硅压力传感器芯片
应用
, 汽车轮胎压力监测
, 发动机控制
, 大气压力测量
, 空压
表
关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf
, 手执压力计
, 血压计
特色
, 固态、MEMS技术、高可靠性
, 低成本、小尺寸
, 标准压力范围:0,100KPa;0,200KPa;0,350KPa;0,700KPa;0,1.5KPa , 非线性 < 0.20%FSO
, 硅,硅键合芯片,稳定性好
描述
2小型压阻压力传感器芯片,其尺寸为1x1mm。当用3VDC供电时,传感器产生毫伏输出电压,正比于输入压力。压力传感器芯片为绝压,亦可提供差压模式。
框图
芯片尺寸:1x1x0.6? 打线区尺寸:0.3×0.105mm
硅压力传感器芯片技术指标
除非特别指出~所有参数在5V供电及室温下测得。
最小值 典型值 最大值 单位 备注 激励电压 5.0 V 激励电流 1 mA
100KPa 60 80 100 mV
200KPa 70 100 150 mV
350KPa 70 100 150 mV 输出范围 700KPa 70 100 150 mV (FS范围) 1000KPa 70 100 150 mV
1.7MPa 80 120 180 mV
3.5MPa 100 150 200 mV 零位输出 -35 35 mV 注 满度温度系数 -24 -19 -15.5 %FS/100? 恒压供电 零位温度系数 -7 +7 %FS/100? 电阻温度系数 +24 +27.5 +33 %FS/100? 线性 -0.45 -0.15 +0.45 %FS 桥阻抗 5 KΩ 过载压力 2X 额定FS 破坏压力 4X 额定FS 工作温度 -40 +125 ? 存储温度 -55 +150 ?
注:对于100KPa,零位输出?50mV。
Pressure Ranges
KPa PSA Model
100 010
200 020
350 035
PSA 070 700 070
1000 100
1700 170 Pressure type Pressure range 3500 350
A: 绝对压力