半导体FAB生产厂房各个系统材料材质表

系统材料统计 序号 系统 数量 单位 设计 领导形象设计圆作业设计ao工艺污水处理厂设计附属工程施工组织设计清扫机器人结构设计 院推荐材料 备注 室外埋地 室外 室内埋的/穿墙/穿楼板 室内 2 CentralUtilities中央工艺 CityWater(自來水) 大于或同50mm用钢丝网骨架增强PE复合管（PN=1MPa),小于50mm用内筋嵌入式衬塑钢管（内衬PP-R，PN=1.25MPa）卡环连接 PP-R PP-R PCW製程冷卻水系統) SS304 SS304 CDA(製程高壓空氣系統) SS304 SS304 干燥器前SS304,干燥器后SS304 ProcessVacuum(製程真空系統) Sch80UPVC Sch80UPVC HouseVacuum(2)(清潔真空系統) NA NA NA NA 冷却塔 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 中温冷水（12oC/18OC) 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 冷冻水（5oC/12oC)）（空调冰水主机） 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 热水（80o/70oC（锅炉） 排水用铸铁管，承插接口 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 排水用铸铁管，承插接口 中温水（37oC/27OC) 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 用焊接钢管及螺旋埋弧焊钢管 天然气给锅炉 无缝钢管 无缝钢管 无缝钢管 无缝钢管 地埋燃油罐 用无缝钢管 3 洁净室 Make-upAir(MUA)(新风) 镀锌铁皮 镀锌铁皮 Supporting-Area(支援區) 镀锌铁皮 Recirculation（循环） 镀锌铁皮 空调冷凝水排水 PVC-U PVC-U PVC-U PVC-U 重力流空调冷凝水回收 PVC-U PVC-U 3 Exhaust（排风） General(一般排氣) 镀锌圆管 Acid(酸排氣) PP风管 Solvent(溶劑排氣) SS304圆管 4 UltraPureWater（超高纯净水） UPW超高纯净水 回水用PP-H，PN=1MPa R.O 到MAU加湿用Sch40PVC UPW冷冻纯净水 CleanPVC CleanPVC CleanPVC ReclaimDI(回收系統) CleanPVC CleanPVC CleanPVC 5 BulkGas（大众气体） 气体站进纯化间管路（普通氮气） SS304-AP 气体站进纯化间管路（其它） SS304-BA GeneralN2普通氮气 SS304-AP SS304-AP CDA SS304-AP SS304-AP ProcessN2(2+1)纯净氮气 SS316L-EP SS316L-EP ProcessO2(1+1)纯净氧气 SS316L-EP SS316L-EP ProcessAr SS316L-EP SS316L-EP ProcessH2(1+1)纯净氢气 SS316L-EP SS316L-EP ProcessHe SS316L-EP SS316L-EP 6 SpecialGas特别气体 Inert(惰性氣體) SS316L-EP SS316L-EP Corrosive(腐蝕性氣體) SS316L-EP SS316L-EP Flammable(揮發性氣體) SS316L-EP SS316L-EP Toxic(毒性氣體) SS316L-EP SS316L-EP 7 Chemical化学物品 Acid(酸) PFA+透明PVC Base(碱) PFA+透明PVC 有机类 SS316L-BA 显影液 SS316L-BA 8 WasteWater废水 Neutralization PN=1MPa Fluoride PN=1MPa Others PN=1MPa Total 9 DrainSystem排废系统 DR-R(回收) PP PP PP PP PN=1MPa DR-W(一般酸鹼) PP PP PP PP PN=1MPa DR-HF(濃) PP PP PP PP PN=1MPa DR-DHF(稀) PP PP PP PP PN=1MPa DR-S溶劑 SS304 SS304 SS304 SS304 PN=1MPa Total 10 CentralMonitoring&ControlSystem中央 检测 工程第三方检测合同工程防雷检测合同植筋拉拔检测方案传感器技术课后答案检测机构通用要求培训 及控制系统 11 Others其他 12 FireFightingSystem消防系统 1 室外消防栓 双壁热镀锌管 双壁热镀锌管 2 室内消防栓 双壁热镀锌管 双壁热镀锌管 小于100mm螺纹连接，大于100mm卡环连接 3 消防喷淋 双壁热镀锌管 双壁热镀锌管 小于100mm螺纹连接，大于100mm卡环连接 4 灭火器 14 FireDetectionSystem消防报警系统 1 烟感应 2 排烟 镀锌铁皮 3 VesdaSystem消防空气检测系统 ABS 15 CleanroomControlSystem洁净室控制系统 16 Productionarea生产区 系统要包括起管道及线 内装 二次钢结构 吨 天花1.2x1.2m m2 铝合金 盲板 m2 12MM夹心彩钢板 高架地板600x600mm m2 压铸铝合金 大于20%的开孔率 墙版 m2 岩棉夹心防静电铁板 门及配件1800x2100 个 门及配件1800x2100 个 窗 密封胶 m2 中性 环氧树脂 m2 风淋室 个 暖通 FFU1.2x1.2m 个 镀锌框 交流直流待定 FFU1.2x0.6m 个 镀锌框 交流直流待定 超高效过滤器1.2x1.2m 个 超高效过滤器1.2x0.6m 新风机 干盘管（DCC） 个 铜管，铝翅片 保温棉 B1级橡塑+PVC B1级橡塑+PVC 热水保温 带铝箔的玻璃棉，外包铝皮 带铝箔的玻璃棉 电气 设备配电箱 烤漆钢板箱体，双层门（内门活动） 照明配电箱 桥架 铝合金（200及以上T型，200以下槽式） 控制桥架 IT桥架 防静电 镀锌扁铁，洁净室内用铜线 控制 湿度控制器 温度控制器 控制阀 控制风阀 平衡阀 过滤风机 排烟 消防系统 消防栓箱及管道 普通铝合金 空气采样管道 ABSSheet1