国产晶硅平板pecvd设备的优势

国产晶硅平板pecvd设备的优势 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 国产晶硅平板PECVD设备的优势 王宝全 博士 2010年5月 SNEC 展台位置:W2馆T2136 晶硅平板PECVD设备的技术优势 北方微电子开发平板PECVD设备的机遇 ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 confidential 晶硅平板PECVD设备的技术优势 北方微电子开发平板PECVD设备的机遇 ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 confidential PECVD设备在晶硅太阳能电池制程中的应用 PECVD(等离子体增强化学气相沉积)是利用等离子体特性来控制或影响气相反 应和材料表面的化学反应过程，并在适当的温度(从室温到500?)下沉积薄膜。 晶体硅太阳能电池制程 预处理 制绒 镀膜 PECVD 烧结 电极印刷 刻蚀 扩散 PECVD设备用于制备SiNx膜 钝化特性 制备SiN 减反射特性 confidential 短路电流 电池效率 开路电压 PECVD设备类别 设备结构上划分 平板式 管式 沉积原理上划分 直接法 间接法 Plasma Source SiH4、NH3 平面载板 镂空碳框 石墨舟 平面载板 石墨舟 功能分布于不同腔室 气体利用率高 自动化程度高 生产效率高 自动装卸片易实现 设备维护繁琐 功能集中于同一炉管 气体利用率低 自动化程度低 生产效率低 自动装卸片不易实现 设备维护简单 膜质致密 表面钝化 体钝化 沉积速率低 膜质疏松 表面钝化 沉积速率高 平板式直接法 PECVD可较好地满足产业发展需要 confidential ESSINDTM PECVD的技术规格 项目 产量 膜厚均匀性 折射率均匀性 折射率 沉积速率 成膜温度 反应气体 指标 >1950片/时(125*125mm2);>1320片/时(156*156mm2) 片内 <3% ,片间 <5 %, 批间<5% 片内 <1% ,片间 <1.5 %, 批间<1.5% 2.0~2.2 20~30nm/min 200~450oC连续可调 SiH4、NH3、 N2 装载预热腔 ?大气-真空 ?预热 工艺腔 ?等离子体沉积 冷却卸载腔 ?真空-大气 ?冷却 装片台 ?摆放硅片 卸片台 ?取走硅片 „„ 。 预热 „„ 。 工艺 冷却 载板返回 confidential 平板PECVD设备的关键技术 大面积成膜均匀性 气流场 ?电场 ?温度场 可维护性 大角度开盖 ?快速冷却 ?延长PM时间 ?易操作 ?完善的安全保护设计 ?先进工艺控制和分析 ?自诊断 ?工厂数据接口 ?降低单位能耗 ?提高工艺气体利用率 腔室结构 上、下电极结构 ?热设计 ?真空传动 ?高效传输系统 ?自动装卸片的集成 ?载板自动返回 软件及控制系统 自动化 节能降耗技术 开发平板PECVD设备是一项具有较大挑战性的工作 confidential 晶硅平板PECVD设备的技术特点 北方微电子开发平板PECVD设备的机遇 ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 confidential 太阳能电池生产厂对大型设备供应商能力的评估要素 产品战略 具有清晰长远的战略规划 资金基础 具有雄厚的资金基础 人才团队 具有稳定高素质的专业技术团队 行业经验 具有微电子高端设备行业经验 管理水平 具有正规的企业管理水平 研发平台 具有专业的检测评估手段 服务能力 具有专业水准的服务培训能力 confidential 产品战略 12”90nm刻蚀 机研发成功 12”65nm刻蚀机 生产线DEMO 12”45nm刻蚀机 生产线DEMO 12”45nm PVD生 产线DEMO 2003 2004 2005 2006 2007 2008 2009 2010 2011 2012 开始研发 8”刻蚀机 8”刻蚀机生 产线DEMO 8”刻蚀机 实现销售 8”刻蚀机 销售第三客户 晶硅太阳能 自动化解决 方案 气瓶 现场处置方案 .pdf气瓶 现场处置方案 .doc见习基地管理方案.doc关于群访事件的化解方案建筑工地扬尘治理专项方案下载 8”刻蚀机 销售第二客户 晶硅太阳能PECVD 进入生产线 RIE制绒设备开 发完成 愿景:成为全球知名的半导体、光伏和显示照明领域的高端设备提供商。 