LEDIT使用技巧

LEDIT用技巧PAGE\*MERGEFORMAT#/29PAGE\*MERGEFORMAT#/294.3集成电路自动 设计 领导形象设计圆作业设计ao工艺污水处理厂设计附属工程施工组织设计清扫机器人结构设计 工具软件掩模疆域编写操作集成电路设计、模拟验证、疆域编写、自动布局布线S-Edit为核心的集成电路设计、模拟、考证模块，包含电路图编写器S-Edit、电路模拟器T-Spice和高级模型软件、波形编写器W-Edit、NetTran网表变换器、门电路模拟器GateSim以及工艺映照库、切合库SchemLib、Spice元件库等软件包，构成一个完好的集成电路设计、模拟、考证系统，每个模块互有关系又相对独立，此中S-Edit能够把设计的电路图变换成SPICE，VHDL，EDIF和TPR等网表文件输出，供给模拟或自动布图布线。L-Edit为核心的集成电路疆域编写与自动布图布线模块，包含集成电路疆域编写器L-Edit和用于疆域检查的网表比较器LVS等模块，L-Edit自己又嵌入设计规则检查DRC、供给用户二次开发用的编写界面UPI、 标准 excel标准偏差excel标准偏差函数exl标准差函数国标检验抽样标准表免费下载红头文件格式标准下载 疆域单元库及自动布图布线SPR、器件剖面察看器CrossSectionViewer、疆域的SPICE网表和疆域参数提取器Extract(LPE)等等，网表比较器LVS则用于把由L-Edit生成的疆域反向提取的SPC网表和由S-Edit设计的逻辑电路图输出的SPC网表进行比较实现疆域检查、对照剖析。L-Edit除了拥有自己的中间图形数据格式(TDB格式)外，还供给了两种最常用的集成电路疆域数据传达格式(CIF格式和GDSII格式)的输入、输出功能，能够特别方便地在不一样的集成电路设计软件之间互换图形数据文件或把图形数据文件传达给光掩模制造系统。4.3.1掩模原始子单元(Cell)图形生成4.3.1.1成立新文件(File)履行LEDIT批办理文件进入L-EDIT交互式图形编写介面进入File/MergeSetup翻开早先成立的掩模图形设计环境文件LMK.TDB进入File/New成立新创立图形文件的文件名，如YXYM001注意：建议所有文件名及单元名均采纳大写字符若改正已成立的图形文件进入File/Open再输入文件名4.3.1.2成立新单元（Cell）进入Cell/New成立新创立图形原始单元名，如YSDY001。4.3.1.3设定单位a）进入Setup/Technology进行单位设置。b）第一确认单位选择Other[Lambda]设在内部单位模式。c）设置1个LEDIT内部单位等于多少用户设定的单位。默认值为1InternalUnit（1/1）Lambda表示1个LEDIT内部单位等于1个用户设定的单位。1个LEDIT内部单位，默认值相当屏幕上1格。建议设置为1InternalUnit（1/1000）Lambda即设置成1000个LEDIT内部单位等于1个用户设定的单位。假如需要图形周边效应校订，曝光图形需要尺寸再造（涨缩），带有斜线或曲线图形必定要设置成1000个LEDIT内部单位等于1个用户设定的单位。不然不可以进行尺寸调整或不可以保证制版精度甚至出现错位及台阶。d）设置数据输出时1用户设定的单位等于多少微米默认值设置1Lambda（1/1）Microns即表示数据输出时1用户设定的单位等于1微米。也就是说设置1000格相当于1微米。（表示屏幕显示1格等于1纳米），这类设置可保证输出图形精度。4.3.1.4输出倍率设定假如需要改变输出倍率（如X10倍输出），可在数据办理达成后存盘前改正为：1Lambda（10／1）Microns即表示数据输出时1用户设定的单位等于1微米。4.3.1.5设定显示格栅和显示坐标小数点地点a）进入Setup/Design/Grid进行屏幕显示格栅设置。b）在格栅显示“Griddisplay模块中”设置DisplayedGrid=100InternalUnit屏幕显示1格等于100个LEDIT内部单位。或许“Displayed填”充框中填入“0.100”Locator（标定单位-微米）。c）“Suppressgrigless8pixel表示图形缩”小到一个格栅只占显示屏幕8个像素时，屏幕上不显示出格栅。d）在鼠标与格栅关系“Mousegrid模块"中，选择鼠标指针“Cursor运”动方式：选择“Snapping”鼠标只好逗留在规定的格点处，非格点处鼠标停不下来，为绘图供给方便。比如设定“Mousesnap0.100Locator，鼠”标咬住0.1微米的格点,鼠标在屏幕上是跳动的，即每跳动一格为0.1微米。选择“Smooth”，则鼠标为连续挪动的状态。e）设置鼠标跳动步距MouseSnapGrid=100InternalUnit鼠标跳一步等于100个LEDIT内部单位。