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ITO蚀刻基本知识

b-iPdITO蚀刻基本知识ITO蚀刻介绍（主讲生产线操作）a-jpgITO刻蚀内容:ITO化学名称ITO刻蚀机理□影响ITO刻蚀因素ITO刻蚀不良原因分析 ITO名称:ITO中文名:氧化钮锡化学名称：帀2。》SnO2CjPQITO刻蚀机理1ITO刻蚀液配比：HCI:HNOj;H2O=9:1:6（体积比）ITO刻蚀液浓度：6・5±0・5Mol/LITO刻蚀浓度是以液体内的H+浓度进行衡量.d.jpgITO刻蚀机理2伽級.2瀝E-a»k/注tIfVam1笊门空4詞W;.,砂？♦♦,b♦|3k2£：:稠4J柵gj：I：；£.・A••越I哪一橄Etching圖案是我們想要丽叩匕I;:斗耳;汀刚

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