confidential 资金基础 股东构成 北京电子控股有限公司 中科院微电子研究所 清华大学 北京大学 中科院光电技术研究所 北京圆合电子技术公司 北京七星华电科技集团 国家项目 十五期间承担了863“100nm高 密度等离子刻蚀机”项目，总投 资2.6亿元; 目前承担国家科技重大专项 “90/65nm刻蚀机研发与产业化 ”项目和“65-45nmPVD设备研 发”项目，总投资10.85亿元。 产品销售 8英寸等离子体刻蚀机 12英寸等离子体刻蚀机 晶硅太阳能平板PECVD LED ICP刻蚀机 12英寸PVD 薄膜太阳能PVD RIE制绒设备 自动化设备 confidential 人才团队 人才背景 等离子体技术 高频交流电 精密机械设计 自动化系统控制 软件开发 本科 现有员工总数: 其他 218人 博士 海外专家15人、博士13人、硕士142人 11% 6% 人才来源 半导体业 优秀技术专家/ 管理精英 半导体业 海外归国人才/ 外籍专家 设备业 丰富经验研究人员 全国重点高等院 校优秀毕业生 18% 65%硕士 硕士以上员工比例为64% 71% confidential 行业经验 掌握的关键技术: 掌握的关键技术: 反应腔室设计、高真空技术、 反应腔室设计、高真空技术、 等离子体技术、射频匹配、真 等离子体技术、射频匹配、真 空自动传输、自动控制及软件 空自动传输、自动控制及软件 、终点检测、无损刻蚀、颗粒 、终点检测、无损刻蚀、颗粒 控制、刻蚀工艺 控制、刻蚀工艺 中芯国际天津工厂 上海华虹NEC二厂 涵盖的科学种类: 涵盖的科学种类: 精密机械、真空科学、自动控 精密机械、真空科学、自动控 制、软件科学、半导体物理、 制、软件科学、半导体物理、 等离子体物理、化学、光学、 等离子体物理、化学、光学、 材料学、热力学 、流体力学 材料学、热力学 、流体力学 上海宏力半导体公司 中芯国际北京12英寸工厂 第一家将高端半导体设备成功应用于集成电路大生产线的本土设备制造商 confidential 管理水平 质量管理 安全管理 产品数据管理 生产管理 知识管理 研发流程管理 知识产权 通过ISO9001/ISO14001/OHSAS18001质量、环境和职业 安全卫生管理体系认证 获得德国TUV公司CE、SEMI S2/S8产品安全和人体工程 学认证证书 引入PDM信息化产品数据管理系统 与全球著名SAP公司合作，引入ERP信息化企业管理系统 实施KM知识管理系统，利用工作流管理引擎，开创了积 累知识、创造知识的新途径 引入IPD集成产品开发管理体系，运用矩阵式组织管理架 构，提高了产品和技术开发的效率 首批“北京市示范专利单位”称号、国家专利试点单位; 目前累计 申请专利五百余件 confidential 研发平台 太阳能电池设备评测中心 千级工艺开发间 万级半导体设备组装间 射频检测分析实验室 形貌扫描电子显微镜 线条扫描电子显微镜 膜厚测量仪 颗粒检测仪 为国产高端装备的开发提供了有力支撑 confidential 服务能力 以客户为中心，设备在哪里使用，服务就在哪里提供 建立了标准的服务流程及完善的服务体系 北京本部 北京服务中心 美国办事处 上海服务中心 天津服务中心 日本办事处 confidential 晶硅平板PECVD设备的技术优势 北方微电子开发平板PECVD设备的机遇 ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 confidential ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 优异的工艺性能 高效的生产能力 先进的颗粒控制技术 前瞻性的功能扩展设计 完善的可靠性设计 先进的工艺控制软件 confidential ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 优异的工艺性能– 成膜均匀性 片内均匀性 沉积速率 均值 片间均匀性 片内均匀性 片间最大值 片间最小值 31.6nm/min 2.78% 0.8,1.9% 32.6 30.8 折射率 2.000 0.22% 0.06,0.79% 2.004 1.995 45.0 40.0 35.0 30.0 25.0 1 2 3 4 5 6 7 8 沉积速率 折射率 2.100 2.050 