或许设置“Mousesnap0.100Locator（”标定单位-微米）。f）设置标定单位OneLocatorUnit=1InternalUnit屏幕显示坐标值1.0等于1个LEDIT内部单位。（建议与设置1InternalUnit（1／1000）Lambda相般配）设置成：OneLocatorUnit=1000InternalUnit屏幕显示坐标值1.0等于1000个LEDIT内部单位（=1.0微米）。屏幕显示坐标值和实质值一致，比较直观，不简单犯错。4.3.1.6选择需要办理的掩模图形层（Layer）用鼠标在模式栏（ModeBar）的掩模层选择区（LayerArea）中选择所要办理的层名（层号）。4.3.1.7绘制图形形状模式选择用鼠标在模式栏（ModeBar）的作图模式区（ObjectArea）中选择绘图模式。包含矩形（最常用的图形）。圆形、圆环、扇区。多边形（直角多边形、45度斜边多边形、随意拐角多边形），不一样意交错多边形。带宽度的线条：（直角拐弯线、45度斜线连结、随意拐角线）因曝光时线头部分简单犯错，建议采纳多边形画线条。无宽度的线条（因数据变换时简单犯错，建议采纳多边形画线条）字符（因数据变换时不认可，建议不用，或写在非功能层上作参照，需要制出的字符要用矩形拼接构成图形曝光）此时就能够使用鼠标在设计区（LayoutArea）作图。可用选择不一样掩模层，设计其余层次有关的图形。4.3.1.8设计过程中常用操作◊用"+"或"-"键放大减小屏幕◊用"Home"键可在全屏幕显示完好图形◊用"一〃、"一〃、"f〃、"1〃键挪动图形◊打"Z"键后，用鼠标左键在屏幕上拖动一小窗口，可放大察看改正细部。◊用鼠标左键在某图形上定位后，打"Q"键使该坐标清零;在用鼠标在屏幕上检查线宽或间距。二次打"Q"键坐标值还原。4.3.1.9鼠标功能建议采纳逻辑真三键鼠标（LogitechfirstMouse，Threebutton），假如没有真三键鼠标，则采纳“Shift键+Alt键+鼠标左键”组合取代鼠标中键功能，但使用有所不便。◊鼠标左键功能：［点击功能键、绘图键、和Alt组合模拟中键］所有惯例鼠标选择功能及所有拖动绘图功能。在图形区中按键盘Alt键的同时，按鼠标左键可挪动被选定的图形地点、？边或角（黑边图形）（相当于只按鼠标中键），在层选择区按键盘Shift键+Alt键的同时,按鼠标左键（相当于？Shift键+鼠标中键），此时除指定层外，其余层图形所有都被关闭。在层选择区按键盘Alt键的同时，按鼠标左键（相当于只按鼠标中键），指定层被关闭。◊鼠标中键功能：［图形拖动键、层关闭键］把鼠标指向被选定的图形（黑边图形）中部任何部位，按鼠标中键可拖动整个图形挪动。形状不变。把鼠标指向被选定的图形（黑边图形）任何一条边，按鼠标中键可拖动该边，改变形状。把鼠标指向图形任何一个角点上，按鼠标中键可拖动该点，改变形状。在层选择区按键盘Shift键的同时，按鼠标中键（或Shift键+Alt键+鼠标左键），此时除指定层外，其余层图形所有都被关闭。在层选择区只按鼠标中键（或按键盘Alt键的同时，按鼠标左键），指定层被关闭。◊鼠标右键功能：［图形选择键、层解放键］按鼠标右键拖动窗口选择一个或一组图形。在一组图周边点击鼠标右键可挨次选择此中的某个图形。按键盘Shift键同时，?再用鼠标右键可多次点击不一样的图形也可实现一次选择一组图形。用鼠标右键，点掩模层选择区（LayerArea）中任何被关闭层的地点，该层被解放。在按键盘Shift键的同时，按鼠标右键，此时所有层图形所有都解放。4.3.1.10图形层的关闭与翻开的操作◊除指定的图形层外，关闭其余因此图形层的操作用鼠标左键点模式栏（ModeBar）的掩模层选择区（LayerArea）中选择指定的图形层，点鼠标右键翻开图形层操作菜单，用鼠标左键选择“HideAll”（或许在三键鼠标中按键盘Shift键的同时，按鼠标中键），此时除指定层外，其余层图形所有都被关闭。◊翻开被关闭的所有图形层的操作用鼠标左键点模式栏(ModeBar)的掩模层选择区(LayerArea)中选择需要操作的目标层地点(或随意层地点)，点鼠标右键翻开图形层操作菜单，用鼠标左键选择“ShowAll”或(者在三键鼠标中按键盘Shift键的同时，按鼠标右键)，此时所有层图形所有都解放。◊只对指定的图形层进行关闭或翻开的操作用鼠标左键点模式栏(ModeBar)的掩模层选择区(LayerArea)中选择需要操作的目标层地点，点鼠标右键翻开图形层操作菜单，用鼠标左键选择“ShowAll”，此时被选择的图形层关闭，假如再用鼠标左键选择“ShowAll”，此时被选择的图形层又能够翻开。其余图形层状态不变。4.含例化单元图形的操作4.3.插入被例化单元(原始单元)图形步骤进入Cell/New成立新创立图形单元名，女口CellOOl进入Cell/Instance选择某已成立的单元(如Cell002)选OK(注意：图形坐标已改动，需要从头定位)4.3.