1.电子探针仪 任何能谱或波谱仪并不能独立的工作，能谱仪或波谱仪通常作为现代扫描电镜和透射电镜的常规附件，借助电子显微镜电子枪的电子束工作。 但也有专门利用能谱仪或波谱仪进行成分分析的仪器，它使用微小的电子束轰击样品，称这种仪器为电子探针X射线显微分析仪（EPMA）。 类似地有离子探针，用离子束轰击样品表面，使之产生X射线，得到元素组成的信息。第一章X射线光谱分析 2．能谱仪能量色散谱仪主要由Si(Li)半导体探测器、多道脉冲高度分析器以及脉冲放大整形器和MATCH_
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_1715739533818_0显示系统组成。3．波谱仪波谱图的横坐标代表波长，纵坐标代表强度，谱线上有许多强度峰，每个峰在坐标上的位置代表相应元素特征X射线的波长，峰的高度代表这种元素的含量。4．WDS和EDS成分分析模式及应用1）以点、线、微区、面的方式测定样品的成分和平均含量。2)测定样品在某一线长度上的元素分布分析模式。3)测定元素在样品指定区域内的面分布分析模式。化妆粉底粉末的元素分布图5．波谱仪与能谱仪的比较1）分析元素范围波谱仪分析元素的范围为4B~92U。能谱仪分析元素的范围为11Na~92U，对于某些特殊的能谱仪（例如无窗系统或超薄窗系统）可以分析6C以上的元素，但对各种条件有严格限制。2）分辨率3）谱的失真波谱仪不大存在谱的失真问题，能谱仪失真的因素主要有：一是X射线探测过程中的失真，如硅的X射线逃逸峰、谱峰加宽、谱峰畸变、铍窗吸收效应等；其二是信号处理过程中的失真，如脉冲堆积等；最后是由探测器样品室的周围环境引起的失真，如杂散辐射，电子束散射等。谱的失真使能谱仪的定量可重复性很差。6．X射线光谱分析及应用 6．1定性分析 6．2定量分析6．1定性分析 要确认一个元素的存在，至少应该找到两条谱线，以避免干扰线的影响而误认。 要区分哪些峰是来自样品的，哪些峰是由X射线管特征辐射的散射而产生的。 如果样品中所含的元素的原子序数很接近，则其荧光波长相差甚微，就要注意波谱是否有足够的分辨率把间隔很近的两条谱线分离。6．2定量分析(1)计算法样品内元素发出的荧光X射线的强度应该与该元素在样品内的原子分数成正比(2)外标法外标法是以样品中待测元素的某谱线强度，与标样中已知含量的这一元素的同一谱线强度相比较，来校正或测定样品中待测元素的含量。作出相对强度与元素A百分含量之间的关系曲线，即定标曲线(3)内标法内标法是在未知样品中混入一定数量的已知元素j，作为参考标准，然后测出待测元素i和内标元素j相应的X射线强度Ii、Ij；设它们混合样品中的重量分数用Wi、Wj表示．则有Wi\Wj=Ii\Ij。
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