OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明

Documentnumber：NOCG-YUNOO-BUYTT-UU986-1986UTOPTORUN镀膜机离子源的维护保养 说明 关于失联党员情况说明岗位说明总经理岗位说明书会计岗位说明书行政主管岗位说明书 OPTORUN离子源的维护保养说明1．离子源的维护和Grid的分解和组装方法　长时间运转後，石英杯内会被镀上一层的导电性膜，因此会引起输出功率下降，此时请进行打砂处理或使用洗净液（请使用不影响SiO2的洗净液）等除去膜层。石英杯的清扫周期通常是50~100小时。（根据使用状况更改维护的周期）。　　注意：请注意石英杯很容易损坏。　　　　在对石英杯进行打砂时，请使用粒度＃100的Al粒子，并保持～0.2MＰａ的低压力，离石英杯30cm以上进行打砂作业。1．1绝缘子的清洁长时间使用后，GridAssy部分的绝缘子会被镀上一层的导电性膜，此会引起Grid的短路，不能正常发挥作用。并会出现ACC电流值过大或Beam电流上不去的现象，此时需清洁或交换绝缘子。由于绝缘子的清洁难度很大，建议您交换新品。注意：确认各Grid间，2000Vdc时须20MΩ以上。维护和交换时期各Grid间绝缘子的状态呈恶化趋势时，用打砂纸清洁其外 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 部。Grid维护周期为每50~100小时确认其外观绝缘，如有异常请及时清扫或交换。如厚度有磨损，其磨损厚度为-0.02mm时，请交换新品。（例如：t=1.0mm的绝缘子当变为t=0.98mm时，请交换新品。）注意：请注意绝缘子很容易碎裂。1．2Grid的清洁长时间使用后，各Grid的被镀上一层的导电性膜，特别是DecelGrid膜层很容易被剥离，请在不对着Grid的情况下用吸尘器除去的剥落的膜。ACCGrid和SCRGrid请用测试仪点检，表面被绝缘时请及时清洗。注意：Grid的分解和组装方法请参考添附资料。1)浓度25%的洗净液（BR-55）里浸泡5~10小时。（作为代替品25%的NaOH水溶液也可使用，但是洗净效果略差。）或者使用超声波洗净机，能得到同样的洗净效果。注意：BR-55和NaOH为危险物品，使用时请小心。　　　用超声波洗净机时请注意Grid由于振动所引起的破损。2)边用热水清洗边用清洁布擦洗Grid表面，约洗10分钟以上，NaOH和赃物等将被洗净。3)用干燥机干燥。4)利用Grid固定夹具（参考照片1，2），并使用#300的砂纸摩擦Grid表面直到表面的赃物和变色消失为止。注意：不要使Grid变形。　　　照片１　Grid固定夹具(凸侧)　　　　　　　　　　　　照片2Grid固定夹具(凹侧)5)再用热水清洗并用清洁布擦洗Grid表面，约洗20分钟以上，洗净附着的NaOH和赃物等。6)用AirGun吹散Grid上的水分。注意：使用AirGun时注意使用不含油的清洁空气。压力在～之间以防Grid变形。7)用干燥机干燥后，维护清洗结束。注意：作业中须谨慎，以防止Grid的变形和破损。本清洗仅对酸化膜(SiO2、Ta2O5)有效，因使用状态不同，也会出现洗不净的场合。2．中和器的维护方法（1）放电室（陶瓷放电室、陶瓷盘）的清扫　　　长时间运转后，放电室内会被镀上导电性膜，因此会引起放射电流下降需较高RF输出,此时用打砂的方式去除膜层。但要注意不要损伤陶瓷放电室和陶瓷盘的接触面，以免漏气。打砂时请注意用胶带等进行保护。注意：有关分解，组装请参考添附资料。　　　　　　请注意不要破坏放电室上绕着的线圈的形状，转动放电室然后再取下。（2）RFN收集器(Collector)的清扫　　　长时间运转后，collector表面被氧化或形成其它绝缘膜，因此会引起发射电流下降,并且启动困难，此时用打砂的方式去除膜层。　　注意：不要使收集器(Collector)变形。组装时要尽量减少陶瓷放电室和collector之间的缝隙。（3）Keeper和中和器主体的清扫　　　长时间运转后，keeper表面形成绝缘膜，因此会使动作不安定。请使用测试仪确认附资料1离子源Grid的分解和组装方法请参照添附图纸进行作业。分解１拆下GridMountAssy.GridMountAssy.作业内容注意点从离子源主体上拆下GridMountAssy.分解２　拆下QuartzChamberQuartzChamber　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　MountRing　　　　　　　　　　作业内容注意点先拆下六角螺钉，然后拆下石英杯QuartzChamber和MountRing。请注意石英杯很容易碎裂。分解３　拆下　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　六角螺母（M4）六角螺钉　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　GridMountPlate　　　（M5×L8―４个）六角螺钉（M4×L6）作业内容注意点拆下六角螺钉和六角螺母后再将GridMountPlate拆下。分解４　拆下GridRetainerPlate六角螺钉（M4×L6）作业内容注意点拆下六角螺钉後，再拆下GridAssy.和GridRetainerPlate.