2.000 1.950 1.900 测试条件: Wafer 测试点 Wafer 摆放 a)4寸抛光片;b)距离wafer单边10mm;c)5点/片; d)均匀性计算 方法 快递客服问题件处理详细方法山木方法pdf计算方法pdf华与华方法下载八字理论方法下载 (最大值-最小值)/(最大值+最小值) 片内、片间均匀性满足生产线要求 confidential ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 优异的工艺性能– 成膜均匀性 150.0 130.0 110.0 90.0 70.0 1106-0 1108-0 1110-0 1113-0 沉积厚度(抛光片) 2.050 2.025 2.000 1.975 1.950 1106-0 折射率(抛光片) 1107-0 1108-0 1109-0 1110-0 1111-0 重复性 = 最大值-最小值 最大值+最小值 重复性 = = 最大值-最小值 最大值+最小值 0.29% = 2.56% <3% (设备重复性指标) <1% (设备重复性指标) 批间均匀性满足生产线要求 confidential 1113-0 ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 高效的生产能力 大面积载板 高速沉积〉22 nm/min Inline式多腔室架构 自动化传输和载板返回 节拍控制 自动化装卸片 具备30MW电池生产能力 confidential ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 先进的颗粒控制技术 在线干法清洗技术 解决颗 粒问 题 快递公司问题件快递公司问题件货款处理关于圆的周长面积重点题型关于解方程组的题及答案关于南海问题 颗粒抑制 颗粒固化 颗粒去除 新型内衬设计 表面处理技术 设备工作流程优化 „„ 每30天开盖 维护1次 干洗前 干洗后 PRK技术在提高镀膜质量的同时，降低了设备维护频率 confidential ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 先进的工艺控制软件 人性化设计 ? 界面功能合理布局，符合SEMI E95标准 分布式控制 ? 分布式软件控制，保证软件的健状性 安全性设计 ? 安全互锁、报警处理、自动诊断、权限设定。 提供对外数据接口 ? 接口标准符合SEMI E4、E5、E30 ? 支持APC和MES 丰富的软件功能 ? 先进的配方管理、机台配置、统计 记录 混凝土 养护记录下载土方回填监理旁站记录免费下载集备记录下载集备记录下载集备记录下载 、过程分 析处理 ? 自动、手动双重运行模式 confidential ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 完善的可靠性设计 Semi和CE标准 ? 遵循Semi和CE标准设计 人员和设备的安全保护和故障互锁 ? 操作受安全互锁保护，保障人员和设备安全 ? 对数十个数据进行实时监控，自动报警，提示故障和隐患 部件寿命监控和统计 ? 可跟踪关键零件的使用寿命，保障设备稳定，提示进行维护 confidential 总结 基于在半导体行业积累的成功经验，北方微电子有信心成为一流的太 阳能电池高端设备 拥有众多前瞻性设计理念的ESSINDTM 平板式PECVD系统已经显示出 众多卓越性提供商; 能。 confidential 愿北方微电子成为您真诚的合作伙伴 展台位置:W2馆T2136 1本文由2002090010贡献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 国产晶硅平板PECVD设备的优势 王宝全 博士 2010年5月 SNEC 展台位置:W2馆T2136 晶硅平板PECVD设备的技术优势 北方微电子开发平板PECVD设备的机遇 ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 confidential 晶硅平板PECVD设备的技术优势 北方微电子开发平板PECVD设备的机遇 ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 confidential PECVD设备在晶硅太阳能电池制程中的应用 PECVD(等离子体增强化学气相沉积)是利用等离子体特性来控制或影响气相反 应和材料表面的化学反应过程，并在适当的温度(从室温到500?)