什么是MO源?
更新时间:2012-7-13 17:38:32
“MO源”即高纯金属有机化合物,或叫化合物半导体微结构材料,是先进的金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延(简称MOMBE)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料,其优异的电学、光学和磁学等性能,可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。半导体微结构材料技术的发展状况是衡量一个国家电子信息技术发展水平的重要标志。在我国MO源已被大量用于LED、太阳能电池、航空航天技术等多个领域,是一项高新材料生产技术。目前,全世界能掌握MO源生产技术的生产企业只有四家,其中三家在美国,一家在中国。
南京大学是目前我国MO源研究和研制的主要基地,先后承担了“七五”、“八五”、“九五”、“十五”期间国家“863”高技术发展计划项目、“七五”、“八五”国家重点科技项目等多项MO源的研究任务。先后建成了多个MO源专用实验室,包括用于超纯纯化、超净样品处理、超净清洗、产品灌装及超纯分析等的超净室;自行设计和监制了MO源合成和纯化专用设备——无氧无水惰性气氛操作箱;设计并监制了性能优越的高纯MO源封装容器。
南京大学的MO源从产品的合成
工艺
钢结构制作工艺流程车尿素生产工艺流程自动玻璃钢生产工艺2工艺纪律检查制度q345焊接工艺规程
、纯化技术、测试方法到封装容器,在国内处于领先地位,已达到国际先进水平,现已研制开发出了20多种国内迫切需要的MO源品种,纯度达到了99.999%—99.9999%,是“国家863计划新材料MO源研究开发中心”。
附:主要MO源品种
名称分子式缩写 纯度(%)
三甲基镓 (CH3)3Ga TMGa 99.9999
三乙基镓 (C2H5)3Ga TEGa 99.9998
三甲基铟 (CH3)3In TMIn 99.9999
三乙基铟 (C2H5)3In TEIn 99.9998
二甲基乙基铟 (CH3)2InC2H5 EDMIn 99.9998
溶液三甲基铟 (CH3)3In TMIn 99.9999
三甲基铝 (CH3)3Al TMAl 99.9999
三乙基铝 (C2H5)3Al TEAl 99.9995
二甲基乙基胺配铝烷 AlH3·(NMe2Et) DMEAAl 99.9999
二茂镁 (C5H5)2Mg Cp2Mg 99.9998
二甲基二茂镁 (CH3C5H4)2Mg (MCp)2Mg 99.9998
溶液二甲基二茂镁 (CH3C5H4)2Mg (MCp)2Mg 99.9998
二甲基锌 (CH3)2Zn DMZn 99.9998
二乙基锌 (C2H5)2Zn DEZn 99.9998
二甲基镉 (CH3)2Cd DMCd 99.9998
三甲基锑 (CH3)3Sb TMSb 99.9995
二乙基碲 (C2H5)2Te DETe 99.9998
二异丙基碲 [(CH3)2CH]2Te DIPTe 99.9998
一甲基肼 CH3NHNH2 MMHy 99.9998
一乙基肼 C2H5NHNH2 MEHy 99.9998
1,1-二甲基肼 (CH3)2NNH2 DMHy 99.9998
叔丁基膦 (CH3)3CPH2 TBP 99.9998
叔丁基胂 (CH3)3CAsH2 TBAs 99.9998