分解５　Grid的分解　六角螺母（M4）　六角螺母（M3）和六角螺钉（M3×L5）作业内容注意点拧松GridAssy.的六角螺母后，分解Grid。拆下ACCGrid的ACCConnector。请注意Grid很容易变形。分解６Grid的说明　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　GRID　№校正孔校正孔GridNo.S○○○:ScreenGrid　A○○○:AccGridD○○○:DecelGrid（○○○为制造番号）　　　　　　　　　只有1个地方方向不同１个所のみ向きが违います。作业内容注意点Grid如上所示注有标记。组装时请注意。组装１　Grid的组装1六角螺钉（M4×L20）Insulator2作业内容注意点将Grid组装夹具水平放置，装上六角螺钉和Insulator2。组装2　Grid的组装2DecelConnector作业内容注意点DecelConnector如图放置。对准Grid组装夹具和DecelConnector的孔。组装3　Grid的组装3对准孔的方向不同DecelGrid作业内容注意点DecelGrid的凸面向下，对准孔的位置。（発散GRID的场合）収束Grid的凸面向上放置。组装4　Grid的组装4　ShieldInsulatorGridInsulator1(t=　　　作业内容注意点ShieldInsulator和GridInsulator1如图放置。请注意GridInsulator的厚度有两种（t＝、）。组装5　Grid的组装5六角螺钉（M3×L5）和六角螺母（M3）　AccConnector　　　　　AccGrid　　　　　　　　（根据组装夹具的孔决定方向）作业内容注意点将AccGrid如图安装，注意对准孔的位置。（根据组装夹具的孔决定AccConnector的方向，然后再安装。组装夹具的孔和AccConnector孔要对准。组装6　Grid的组装6　　　　ShieldInsulator　　　　　GridInsulator2(t=作业内容注意点将ShieldInsulator和GridInsulator2如图放置。注意GridInsulator的厚度有2种（t=,）组装7　Grid的组装7　　　　　　　　　对准孔　　　　　　　　　　　　　　　　ScreenConnector对准孔　　ScreenGrid作业内容注意点如图所示，根据4个对准孔放置ScreenGrid。组装8　Grid的组装8　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　六角螺母（M4）　　　平型垫圈（4）和波形垫圈（4）　　　　　Insulator1作业内容注意点Insulator1，平型垫圈（4）和波形垫圈（4）如图放置、暂时用六角螺母固定。组装9　Grid的组装9对准钉作业内容注意点将对准钉插入Grid的对准孔。若对准钉不能向下插入，说明Grid安装错误，请再度确认。对准钉穿过后，旋转对准钉，确认各对准钉并不是强行才能旋转。组装10　Grid的组装1018456327作业内容注意点如图所示拧上六角螺母，完成之后拔去对准钉拆下组装夹具。确认各Grid之间的ShieldInsulator和GridInsulator没有重叠。组装11　GridRetainerPlate的安装　　　　　　　　GRID　ASSY六角螺钉（M4×L6）ScreenConnector　平型垫圈（4）　　　　　　　　　GridRetainerPlate　　　　　作业内容注意点如图所示将ScreenConnector和GridAssy.,GridRetainerPlate组合。组装12GridMountPlate的安装AccTouchFlakeAccConnectorDecelConnectorGridMountPlate波型垫圈（12）作业内容注意点如图所示将AccConnector和DecelConnector组合後，将GridAssy.装在GridMountPlate上，然后装上AccTouchFlake和绝缘子。确认波型垫圈（12）是否装上。组装13　QuartzChamber的组装　　　　　　　　　　　　QuartzChamber　　　　　　　　　　　　　　　MountRing作业内容注意点组装QuartzChamber和MountRing。组装14　导通绝缘测试　　　　　　　　　　　　DecelGrid–AccGrid:绝缘AccGrid–ScreenGrid:绝缘ScreenGrid–DecelGrid:绝缘DecelGrid–GridMountPlate:绝缘ScreenGrid–GridRetainerPlate:绝缘AccTouchFlake–AccGrid:导通作业内容注意点组装完成后，使用测试仪进行导通绝缘测试。上记测试，如有异常时，请再次确认。添附资料2中和器分解组装方法　　※请参照添附图纸进行分解组装作业。分解1　Keeper的分解　KeeperNut(2pcs)Keeper作业内容注意点拆下KeeperNut和Keeper。分解2　拆下Shroud六角螺钉（M3×L5）、平型垫圈各４个作业内容注意点先拆下六角螺钉（M3×L5），然后再分解MountFlange和InsulatorPlate。分解３InsulatorPlate的分解和清洗六角螺钉（M3×L84个）作业内容注意点先拆下六角螺钉，然后再分解MountFlange和InsulatorPlate。