下沉积薄膜。 晶体硅太阳能电池制程 预处理 制绒 镀膜 PECVD 烧结 电极印刷 刻蚀 扩散 PECVD设备用于制备SiNx膜 钝化特性 制备SiN 减反射特性 confidential 短路电流 电池效率 开路电压 PECVD设备类别 设备结构上划分 平板式 管式 沉积原理上划分 直接法 间接法 Plasma Source SiH4、NH3 平面载板 镂空碳框 石墨舟 平面载板 石墨舟 功能分布于不同腔室 气体利用率高 自动化程度高 生产效率高 自动装卸片易实现 设备维护繁琐 功能集中于同一炉管 气体利用率低 自动化程度低 生产效率低 自动装卸片不易实现 设备维护简单 膜质致密 表面钝化 体钝化 沉积速率低 膜质疏松 表面钝化 沉积速率高 PECVD可较好地满足产业发展需要 平板式直接法 confidential ESSINDTM PECVD的技术规格 项目 产量 膜厚均匀性 折射率均匀性 折射率 沉积速率 成膜温度 反应气体 指标 >1950片/时(125*125mm2);>1320片/时(156*156mm2) 片内 <3% ,片间 <5 %, 批间<5% 片内 <1% ,片间 <1.5 %, 批间<1.5% 2.0~2.2 20~30nm/min 200~450oC连续可调 SiH4、NH3、N2 装载预热腔 ?大气-真空 ?预热 工艺腔 ?等离子体沉积 冷却卸载腔 ?真空-大气 ?冷却 装片台 ?摆放硅片 卸片台 ?取走硅片 „„ 。 预热 „„ 。 工艺 冷却 载板返回 confidential 平板PECVD设备的关键技术 大面积成膜均匀性 气流场 ?电场 ?温度场 可维护性 大角度开盖 ?快速冷却 ?延长PM时间 ?易操作 ?完善的安全保护设计 ?先进工艺控制和分析 ?自诊断 ?工厂数据接口 ?降低单位能耗 ?提高工艺气体利用率 腔室结构 上、下电极结构 ?热设计 ?真空传动 ?高效传输系统 ?自动装卸片的集成 ?载板自动返回 软件及控制系统 自动化 节能降耗技术 开发平板PECVD设备是一项具有较大挑战性的工作 confidential 晶硅平板PECVD设备的技术特点 北方微电子开发平板PECVD设备的机遇 ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 confidential 太阳能电池生产厂对大型设备供应商能力的评估要素 产品战略 具有清晰长远的战略规划 资金基础 具有雄厚的资金基础 人才团队 具有稳定高素质的专业技术团队 行业经验 具有微电子高端设备行业经验 管理水平 具有正规的企业管理水平 研发平台 具有专业的检测评估手段 服务能力 具有专业水准的服务培训能力 confidential 产品战略 12”90nm刻蚀 机研发成功 12”65nm刻蚀机 生产线DEMO 12”45nm刻蚀机 生产线DEMO 12”45nm PVD生 产线DEMO 2003 2004 2005 2006 2007 2008 2009 2010 2011 2012 开始研发 8”刻蚀机 8”刻蚀机生 产线DEMO 8”刻蚀机 实现销售 8”刻蚀机 销售第三客户 晶硅太阳能 自动化解决方案 8”刻蚀机 销售第二客户 晶硅太阳能PECVD 进入生产线 RIE制绒设备开 发完成 愿景:成为全球知名的半导体、光伏和显示照明领域的高端设备提供商。 confidential 资金基础 股东构成 北京电子控股有限公司 中科院微电子研究所 清华大学 北京大学 中科院光电技术研究所 北京圆合电子技术公司 北京七星华电科技集团 国家项目 十五期间承担了863“100nm高 密度等离子刻蚀机”项目，总投 资2.6亿元; 目前承担国家科技重大专项 “90/65nm刻蚀机研发与产业化 ”项目和“65-45nmPVD设备研 发”项目，总投资10.85亿元。 