进入改正图形形态操作界面进入Edit/EditObject(s)4.3.改正图形位移参数Translation(LocatorUnits)：X：OY：O输入OO使图形坐标回零点。需要位移输入相应坐标值。4.3.2.4改正图形位相参数Coordinatesystem：Rotation：0.00输入图形旋转角度。Mirro：选择图形镜像关系。4.3.2.5改正图形倍率参数ScaleFactor：1/1倍率不变。4.3.2.6设置散布重复图形单元阵列参数ArrayParameters：Repeatcount：输入X-Y分步重复个数。Delta(locatorUnits)：输入X-Y步距可生成重复单元图形阵列。4.一个单元能够插入多个例化图形的单元或多次插入同一个例化图形的单元,还能够画入新的图形。能够对每个例化图形的单元和新画入的图形进行选用及各样形态操作,实现图形拼接合成。4.含例化图形的单元还能够作为新的例化图形的单元，构成多次嵌套关系的图形。4.改正被例化单元（原始单元）图形，能够使含例化图形的单元阵列中所有单元都被改正。4.含例化图形的单元中的图形不行能逐一多边形或矩形进行改正，需要个别改正多边形或矩形，一定把含例化图形的单元压平，撤消嵌套关系。点击Cell/Flatten把所有嵌套关系的单元图形逐级代入睁开，生成没有任何嵌套关系的完好图形（简称"粉碎"或"压平"）。压平后单元变为不含例化图形的单元，能够对任何多边形或矩形进行操作。4.图形绘制、改正操作4.3.3.1鼠标拖动直接绘制法第一选择绘制图形形状模式，比方选择矩形、多边形、圆形等绘图模式，利用鼠标在屏幕上挪动，察看屏幕右上角格点坐标值变化，当鼠标挪动到需要的坐标值时点鼠标左键在屏幕上定位，向来按住鼠标左键并拖动鼠标到所需要的坐标值松开鼠标左键。假如绘制多边形，则是每点一次鼠标左键定位一个多边形极点，最后点鼠标右键达成一个多边形绘制。这类绘制法合用于屏幕上出现格点，而且设置鼠标是跳动的模式，并只绘制整数格点的小图形。绘制大图形很不方便。4.鼠标拖动改正法第一利用鼠标右键在屏幕上点击图形,选择一个孤立图形（图形轮廓线变黑?）,或许新绘制一个大概尺寸的图形。把鼠标指向图形中部任何部位，用Alt+鼠标左键（或许Shift+Alt+鼠标左键，此时能够在X或Y方向分别挪动，也能够用三键鼠标的中键）可拖动整个图形挪动。形状不变。把鼠标指向图形任何一条边，用Alt+鼠标左键可拖动该边，改变形状，察看坐标变化，同时打"Z"键后，用鼠标左键在屏幕上拖动一小窗口，渐渐放大再持续按鼠标中键再持续拖动该边，直到格点出现时察看坐标达到所需要数值为止。把鼠标指向图形任何一个角点上，用Alt+鼠标左键可拖动该点，改变形状，察看坐标变化，同时打键盘"Z"键后，用鼠标左键在屏幕上拖动一小窗口，渐渐放大再持续按鼠标中键再持续拖动该点，直到格点出现时察看坐标达到所需要数值为止。为绘制方便能够早先利用参照标像层或在其余图形层上绘制作为参照用的图形。利用参照标像层的图形进行精准定位。4.输入座标改正法第一利用鼠标右键在屏幕上点击图形,选择一个孤立图形（图形轮廓线变黑?）,或许新绘制一个大概尺寸的图形。进入Edit/EditObject改正矩形对角点的X-Y坐标值，多边形的各个极点的X-Y坐标值、圆心X-Y坐标值及半径等数值，精准绘制图形。4.图形形态变换及办理的操作LEDIT使用技巧LEDIT使用技巧LEDIT用技巧PAGE\*MERGEFORMAT#/29PAGE\*MERGEFORMAT#/294.PAGE\*MERGEFORMAT#/294.3.被选择的图形挪动操作a）翻开Draw/MoveBy/Moveamount（LocatorUnits）输入X-Y坐标值。b）翻开Draw/Nudge/Left;Right;Up;Down可进行左、右、上、下的细小移动。4.3.4.2被选择的图形旋转操作a）翻开Draw/Rotate/90degrees有关于被选择的图形的中心点逆时针旋转90度。b）翻开Draw/Rotate/RotateSelectedObjects/Rotationangle-degrees（Counterclockwise）。有关于被选择的图形的中心点逆时针旋转（依据输入随意角度值）。c）翻开Draw/Rotate/RotateSelectedObjects/Rotationaround/被选择的图形有关于指定的某点为旋转中心进行逆时针旋转（依据输入随意角度值）。Center：有关于被选择的图形的中心点逆时针旋转（依据输入随意角度值）。Offsetfromcenter：被选择的图形中心点位移X-Y值后，以这一点为旋转中心进行逆时针旋转（依据输入随意角度值）。Absolutecoordinates：被选择的图形中心点位移X-Y值后，以坐标原点为旋转中心进行逆时针旋转（依据输入随意角度值）。