圆片注入倾斜角度：0〜60°3-8）、靶注片方式靶注片方式：单圆片注入圆片直径：200mm3-9）、系统真空度静态离子源真空度：3.00E-6Torr4.00E-6Torr21°C(max)静态束线真空度：静态靶室真空度：5.00E-6Torr10）、辐射剂量辐射剂量：W2usv/h场务安装1）、安装条件电源：45KVA,208V,3相，5线，50/60Hz冷却水：入口2.8Kg/cm2（mix）-10.5Kg/cm2（max）,0.63L/S干氮：1.4Kg/cm2（mix）-10.5Kg/cm2（max）0.47L/S（normal）-4.7L/S（max）压缩空气：7Kg/cm2（mix）-10.5Kg/cm2（max）2.35L/S（mix）通风：70.5L/S、压力-500Pa（气箱排气）2.58L/S（终端排气）2.58L/S（靶室排气）散热：10kwh（空气）32.5kwh（水）尺寸：498cmX310cmX244cm重量：11000Kg4-2）、废气排放设备废气排放图详见附件图13）、重心分布设备重心分布图详见附件图2附属品1）、工具维护保养设备所需工具：1套/台5-2）、离子源离子源：1套/台6.性能指标验收整机指标测试序号技术指标测量条件与方法测量仪器测量结果备注1离子能量：10keV〜200keV（单电荷）见6-10.5级静电高压计（300KV）2能量精度：土1%。见6-1同上3注入元素：B、P、As（束流强度：P+N1.5mA）见6-27靶注片方式：单圆片注入8圆片直径：200mm直尺9注入剂量均匀性：W0.5%见6-3M-280四探针系统10注入剂量重复性：W0.5%见6-4同上11生产效率：160片/小时见6-512辐射剂量：2usv/h见6-613离子源寿命：380小时见6-7统计数据14质片率：W1/20000统计数据15束流：B*W900uA；PW1600uAAs+W1200uA见6-7测试：日期:日期:验收:6-1）、离子能量与能量精度测量离子能量是引出电压与加速电压之和，测量时以测量仪器上显示的能量读数为准。测量方法：通过引出单电荷，离子能量为：10keV〜200keV（单电荷）采用高压计检测设备实际离子能量，实际离子能量与设备显示离子能量进行对比，得出其误差，计算后获得能量精度。1）最高能量检测：能量为200KeV，引出的P+束流大小应在60_uA下进行试验，稳定工作0.2小时，束流变化W10%，试验过程中出现的打火故障以不中断引束流为准。实际测量：验收结果：离子最高能量满足指标3KeV要求。测试：日期：验收：日期：）最低能量检测：+200uA下进行试验，稳定0.2小时，束流变化W10%。实际测量：验收结果：离子最低能量满足指标WKeV要求。测试：日期：验收：日期：3）能量精度检测：a.引出元素为P+时检测数据如下：（单位KeV）设备显示能量值高压计测量能量值能量误差5.0070.00100.00180.00200.00计算方法：能量精度=（高压计测量值-设备显示值）/高压计测量值X100%稳定运行时间：0.5小时测量结果：在引出元素为P+时能量最大可达到KeV，能量精度为优于土0.5%的指标要求。日期:日期:6-2）、注入元素测量测量条件：要求有BF、3PH、3AsH、Ar四路气体源的配置，能够注入3+11+31这三种元素。75测量方法：通过自动引束，分别引出三种元素离子，确定某种粒子的质量数。测量结果：P+束流为31B+束流为11As+束流为75mA，质量数:mA，质量数：mA，质量数:测试:日期:验收:日期:6-3）、注入剂量均匀性测量1）测量条件:硅片：8”（200mm）圆片、P（100）晶向；硅片电阻率：P一型1〜100Q/cm；注入元素为P+31，能量为160KeV，剂量5E14ions/cm2，注入角度为0°，扭转角度为0°。2）测量方法:利用快速退火炉（RTP）退火后用四探针测试仪测方块电阻，按照相对 标准 excel标准偏差excel标准偏差函数exl标准差函数国标检验抽样标准表免费下载红头文件格式标准下载 方差的统计规律，计算出均匀性参数，仪器相对偏差^±0.2%，每片测量81个点。3）计算方法:参考GB/T15862-1995标准的计算方法，最后计算出均匀性参数。