产品销售 8英寸等离子体刻蚀机 12英寸等离子体刻蚀机 晶硅太阳能平板PECVD LED ICP刻蚀机 自动化设备 12英寸PVD 薄膜太阳能PVD RIE制绒设备 confidential 人才团队 人才背景 等离子体技术 高频交流电 精密机械设计 自动化系统控制 软件开发 本科 现有员工总数: 其他 218人 博士 海外专家15人、博士13人、硕士142人 11% 6% 人才来源 半导体业 优秀技术专家/ 管理精英 半导体业 海外归国人才/ 外籍专家 设备业 丰富经验研究人员 全国重点高等院 校优秀毕业生 18% 65%硕士 硕士以上员工比例为64% 71% confidential 行业经验 掌握的关键技术: 掌握的关键技术: 反应腔室设计、高真空技术、 反应腔室设计、高真空技术、 等离子体技术、射频匹配、真 等离子体技术、射频匹配、真 空自动传输、自动控制及软件 空自动传输、自动控制及软件 、终点检测、无损刻蚀、颗粒 、终点检测、无损刻蚀、颗粒 控制、刻蚀工艺 控制、刻蚀工艺 中芯国际天津工厂 上海华虹NEC二厂 涵盖的科学种类: 涵盖的科学种类: 精密机械、真空科学、自动控 精密机械、真空科学、自动控 制、软件科学、半导体物理、 制、软件科学、半导体物理、 等离子体物理、化学、光学、 等离子体物理、化学、光学、 材料学、热力学 、流体力学 材料学、热力学 、流体力学 上海宏力半导体公司 中芯国际北京12英寸工厂 第一家将高端半导体设备成功应用于集成电路大生产线的本土设备制造商 confidential 管理水平 质量管理 安全管理 产品数据管理 生产管理 知识管理 研发流程管理 知识产权 通过ISO9001/ISO14001/OHSAS18001质量、环境和职业 安全卫生管理体系认证 获得德国TUV公司CE、SEMI S2/S8产品安全和人体工程 学认证证书 引入PDM信息化产品数据管理系统 与全球著名SAP公司合作，引入ERP信息化企业管理系统 实施KM知识管理系统，利用工作流管理引擎，开创了积 累知识、创造知识的新途径 引入IPD集成产品开发管理体系，运用矩阵式组织管理架 构，提高了产品和技术开发的效率 首批“北京市示范专利单位”称号、国家专利试点单位; 目前累计 申请专利五百余件 confidential 研发平台 太阳能电池设备评测中心 千级工艺开发间 万级半导体设备组装间 射频检测分析实验室 形貌扫描电子显微镜 线条扫描电子显微镜 膜厚测量仪 颗粒检测仪 为国产高端装备的开发提供了有力支撑 confidential 服务能力 以客户为中心，设备在哪里使用，服务就在哪里提供 建立了标准的服务流程及完善的服务体系 北京本部 北京服务中心 美国办事处 上海服务中心 天津服务中心 日本办事处 confidential 晶硅平板PECVD设备的技术优势 北方微电子开发平板PECVD设备的机遇 ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 confidential ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 优异的工艺性能 高效的生产能力 先进的颗粒控制技术 前瞻性的功能扩展设计 完善的可靠性设计 先进的工艺控制软件 confidential ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 优异的工艺性能– 成膜均匀性 片内均匀性 沉积速率 均值 片间均匀性 片内均匀性 片间最大值 片间最小值 31.6nm/min 2.78% 0.8,1.9% 32.6 30.8 折射率 2.000 0.22% 0.06,0.79% 2.004 1.995 45.0 40.0 35.0 30.0 25.0 1 2 3 4 5 6 7 8 沉积速率 折射率 2.100 2.050 2.000 1.950 1.900 测试条件: Wafer 测试点 Wafer 摆放 a)4寸抛光片;b)距离wafer单边10mm;c)5点/片; d)均匀性计算方法(最大值-最小值)/(最大值+最小值) 片内、片间均匀性满足生产线要求 confidential ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 优异的工艺性能– 成膜均匀性 150.0 130.0 110.0 90.0 70.0 1106-0 1108-0 1110-0 1113-0 沉积厚度(抛光片) 2.050 2.025 2.000 1.975 1.950 1106-0 折射率(抛光片) 1107-0 1108-0 1109-0 1110-0 1111-0 重复性 = 最大值-最小值 最大值+最小值 重复性 = = 最大值-最小值 最大值+最小值 0.29% = 2.56% <3% (设备重复性指标) <1% (设备重复性指标) 