假如X-Y位移值为（0，0），则被选择的图形以坐标原点为旋转中心进行逆时针旋转（依据输入随意角度值）。3.4.3被选择的图形镜像操作a翻开Draw/Flip/Horizont进行图形以Y为轴镜像办理（左右对称办理）。b）翻开Draw/Flip/Vertic进行图形以X为轴镜像办理上下对称办理）4.3.4.4对被选择的图形进行选择性切割操作a翻开Draw/Slice/Horizont对图形进行平行于X方向的切割办理。b）翻开Draw/Slice/Vertical图形进行平行于Y方向的切割办理。为了方便精准定位点，建议适合设置鼠标跳步参数进行配合。c）翻开Draw/Merge对被选择的图形（或被切割的图形）进行归并操作。4.3.5复制、拷贝操作4.3.5.1图形层内部被选择的图形复制a第一用鼠标选择需要复制的图形用鼠标右键在屏幕上选择某个矩形或拖动窗口选择一组图形。b）点击Edit/Copy（或许Ctrl+C）把图形存入粘贴缓冲区？（?Paste-?Buffer）。c）点击Edit/Paste（或许Ctrl+V）即可调出存入粘贴缓冲区中的图形（主意：图形坐标已改动）。d）用Shift+Al鼠标左键：把拖动图形到需要安置的地点（能够采纳参照层定位）。打"Z键后，用鼠标左键在屏幕上拖动一小窗□，精准定位。若再点Edit/Past还可持续调出存入粘贴缓冲区中的图形，？并按上述挪动的间距两倍的地点精准定位...以此类推可重复Copy多组图形。LEDIT用技巧LEDIT用技巧PAGE\*MERGEFORMAT#/29PAGE\*MERGEFORMAT#/294.把目前图形层中被选择的图形复制到此外一个图形层上的操作a）第一用鼠标选择需要复制的图形用鼠标右键在屏幕上选择某个矩形或拖动窗口选择一组图形。b）点击Edit/Copy（或许Ctrl+C）把图形存入粘贴缓冲区？（?Paste-?Buffer）?。c）用鼠标点击图层版中此外一个图层。d）点击Edit/PastetoLayer（或许Alt+V）即可调出存入粘贴缓冲区中的图形复制到该图层上。（注意：图形坐标已改动）。e）用Alt+鼠标左键（Shift+Alt+鼠标左键，此时能够在X或Y方向分别挪动），把拖动图形到需要安置的地点（能够采纳参照层定位）。打"Z"键后，用鼠标左键在屏幕上拖动一小窗口，精准定位。4.3.5.3不一样层间选择图形或单元图形（Cell）考贝a）进入Cell/Open选择需要考贝的单元。b）用鼠标左键点模式栏（ModeBar）的掩模层选择区（LayerArea）中选择所要考贝的层地点，点鼠标右键翻开图形层操作菜单，用鼠标左键选择“HideAll，”此时除指定层外，其余层图形所有都被关闭。c）利用鼠标右键在屏幕上拖动窗口选择需要考贝图形（图形轮廓线变黑），?也能够用鼠标点Edit/SelectAll选择该层的所有图形。d）用鼠标进入Edit/Copy（或许按Ctrl+C键）把该层选择的图形考贝入存放器，。e)用鼠标左键点模式栏(ModeBar)的掩模层选择区(LayerArea)中选择考贝的目标层地点，点鼠标右键翻开图形层操作菜单，用鼠标左键选择“ShowAll，”此时所有层图形所有都解放。在按键盘Alt键的同时，按V键。达成层间单元图形考贝，但图形地点会有变化。在按键盘Alt键的同时，按住鼠标左键拖动目标层新考贝图形，让它与被考贝层的图形对齐，注意要联合键盘"Z"键，用鼠标左键在屏幕上拖动一小窗口，渐渐放大再持续按键盘Alt键的同时，按住鼠标左键拖动目标层新考贝图形，向来到格点出现后两出真实对齐为止。4.3.5.4同一文件内单元图形(Cell)考贝a)进入Cell/Copy选择需要考贝的单元如CellOOl,b)点〖OK〗窗口，输入新单元名如Cell003，则生成新单元的坐标与原单元一致。4.3.5.5不一样文件间单元图形(Cell)考贝a)进入Cell/Copy选择需要考贝的单元如Cell001,b)用鼠标点〖File〗窗口可选择已被翻开的此外一个文件YXYM002,并选定需要考贝的单元。c)再点〖OK〗窗口，并输入，d)即可把文件YXYM002中的Cell001单元图形复制到目前文件YXYM001中，生成新单元名Cell004的单元图形。假如目前文件中已存在相同的单元图形名，会提示改正新的单元图形名。4.3.5.6不一样文件间的不一样层间选择图形或单元图形(Cell)考贝不一样文件间不可以直接进行不一样层间图形考贝，只好先采纳“4.3.5.5”进行不一样文件间单元图形(Cell)考贝后，再依据“4.3.5.3”的方法进行不一样层间选择图形或单元图形（Cell）考贝。4.3.6图形的布尔运算与图形反转L-EditV8.50以上版本拥有一个特别实用的图形布尔运算工具X-Tools，为绘制复杂的闭合多义线图形、图形挖空及图形反转操作供给很方便的工具。