FFU在洁净室中的应用洁净室是一个将一定空间范围内的空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。由此，我们可知构成洁净室须俱备以下各项因素：1.能除去空气中飘游之微尘粒子。2.能防止微尘粒子之产生。3.温度和湿度之控制。4.压力之调节。 5.有害气体之排除。6.结构物与隔间之气密性。 7.静电之防制。 8.电磁干扰之预防。9.安全因素之考虑。10.节能之考量。FFU当前其改进主要是（1）取均流及减少噪音的措施，噪音可在50db以内；（2）动机采用DC/EC（电子整流电机），以耗较原交流电机节约近50%，因为小风机所用小容量（功率<1P）的交流电机，一般皆为电容分相式或隐极式，其效率仅40%左右，而DC/EC电机的效率可达75%～80%；在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以节约能耗，但目前投资回收期尚长而未广泛采用，一般常用分组群控或全部群控。（3）但FFU出口静压不能过大，一般采用出口风速0.38m/s，此时其静压一般在250Pa以内。http://www.whfet.cnFFU回风系统与其他方式相比的优点 （1）灵活性大，便于改造；（2）占用建筑物空间较少；（3）洁净净室内空气压力大于回风静压室，排除静压室对洁净室污染的可能性。具体情况下的评价(1)FFU用于老建筑物改造成洁净室时，其综合经济性一般往往可取。 (2）洁净度要求严的洁净室，末级过滤器满布率100%时，对大的系统采用FFU，当前还是不经济的；对小系统有意义作具体比较。(3)对洁净度要求不甚严的洁净室，末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多，但对IC工厂而言，FFU系统的灵活性是重要的，因此当前IC工厂对过滤器满布率≤40%时，采用FFU系统已经普遍。武汉菲尔特净化设备有限公司
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