批间均匀性满足生产线要求 confidential 1113-0 ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 高效的生产能力 大面积载板 高速沉积〉22 nm/min Inline式多腔室架构 自动化传输和载板返回 节拍控制 自动化装卸片 具备30MW电池生产能力 confidential ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 先进的颗粒控制技术 在线干法清洗技术 解决颗 粒问题 颗粒抑制 颗粒固化 颗粒去除 新型内衬设计 表面处理技术 设备工作流程优化 „„ 每30天开盖 维护1次 干洗前 干洗后 PRK技术在提高镀膜质量的同时，降低了设备维护频率 confidential ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 先进的工艺控制软件 人性化设计 ? 界面功能合理布局，符合SEMI E95标准 分布式控制 ? 分布式软件控制，保证软件的健状性 安全性设计 ? 安全互锁、报警处理、自动诊断、权限设定。 提供对外数据接口 ? 接口标准符合SEMI E4、E5、E30 ? 支持APC和MES 丰富的软件功能 ? 先进的配方管理、机台配置、统计记录、过程分 析处理 ? 自动、手动双重运行模式 confidential ESSINDTM PECVD设备的竞争优势 完善的可靠性设计 Semi和CE标准 ? 遵循Semi和CE标准设计 人员和设备的安全保护和故障互锁 ? 操作受安全互锁保护，保障人员和设备安全 ? 对数十个数据进行实时监控，自动报警，提示故障和隐患 部件寿命监控和统计 ? 可跟踪关键零件的使用寿命，保障设备稳定，提示进行维护 confidential 总结 基于在半导体行业积累的成功经验，北方微电子有信心成为一流的太 阳能电池高端设备提供商; 拥有众多前瞻性设计理念的ESSINDTM 平板式PECVD系统已经显示出 众多卓越性能。 confidential 愿北方微电子成为您真诚的合作伙伴 展台位置:W2馆T2136 1文 - 汉语汉字 编辑词条 文，wen，从玄从爻。天地万物的信息产生出来的现象、纹路、轨迹，描绘出了阴阳二气在事物中的运行轨迹和原理。 故文即为符。上古之时，符文一体。 古者伏羲氏之王天下也，始画八卦，造书契，以代结绳(爻)之政，由是文籍生焉。--《尚书序》 依类象形，故谓之文。其后形声相益，即谓之字。--《说文》序》 仓颉造书，形立谓之文，声具谓之字。--《古今通论》 (1) 象形。甲骨文此字象纹理纵横交错形。"文"是汉字的一个部首。本义:花纹;纹理。 (2) 同本义 [figure;veins] 文，英语念为:text、article等，从字面意思上就可以理解为文章、文字，与古今中外的各个文学著作中出现的各种文字字形密不可分。古有甲骨文、金文、小篆等，今有宋体、楷体等，都在这一方面突出了"文"的重要性。古今中外，人们对于"文"都有自己不同的认知，从大的方面来讲，它可以用于表示一个民族的文化历史，从小的方面来说它可用于用于表示单独的一个"文"字，可用于表示一段话，也可用于人物的姓氏。 折叠编辑本段基本字义 1(事物错综所造成的纹理或形象:灿若,锦。 2.刺画花纹:,身。 3(记录语言的符号:,字。,盲。以,害辞。 4(用文字记下来以及与之有关的:,凭。,艺。,体。,典。,苑。,献(指有历史价值和参考价值的图书资料)。,采(a(文辞、文艺方面的才华;b(错杂艳丽的色彩)。 5(人类劳动成果的总结:,化。,物。 6(自然界的某些现象:天,。水,。 7(旧时指礼节仪式:虚,。繁,缛节(过多的礼节仪式)。 8(文华辞采，与“质”、“情”相对:,质彬彬。 9(温和:,火。,静。,雅。 10(指非军事的:,职。,治武功(指礼乐教化和军事功绩)。 11(指以古汉语为基础的书面语:552,言。,白间杂。 12(专指社会科学:,科。 13(掩饰:,过饰非。 14(量词，指旧时小铜钱:一,不名。 15(姓。 16( 皇帝谥号，经纬天地曰文;道德博闻曰文;慈惠爱民曰文;愍民惠礼曰文;赐民爵位曰文;勤学好问曰文;博闻多见曰文;忠信接礼曰文;能定典礼曰文;经邦定誉曰文;敏而好学曰文;施而中礼曰文;修德来远曰文;刚柔相济曰文;修治班制曰文;德美才秀曰文;万邦为宪、帝德运广曰文;坚强不暴曰文;徽柔懿恭曰文;圣谟丕显曰文;化成天下曰文;纯穆不已曰文;克嗣徽音曰文;敬直慈惠曰文;与贤同升曰文;绍修圣绪曰文;声教四讫曰文。