4.3.6.1进入布尔运算模式a）翻开Tools/UPILIB/X-Tools,进入布尔运算界面。b）翻开“Option。”c）选择“Removeoriginalpolygon（s）afteroperation，运”算后删除本来图形，只留下运算结果，便于察看。4.3.6.2图形A和B相加（Or,加法）的运算a）第一选择一个图形或一组图形，把“Boolean中”的“A点”红。b）再选择另一个图形，把“Boolean中”的“B点”红。c）按“AorB，可”实现图形A和B相加，即A和B两组所有图形都加到一块构成新的图形。4.3.6.3图形A被图形B挖去（SUB,减法）的运算a）第一选择一个大的图形，把“Boolean中”的“A点”红。b）再选择另一个图形或一组图形，把“Boolean中”的“B点”红。c）按“AsubB，”可实现图形A减B，即图形A中挖去图形B构成新的图形。假如图形B被图形A完好包围，则运算结果图形A被图形B挖空，利用这个功能能够实现图形反转操作。假如图形B包围图形A,则运算结果所有图形都消逝。假如图形B只掩盖图形A的一部分，则运算结果图形A被图形B掩盖的部分挖去。4.3.6.4图形A和图形B相互重叠部分挖去（XOR）的运算a）第一选择一个图形或一组图形，把“Boolean中”的“A点”红。b）再选择另一个图形或一组图形，把“Boolean中”的“B点”红。c）按“AxorB，可”实现图形A和B相互重叠部分挖去，A和B两组所有没有重叠的图形都加到一块构成新的图形。4.3.6.5图形A和图形B相互重叠部分保存其余部分删除（AND）的运算a）第一选择一个图形或一组图形，把“Boolean中”的“A点”红。b）再选择另一个图形或一组图形，把“Boolean中”的“B点”红。c）按“AandB，可”实现图形A和B相互重叠部分保存，A和B两组所有没有重叠的图形都被删除。4.3.6.6利用布尔运算工具X-Tools进行图形反转的运算利用“4.3.6.3”图形A被图形B挖去（SUB,减法）运算的功能，a）第一选择需要被反转的图形。把“Boolean中”的“B点”红。b）而后依占有效图形加划片道画一个大的矩形把图形B包围起来，注企图形边沿对称，把“Boolean中”的“A点”红。c）再按“AsubB，可”实现图形B图形反转操作。4.图形层间的布尔运算与图形反转利用已有的图形层经过运算产生新工艺图形层的操作。注意：这里只合用于矩形、45°/90°的多边形或连线。不可以办理圆形和随意角度的图形。4.进入生成层设置操作a）翻开Setup/Layers/Derivation/Derived进入生成层推导界面。b）翻开“Derivation对话”框，能够有四种推导种类：Boolean采纳布尔运算产生推导层。Selection采纳图形层选择的方法产生推导层。Area采纳图形层面积计算的方法产生推导层。Density采纳图形层密度计算的方法产生推导层。4.采纳布尔运算产生推导层a）确认已经有两个以上图形层有图形数据。b）用鼠标左键点模式栏（ModeBar）的掩模层选择区（LayerArea）中选择将要生成的目标层地点。c）选择“Boolean布”尔运算方式。d）选择“EnableDerivation激活”推导。e）在源图层模块SourceLayers（LocatorUnits定位器单位-微米）中分别选择各源图层的层名及各样布尔运算参数：◊翻开“Layer选择”各层的层名，一次最多只好有三层图形进行运算。多于三层的，能够采纳其余层图形与前三层图形运算结果生成的新图层合成运算。◊假如要对该层图形反转，要在该层选择“NOT，”进行“非”运算。假如该层图形需要尺寸专门再造（即图形每边涨缩设置的定位器单位，如-0.2,则该层所有图形的边沿每边减小0.2微米）。◊"Operation中选择”“AND则”，生成的新图层只有上下两层重合的部分的图形,两层没有重合的部分去除。“Operation中选择”“OR则”，生成的新图层包含上下两层所有的图形，即两层图形进行加法运算。f）确立达成布尔运算推导层的参数设置。4.3.7.3进行布尔运算生成新图层的操作a）翻开Tools/GenerateLayers进入生成新图层对话框。b）在“Target中"选择“Layer，在"此中下拉菜单中选择生成新图层的层名。（假如选中“AllLayer，”则生成新图层时同时生成推导层的轮廓线图形。）c）选中“Deletederivedlayers，则”在生成新图层时删除推导层的图形（在标像层上的各源图层轮廓线），只留下生成新图和源图层。（假如不选中，还保存推导层的轮廓线图形。）d）扫描场（扫描格Binning）参数设置在“Bin中”设置扫描格的尺寸（定位器单位-微米）。假如选中“Mergeobjectsaftergeneration，则”生成新图为归并的图形，（假如不选中，则生成新图是按扫描场切割的图形）。e）按“OK，”进行布尔运算,运算结果生成新图层,新图层和源图层相同能够进行各样办理。