指标要求注入剂量均匀性/W0.50%。为实际测量注入剂量均匀性为1$W%。测试:日期:验收:日期:6-4）、注入剂量重复性测量1）测量条件：a、硅片：10片8”（200mm）圆片；P（100）晶向;硅片电阻率：P一型1〜100Q/cm；b.注入元素为P+31，能量为160KeV，剂量5E14ions/cm2，注入角度为0°，扭转角度为0°。2）测量方法:将10片8”晶片分不同时间不同匹次注入完成，利用快速退火炉（RTP）退火后用四探针测试仪测方块电阻，按照相对标准方差的统计规律，计算出重复性参数，仪器相对偏差0土0.2%，每片测量81个点。3）计算方法：测试:验收:16W0.50%。参考GB/T15862-1995标准的计算方法，最后计算出重复性参数。指标要求剂量重复性为测试：验收：日期:日期:检测数据如下：注入片号方块电阻平均值R（Q/cm）相对标准偏差（18）注入时间12345678910实际测量注入剂量重复性为16W%。6-5）、生产效率测量指标：160片/h1）条件：样品晶片数为50片，分装2盒。以控制实际单片注入时间不大于10秒为准。2）测试方法：设备正常运行，注入参数不变，机械手从片库取片送到注入靶台上，靶片转某一角度后，Y方向机械扫描上下各一次后回位，机械手卸片到片库，片库上升一位到下一晶片，这一过程为一次送片；计算一小时内的送片数量（通过左右两边同时进行）1小时装卸片数为生产效率数据。测量结果：实际注入片数量为片，生产效率为片/小时。测试：日期：验收：日期：6-6）、辐射剂量测量测试方法：用X射线测量仪，在能量为200keV，P+31束流为1600uA的情况下在机器的相应部位（图3），距离机器外壳10cm左右测量。要求辐射剂量W2usv/h。测试仪器：美国产射线探测仪FlukeBiomedical451P测试数据：位置（测试点）辐射剂量（usv/h）ABCDEFGHI（机器顶）测试结果：实际测量机器辐射剂量最大处为毫仑/小时，符合机器指标要求。usv/h,折算为6-7）、其它测试1）离子源寿命测试离子源寿命N80小时（离子束线系统指标）离子源灯丝号工作日期工作时间（小时）着靶束流1234L5离子源灯丝工作寿命统计（具体见调机 记录 混凝土 养护记录下载土方回填监理旁站记录免费下载集备记录下载集备记录下载集备记录下载 ）测试结论：离子源寿命N100小时小时，测试:日期：验收：日期:2）束流测试束流由靶室系统内的聚焦法拉第杯接收，测量值以移动法拉第水平移动一次所接收的束流积分值为准。（a）最大束流测试分别引出B+]]、P+31、A气三种离子，在不同能量（见数据 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf ）下，以注入扫描束流引出到达靶后能够稳定工作1小时并且束流变化W10%。6次为要求进行束流调整，离子+1B11+1P31+1AS75能量（KeV）积分束流（uA）扫描6次注入剂量（ions/cm2〉测量数据表:测试:日期:验收:日期:（b）最小束流考核:分别引出b+、p+、aS1三种离子，在不同能量（见数据表）下，以注入扫描113175束流引出到达靶后能够稳定工作1小时并且束流变化W10%。6次为要求进行束流调整，离子+B11+P31+1As75能量（KeV）积分束流（uA）扫描6次注入剂量（ions/cm2）测量数据表:测试:日期:验收:日期:7.安全性设备出厂经过严格的安全、保护测试。7-1）、人生安全1）设备X射线的辐射总剂量W2usv/h；2）设备的气体离子源使用有充分的安全措施。7-2）、智能连锁装置1）本设备所有高电压部分都有充分的连锁装置，并设计有保护盖，且有明显图示警示。7-3）、环境安全1）本设备设计时遵循SEMI环境安全要求，使用和报废后都不会对环境安全产生重大影响。保修本设备保修期为六个月，我方负责无偿快速的维修故障，但消耗品不在保修部件之内（消耗品清单会在设备交货时提供）。 培训 焊锡培训资料ppt免费下载焊接培训教程 ppt 下载特设培训下载班长管理培训下载培训时间表下载 文件资料（收到订金后5个工作日发给甲方）1）维护手册1套/台2）操作手册1套/台）部件清单）消耗品清单