如汉文帝。 折叠编辑本段字源字形 字源演变与字形比较 折叠编辑本段详细字义 〈名〉 1(右图是 “文”字的甲骨文图片，资料来源:徐无闻主编:《甲金篆隶大字典》，四川辞书出版社。1991年7月第一版。 “文”字的甲骨文字绘画的像一个正面的“大人”，寓意“大象有形”、“象形”;特别放大了胸部，并在胸部画了“心”，含义是“外界客体在心里面的整体影像、整体写真、整体素描、整体速写”。 许慎《说文解字》把“文”解释为“错画也”，意思是“对事物形象进行整体素描，笔画交错，相联相络，不可解构”，这与他说的独体为文、合体为字的话的意思是一致的。“说文解字”这个书名就表示了“文”只能“说”，而“字”则可“解”的意思。“文”是客观事物外在形象的速写，是人类进一步了解事物内在性质的基础，所以它是“字”的父母，“字”是“文”的孩子。“文”生“字”举例(以“哲”为例):先对人手摩画，其文为“手”;又对斧子摩画，其文为“斤”。以手、斤为父母，结合、生子，其子就是“折”(手和斤各代表父母的基因)。这个“折”就是许慎所谓的“字”。“字”从宀从子，“宀”表示“独立的房子”，子在其中，有“自立门户”的意思。故“字”还能与“文”或其他“字”结合，生出新“字”来。在本例，作为字的“折”与作为文的“口”结合，就生出了新的字“哲”。 2( 同本义 [figure;veins] 文，错画也。象交文。今字作纹。——东汉?许慎《说文》 五章以奉五色。——春秋?左丘明《左传?昭公二十五年》。注:“青与赤谓之文，赤与白谓之章，白与黑谓之黼，黑与青谓之黻。” 美于黼黼文章。——《荀子?非相》 茵席雕文。——《韩非子?十过》 织文鸟章，白旆央央。——《诗?小雅?六月》 斑文小鱼。——明? 刘基《诚意伯刘文成公文集》 3(又如:文驾(彩车);文斑(杂色的斑纹);文旆(有文彩的旗帜);文绣(绣有彩色花纹的丝织品;刺花图案);文织(有彩色花纹的丝织品);文鳞(鱼鳞形花纹)。 4(字，文字(“文”，在先秦时期就有文字的意思，“字”，到了秦朝才有此意。分别讲，“文”指独体字;“字”指合体字。笼统地说，都泛指文字。) [character] 饰以篆文。——南朝宋?范晔《后汉书?张衡传》 分文析字。——东汉?班固《汉书?刘歆传》 夫文，止戈为武。——《左传?宣公十二年》 距洞数百步，有碑仆道，其文漫灭。——王安石《游褒禅山记》 文曰“天启壬戌秋日”。——明? 魏学洢《核舟记》 文曰“初平山尺”。 5(又如:甲骨文;金文;汉文;英文;文迹(文字所记载的事迹);文书爻(有关文字、文凭之类的卦象);文异(文字相异);文轨(文字和车轨);文狱(文字狱);文钱(钱。因钱有文字，故称);文状(字据，军令状);文引(通行证;路凭);文定(定婚)。 6(文章(遣造的词句叫做“文”，结构段落叫做 “章”。) [literary composition] 故说诗者不以文害辞。——《孟子?万章上》 好古文。——唐? 韩愈《师说》 属予作文以记之。——宋? 范仲淹《岳阳楼记》 能述以文。——宋? 欧阳修《醉翁亭记》 摘其诗文。——清? 纪昀《阅微草堂笔记》 7(又如:文价(文章的声誉);文魔(书呆子);文会(旧时读书人为了准备应试，在一起写文章、互相观摩的集会);文移(旧时官府文书的代称);文雄(擅长写文章的大作家);文意(文章的旨趣);文义(文章的义理);文情(文章的词句和情思);本文(所指的这篇文章);作文(写文章;学习练习所写的文章);文魁(文章魁首);文价(文章的声价);文什(文章与诗篇)。 8(美德;文德 [virtue] 圣云继之神，神乃用文治。——杜牧《感怀诗一首》 9(又如:文丈(对才高德韶的老者的敬称);文母(文德之母);文武(文德与武功);文命(文德教命);文惠(文德恩惠);文德(写文章的道德);文薄(谓文德浅薄);文昭(文德昭著)。 10.文才;才华。亦谓有文才，有才华 [literary talent] 而文采不表于后世也。——汉? 司马迁《报任安书》 11(又如:文业(才学);文英(文才出众的人);文采风流(横溢的才华与潇洒的风度);文郎(有才华的青少年);文彦(有文才德行的人);文通残锦(比喻剩下不多的才华)。 12(文献，经典;韵文 [document;classics;verse] 儒以文乱法。——《韩非子?五蠹》 言必遵修旧文而不穿凿。——《说文解字?叙》 13(辞词句。亦指文字记载 [writings;record]。