f）要删除生成的新图层和推导层的轮廓线，进行以下操作：翻开Tools/ClearGeneratedlayers，进入删除生成的新图层和推导层图形的“DeleteObjectsonGeneratedLayers对话框。”选择“ThisCell删除”目前图形单元中生成的新图层和推导层的轮廓线。4.3.7.4掩模图形层的图形反转操作a）要对图形层进行图形反转,建议在设计掩模图形时,每层图形（包含每边加半个划片道）的最大点和最小点上各作一个地点相同大小相同的定位小矩形（尺寸能够是1微米以下。用于保证数据办理时各层数据中心一致，而且能够确立图形反转的范围。b）拜见“4.3.7.2”用鼠标左键点模式栏（ModeBar）的掩模层选择区（LayerArea）中选择将要生成的目标层地点。c）选择“Boolean布”尔运算方式。d）在源图层模块SourceLayers（LocatorUnits定位器单位-微米）中选择需要进行图形反转的层名。e）选择“NOT，”进行“非”运算。f）拜见“4.3.7.3”翻开Tools/GenerateLayers进入生成新图层对话框。g）在“Target中”选择“Layer，在”此中下拉菜单中选择生成新图层的层名。h）选中“Deletederivedlayers，在生”成新图层时删除推导层的图形，只留下生成新图和源图层。i）依据图形复杂程度，在“Bin中”设置适合的扫描格的尺寸。j）选中“Mergeobjectsaftergeneration，生成新”图为归并的图形。k）按“OK”，进行图形反转运算。4.利用宏进行图形编写功能的二次开发4.3.8.1翻开Tools/Macro进入宏界面。4.在“MacroFiles中打”开“Load出”现查找已经编释的宏文件。比如：d：\Ledit750-hy\Leditdlg.dll。把已经编释好的宏文件Leditdlg.dll读入界面。4.选中d：LEDIT用技巧LEDIT用技巧PAGE\*MERGEFORMAT#/29PAGE\*MERGEFORMAT#/29\Ledit750-hy\Leditdlg.dll。则自动选择“Macros：”宏表格中的“Advancetool。”4.3.8.4点击“Run”运转编释宏文件。即出现“Advancetool任”意角度、随意曲线微光刻图形生成工具条。能够方便地办理各样波带片、园环、螺旋线、扇形、扇形环、椭圆、椭圆环、齿轮、条形码以及由随意函数曲线构成的图形。拜见“随意角度、随意曲线微光刻图形生成工具软件模块操作”。4.图形拼接错误检查操作4.3.备份原始LEDIT设计环境文件CopyLedit.tdbLedit000.tdb4.3.改正设计规则集因为原始LEDIT设计环境文件中包含的设计规则集是通用的完好集成电路设计规则，十分复杂，关于只是用于微光刻图形编写来说，需要简化设计规则集，改正成只检查最小线宽和最细图形空隙两种最基本的设计规则。a）翻开Tools/DRC进入设计规则检核对话框“DesignRuleCheck。”c）按“Setup钮”，进入设计规则检核对话框“SetupDesignRules。“d）逐一选择“RulesList中的”设计规则 条例 事业单位人事管理条例.pdf信访条例下载信访条例下载问刑条例下载新准则、条例下载 ，把激活规则复选框“Enable中”的“丿”去除，即把所有现成的设计规则所有去选，使本来的设计规则无效。e）按“Addrule钮”，新增设计规则，在“Rule:”设计规则条例名称填补框中自动生成的规则条例名称“NewRule0为改”“PolyMinwidth。”而且确认规则复选框“Enable”处激活状态，即“V”状态。f）在“Ruletype中”的最小线宽“Minwidth选中”。g）把例外选择“Ignore中”的45度锐角复选框“45degreeacuteangle选中”，同意45度以下锐角出现。h）在定义最小同企图形边长尺寸填补框“Ruledistance中填允”许尺寸，比如0.100”，单位选择用户设定的单位“Lambda或”者“Microns。”i）在设计规则图层选择“Rulelayers中“”Layerl的”图形层选择下拉菜单中选择“Poly层”。j）按上述相同步骤成立新的最细图形空隙（Spacing）设计规则条例（PolySpacing）。k）按“OK钮”，达成最小线宽和最细图形空隙两种最基本的设计规则参数设置。4.3.9.3成立图形拼接错误检查规则环境在达成最小线宽和最细图形空隙两种最基本的设计规则参数设置后，翻开File/SaveAs，从头生成微光刻图形编写专用设计环境文件Ledit.tdb和它的备份文件LeditDRC.tdb。（也能够改正成自己习惯的各样常用参数的设计环境文件，比如包含改正图形层的颜色配制、设计格栅配制、显示及鼠标配制和GDS格式规定的数字图形层名等）。4.