4吋晶圆生产线部分设备清单 4吋晶圆生产线部分设备清单 序号 审批号 工序 设备名称 型号 1 四探针测试仪 SZ-82 2 07-2016 特气柜 3 CVD AEC-2200 4 CVD淋水槽 WCSB-7 5 CVD设备 AEC-2200 6 特气柜 7 净化层流罩 8 07-2049 净化层流罩 9 腐蚀清洗柜 10 CVD除尘装置 11 05-2009 擦片机 SVG88 12 07-2039 擦片机 SVG88 13 擦片机 SVG8800 14 甩干机 AMT-06 15 06-2038 甩干机 SG-09A 16 07-2053 双槽清洗机 17 07-2058 甩干机 SG-07A 18 07-2058 甩干机 SG-07A 19 硅片转换器 RAPITRAN-Ⅱ 20 硅片转换器 RAPITRAN-Ⅱ 21 06-2008 OAP烘箱 HOCHECK 22 07-2100 传递窗 23 07-2101 风淋室 24 匀胶机 SVG-88 25 光刻机 PLA0501F 26 光刻机 PLA0501F 27 光刻机 PLA501 28 光刻机 PLA501F 29 光刻机 PLA501F 30 光刻机 PLA-501F 31 光刻机 PLA-501F 32 07-2013 光刻机 PLA-501F 33 光刻机 PLA-501-FA 34 光刻机 PLA-50IF 35 光刻机 PLA-50IF 36 光刻机 PLA-50IF 37 06-2053 甩干机 SG-07B 38 涂胶机 6000XL 39 07-2040 匀胶机 SVG88 40 真空烘箱 HOCHECK 41 SiO2腐蚀机 GFQ-1 42 SiO2腐蚀机 43 铝腐蚀机 44 甩干机 KPDW1255-4SRD 45 06-2053 甩干机 SG-07B 46 自动去胶机 47 扩散炉 4104 48 06-2074 扩散炉 4304 49 扩散炉 4304 50 扩散炉 4304 51 扩散炉 E2000 52 炮筒升降机构 53 硅片转换器 RAPITRANⅡ 54 硅片转换器 RAPITRANⅡ 55 扩散炉 4104 56 扩散炉 4104 57 扩散炉 4104 58 扩散炉 4304 59 扩散炉 4304 60 05-5007 扩散炉 4304 61 06-2020 甩干机 AMT-06 62 06-2025 涂源机 DNUNA700 63 匀胶机 SVG88 64 匀胶显影机 6000XL 65 06-2020 甩干机 AMT-06 66 08-2019 双槽清洗机 TAW-3B 67 双槽清洗机 TAW-3B 68 扩散炉 69 扩散炉 70 扩散炉 E2000 71 扩散炉 E2000 72 扩散炉 E2000 73 硅片转换器 RAPITRANⅡ 74 甩干机 AMT-06 75 06-2053 甩干机 SG-07B 76 07-2002 甩干机 SG-09A 77 08-2019 双槽清洗机 TAW-3 78 06-2052 双槽清洗机 79 07-2019 激光打标机 80 层流净化柜 81 扩散炉 82 喷砂处理机 LH-BT-S 83 划片机改造 TSK-10A 84 划片机改造 TSK-10A 85 抛光机 32SPAW 86 十二槽清洗机 87 扩散炉 88 全自动硅片甩干机 KPD120A-4SRD 89 扩散炉 90 HMDS烘箱 HOCHECK
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