如:文几(旧时书信中开头常用的套语。意为将书信呈献于几前);文倒(文句颠倒);文过其实(文辞浮夸，不切实际);文义(文辞);文辞(言词动听的辞令);文绣(辞藻华丽)。 14(自然界的某些现象 [natural phenomenon] 经纬天地曰文。——《左传?昭公二十八年》 15(又如:天文;地文;水文;文象(日月星辰变化的迹象);文曜(指日月星辰;文星);文昌(星座名)。 16(文治;文事;文职。与“武”相对。 [achievements in culture and education;civilian post] 文能取胜。——《史记?平原君虞卿列传》 文不能取胜。 文武并用。——唐? 魏征《谏太宗十思疏》 精神折冲于千里，文武为宪于万邦。――明《袁可立晋秩兵部右侍郎诰》 17(又如:文臣，文吏(文职官吏);文席(教书先生的几席);文品(文官的品阶);文帅(文职官员出任或兼领统帅);文烈(文治显赫);文员(文职吏员);文阶(文职官阶);文道(文治之道);文业(文事);文僚(文职官吏)。 18(法令条文 [articles of decree] 而刀笔吏专深文巧诋，陷人于罪。——《史记?汲黯列传》 19(又如:文劾(根据律令弹劾);文法吏(通晓法令、执法严峻的官吏);文丈(规矩; 制度 关于办公室下班关闭电源制度矿山事故隐患举报和奖励制度制度下载人事管理制度doc盘点制度下载 );文移(官府文书);文牓(布告;文告);文宪(礼法;法制)。 20(文言。古代散文文体之一;别于白话的古汉语书面语 [literary language]。如:半文半白;文语;文白(文言文和白话文)。 21(文教;礼节仪式 [rites] 则修文德。——《论语?季氏》 22(又如:文丈(崇尚礼文仪节);文俗(拘守礼法而安于习俗);文致(指礼乐);文貌(礼文仪节);文绪(文教礼乐之事);文仪(礼节仪式) 23(指表现形式;外表 [form;appearance]。如:文服(表面服从);文榜(告示、布告之类);文诰(诰令) 24(指鼓乐，泛指曲调 [music;tune]。如:文曲(指乐曲);文始(舞乐名) 25(谥号，谥法:勤学好问叫文 [study deligently] 何以谓之文。——《论语》 是以谓之文。 26(姓 〈动〉 1(在肌肤上刺画花纹或图案 [tatto (the skin)] 被发文身。——《礼记?王制》。注:“谓其肌，以丹青涅之。” 文绣有恒。——《礼记?月令》 2(又如:文笔匠(在人身上刺花的艺人);文身断发(古代荆楚、南越一带的习俗。身刺花纹，截短头发，以为可避水中蛟龙的伤害。后常以指落后地区的民俗);文木(刻镂以文采之木) 3(修饰;文饰 [cover up] 身将隐，焉用文之?——《左传?僖公二十三年》 饰邪说，文奸言，以枭乱天下。——《荀子?非十二子》 4(又如:文过饰非;文致(粉饰;掩饰);文冢(埋葬文稿之处) 5(装饰 [decorate] 舍其文轩。——《墨子?公输》 此犹文奸。 文车二驷。——明? 归有光《项脊轩志》 文马四百匹。——《史记?宋世家》 若将比予文木邪。——《庄子?人间世》 6(又如:文巧(文饰巧辩);文竿(以翠羽为饰之竿);文舫(装饰华丽的游艇);文饰(彩饰);文榭(饰以彩画的台榭);文舟，文艘(装饰华丽的船);文剑(装饰华丽的剑);文舆(饰以彩绘的车) 7(撰写文章 [write]。如:文匠(写文章的大家);文祸(因写文章而招来的灾祸);文雄，文杰(指文豪) 〈形〉 1(有文采，华丽。与“质”或“野”相对 [magnificent;gorgeous] 其旨远，其辞文。——《易?系辞下》 晋公子广而俭，文而有礼。——《左传?僖公二十三年》 2(又如:文巧(华丽奇巧);文朴(文华与质朴);文服(华美的衣服);文砌(华美的石阶);文背(不文雅，粗俗);文轩(华美的车子);文质(文华与质朴) 3.柔和，不猛烈 [mild;gentle]。如:文烈(指火候温猛) 4(美，善 [fine;good]。如:文徽(华美);文鸳(即鸳鸯。以其羽毛华美，故称);文衣(华美的服装) 5(通“紊”。紊乱的 [disordered] 惇宗将礼，称秩元祀，咸秩无文。——《书?洛诰》 天子祭天下名山大川，怀柔百神，咸秩无文。——《汉书?郊祀志上》 王者报功，以次秩之，无有文也。——庆劭《风俗通义?山泽》 〈量〉 1(用于旧时的铜钱。如:一文钱 2(用于计算纺织物 五扶为一首，五首成一文。——《后汉书》