用微光刻图形编写专用设计环境文件检查疆域图形拼接错误a）采纳上述成立的设计环境文件启动LEDIT。b）翻开Tools/DRC进入设计规则检核对话框“DesignRuleCheck。”c）按“Setup钮”，进入设计规则检核对话框“SetupDesignRules。“d）依据设计需要在定义最小同企图形边长尺寸填补框“Ruledistance中改正”同意尺寸，比如“1.000”微米。按“OK“钮确认，改正后的最小线宽和最细图形空隙同意尺寸。回到设计规则检核对话框“DesignRuleCheck。”e）依据图形大小和复杂状况，改正扫描场格子尺寸“Bin50.000Locator，”按“OK确立”钮开始进行图形拼接错误检查。f）假如图形中有圆形或随意多边形，将会出现提示信息：“L-EditWarningFoundinCell0.Circles.AllAnglePolygons.Theseobjectswillbeignored.DoyouwanttoProceed?按“YestoAll钮通”过。g）演算后将出现检查到拼接错误结果的信息：“L-Edit8DRCerrorsfound。”通告有多少处出现拼接错误。按“OK确立”钮，出现图形拼接错误检查结果图示。h）用鼠标点击标示的图形拼接错误处，可检查错误信息。并进行人工改正。i）把所有图形拼接错误改正完成后，翻开Tools/ClearErrorLayer进入“DeleteObjectsonErrorLayer按“OK确立””钮，删除错误信息标像层。4.图形文件输入、输出操作4.3.顶层单元图形生成操作图形办理达成后，需要确认一个“顶层单元”而且把它内部所有嵌套关系的例化单元图形逐级代入睁开，生成没有任何嵌套关系的完好图形（简称“粉碎”或“压平”），同时有对“顶层单元”进行表记。步骤以下：a）翻开Cell/Copy，选择已设计达成准备供给制版的合成单元，复制一个新图形单元作为“顶层单元”，建议“顶层单元”的单元名与未来供给制版用的制版文件名称一致，为制版数据变换时输入构造名方便，要求用大写字符。b）翻开Cell/Open，选择“顶层单元”，使“顶层单元”，。c）点击Cell/Flatten，达成例化单元嵌套关系压平。生成加后缀（Flat）的新单元名。d）翻开Cell/Fabricate，选择已粉碎的顶层单元，把它表记为供制版用的顶层单元。4.3.10.2储存TDB格式的备份文件和准备改正的文件a）点击File/Save,储存TDB格式备份文件。LEDIT用技巧LEDIT用技巧LEDIT用技巧PAGE\*MERGEFORMAT#/29PAGE\*MERGEFORMAT#/294.PAGE\*MERGEFORMAT#/29b）翻开File/SaveAs，此外储存一个供给与制版文件名称一致的TDB格式文件。（在LEDIT5.0系列从前版本,进入File/SaveAs...后，能够选择TDB、GDSII或CIF三种数据输出格式。LEDIT6.0系列此后版本,只好储存TDB格式文件。GDSII或CIF两种数据格式一定经过File/ExportMaskData和File/ImportMaskData进行输出、输入。）4.3.10.3输出CIF格式制版掩模数据文件a）翻开File/ExportMaskData进入“ExportMaskData输出”掩模数据对话框。b）在“Exportfiletype下拉菜"单中选择“CIF格”式。d）确认“Tofile:”填补框中的文件名是所需要的制版文件名称，能够更名。e）按“Export钮”，输出CIF格式掩模数据文件。输出的CIF格式掩模数据文件是文本文件，能够利用书写版等文本文件读出器翻开查察。往常光学图形发生器3600格式掩模数据文件是采纳CIF格式掩模数据文件变换生成的。3.10.4输入CIF格式制版掩模数据文件假如要反读CIF格式掩模数据文件进行检查，或许读入采纳其余手段生成的CIF格式掩模数据文件，需要改正或变换成GDS格式掩模数据文件，要按以下步骤读入：a）翻开File/ImportMaskData进入“ImportMaskData对话”框。（不可以用File/Open，File/Open只好读取TDB格式掩模数据文件，不可以CIF和GDS格式掩模数据文件。）b）在“Importfiletype下拉”菜单中选择“CIF”格式。c）在“UseSetupfile中选择”“Layout1的”设计环境。（假如按默认的〈empty〉，读入的图形背景将是黑色的。）d）翻开阅读器“Browse”找寻需要读入的CIF格式掩模数据文件。e）按“Import钮”，读入的CIF格式掩模数据文件。f）假如出现图形层名错误信息，则需要依据错误信息改正层名，翻开Setup/Layers进入“SetupLayers界”面，改正“CIFname中”的层名，使它和与准备读入的CIF格式掩模数据文件相同。再从头读入。