如InsulatorPlate附有赃物，请用打砂纸去除。InsulatorPlate很容易碎裂。分解4　Collector的分解和清洁螺母（M4）Collector作业内容注意点拆下六角螺母後，分解Collector。如Collector附有赃物，请用打砂纸去除。Collector很容易变形。分解5　DischargeChamber分解和清洗DischargeChamber作业内容注意点如DischargeChamber附有赃物，请用打砂纸去除。DischargeChamber很容易碎裂。组装1　确认内部端子KeeperRFGNDRFCollector作业内容注意点确认内部的端子部（Keeper,RFGND,RF,Collector），各螺钉，各螺母是否有松弛。组装2Collector,DischargeChamber的安装CollectorDischargeChamberCoil螺母（M4）作业内容注意点用螺母（M4）固定Collector,DischargeChamber。Coil容易变形。组装3　InsulatorPlate的组装MountFlangeInsulatorPlate注意平整度作业内容注意点用六角螺钉（M３×L８）组装MountFlange和InsulatorPlate*InsulatorPlate无前后之分，可任意选择安装方向。InsulatorPlate容易碎裂，注意不要用力过度或拧得太紧。组装4Shroud的安装Shroud六角螺钉（M3×L5）、平型垫圈各４个作业内容注意点安装Shroud。组装5KeeperPlate的安装　KeeperNutKeeper作业内容注意点安装KeeperPlate。组装6　导通和绝缘测试KeeperLeadRFLeadRFLead–KeeperLead:绝缘KeeperLead–CollectorLead:绝缘Keeper–中和器主体：绝缘　　　　　　CollectorLead–RFLead:绝缘KeeperLead–KeeperPlate：导通RFLead–中和器主体：导通CollectorLead作业内容注意点组装完成后，使用测试仪做导通和绝缘测试。测试中如有异常，请再度确认。添附资料3故障处理No.项目原因处理方法１即使Source按钮，也不能启动。　被设定成Interlock。确认真空度的InterlockCable的连接情况。　２Source按钮On之后，RFNPower不能切换成0W。RF电源AX-300Ⅲ的表示呈Analog或Manual，（若显示RS232应属正常）。重新打开控制器的电源。３Source按钮On之后，RFNPower不能从0W上升到100W。(即持续为0W)RF电源AX-300Ⅲ的Alarm点灯。按Reset按钮後解除Alarm。４中和器不能启动。中和器的罩子没有拆下。拆下中和器的罩子。GasLine没有被打开。打开GasLine。气体流量低（不满5SCCM）。提高气体流量（大约7~8SCCM）。反射大。调整射频电源(MatchingBox)。确认RFCoil是否短路。Keeper被弄脏。清洗Keeper。Collector被弄脏。清洗Collector。Lead线的导通绝缘不良。用测试仪确认导通絶縁。电源的保险丝被切断。更换保险丝。５控制器上有中和器正启动着，实际上其并没有放电。Collector短路。用测试仪确认後，分解修理。６RFPower的反射大，无法匹配。离子源罩子没有取下。取下离子源罩子。射频电源(MatchingBox)的电源OFF。打开射频电源(MatchingBox)的电源。RFCoil和GND之间短路。用测试仪确认後，修理。RFFeedthrough和GND之间短路。用测试仪确认後，修理。No.项目原因处理方法７离子源不能启动。GasLine没有打开。打开GasLine。Gas流量低（O2：40SCCM未満）增大Gas流量（O2：50～60SCCM左右）　　　　　（Ar：20SCCM未満）　　　　　　（Ar：25～30SCCM左右）Pulse设定电压过低（500V程度）增大Pulse设定电压（1000V左右）AccGrid和ScreenGrid之间短路。用测试仪确认并修理。QuartzChamber污染。清洗QuartzChamber。中和器的Emission和Power过低。调整设定Emission：800mA、Power：50W左右电源的保险丝断了。更换保险丝。８即使按了Beam按钮，指示灯也不亮。离子源没有进入准备状态。等进入准备状态後再按按钮。９Beam按钮On後，Acc电流值显示0ｍＡ。Acc的电极部份无接触。用测试仪确认并修理。1０BeamOn後，Beam仍停止（显示E010）。Grid污染。清洗Grid。QuartzChamber污染。清洗QuartzChamber。Grid间的绝缘子污染。更换绝缘子。1１BeamOn後，中和器仍停止（显示E011）。Keeper污染。清洗Keeper。Collector污染。清洗Collector。固定Collector的螺母有松懈。拧紧螺母。GasLine的接头松懈。拧紧街头。1２Acc电流值过高。Grid的组装不良。重新组装Grid。GridInsulator的组装有错误（厚度）。重新组装Grid。1３Grid清洗後，BeamON时Grid表面异常放电。Grid清洗不充分。暖机不够。低电压，RFPower的环境下，让其短时间热运转。重新清洗。表面绝缘状态。用砂纸去除膜层。请每batch镀膜结束后都清洗。