也能够第一用书写版等文本文件读出器翻开CIF格式掩模数据文件，改正层名，让它与目前LEDIT设计环境般配。g）假如读入的是采纳其余手段生成的CIF格式掩模数据文件，可能图形倍率不对，注意应当改正输出倍率关系。h）建议读入CIF格式掩模数据文件前，确认设计格栅单位，建议格栅单位采纳1/1000微米，不然读入的图形简单变形或被四舍五入，影响图形精度。i）填补色改正方法读入的CIF格式掩模数据图形可能出现层颜色不适合的现象，能够经过层参数设置的方法改变填补色。翻开Setup/Layer，进入“Rendering层”填补色表现参数设置界面。LEDIT用技巧LEDIT用技巧PAGE\*MERGEFORMAT#/29PAGE\*MERGEFORMAT#/29在填补色“Fill模块”中“Patter下”拉图案条中选择网点图案，同时在“Color”下拉彩色条中选择彩色。在边框“Outline模”块中“Patter下”拉图案条中选择网点图案，同时在“Color”下拉彩色条中选择彩色，在“Style中”选择边框粗细的像素。4.3.10.5输出GDS格式制版掩模数据文件因为GDS格式图形层名一定是数字形式,如1；2；3；...46；47等，而往常图形层名是依据集成电路工艺层和CIF格式方式命名。因此输出GDS格式制版掩模数据文件前需要进行图形层名从头设置。a）翻开Setup/Layer，进入“General层”参数设置界面。b）在“Layers:”层名清单中，按工艺前后次序选择层名，比如选择“Poly层”，按“Rename钮”，出现“RenameLayerNewname”填补框中把“Poly改”成数字“1，”在“Import/Export中“”GDSII填”充框中把“46也”改成数字“1。”再选择“Active层”，按“Rename”钮，出现“RenameLayerNewname填补框中把“Active改”成数字“2，”在“Import/Export中”“GDSII”填补框中把“43也”改成数字“2。”挨次把所有已经编写的掩模图形层从头依据工艺次序命名成1；2；3；4；5层。c）保存“顶层单元”，删除其余过渡单元。因为周边效应校订软件要求只有顶层单元图形数据办理比较方便，（假如还有其余过渡单元图形，简单产生图形叠加现象）。因此供给周边效应校订软件办理的数据要删除所有其余过渡单元。翻开Cell/Delete进入“SelectCelltoDelete逐一删”除过渡单元。最后留下顶层单元图形。（也能够在输出GDSII掩模数据文件对话框中选中“Selectedcellanditshierarchy，并在“”Cell:”中选择顶层单元。）d）在图形层选择工具条中选择需要输出的层名，用鼠标左键点模式栏（ModeBar）的掩模图形层选择工具条（LayerArea）中选择所要输出的层地点，点鼠标右键翻开图形层操作菜单，用鼠标左键选择“HideAll”，此时除指定层外，其余层图形所有都被关闭。e）翻开File/ExportMaskData进入“ExportMaskData输出”掩模数据对话框。j）在“Exportfiletype下拉菜”单中选择“GDSII格”式。k）选中Exportcell模块中的“Selectedcellanditshierarchy，并在“Cell:””中选择顶层单元。i）确认“Tofile:”填补框中的文件名是所需要的制版文件名称，能够更名。j）按“Export钮”，输出单掩模图形层的顶层单元GDS格式掩模数据文件。输出的GDS格式掩模数据文件。往常电子束曝光系统所用的JEOL51格式数据文件是采纳GDS格式掩模数据文件变换生成的。k）输出的GDS格式掩模数据文件前一定记录以下重要参数，数据格式变换时需要输入这些参数。LEDIT用技巧LEDIT用技巧PAGE\*MERGEFORMAT#/29PAGE\*MERGEFORMAT#/29文件库名(FileName;LibraryName)顶层单元名(TopStructure;CellName)图形左上角坐标(UpperLeftX,Y图)形右下角坐标(LowerRishtX,Y图)形层号(LayersNo)4.3.10.6输入GDSII格式制版掩模数据文件需要检查、改正或变换成CIF格式掩模数据文件，要按以下步骤读入：b)翻开File/ImportMaskData进入“ImportMaskData对话”框。(不可以用File/Open，File/Open只好读取TDB格式掩模数据文件，不可以CIF和GDS格式掩模数据文件。)b)在"Importfiletype下拉”菜单中选择"GDSII”格式。c)在"UseSetupfile中选择”"Layoutl的”设计环境。(假如按默认的〈empty〉，读入的图形背景将是黑色的。)d)翻开阅读器"Browse”找寻需要读入的GDS格式掩模数据文件。e)按"Import钮”，读入的GDS格式掩模数据文件