短路检测机操作规程

1 1.0目的: 使短路檢測機規範化。 2.0範圍: 2F Pattern check短路檢測機。 3.0定義: (略)。 4.0職責: 4.1 生產部: 負責短路檢測機的操作及日常維護。 4.2 生技部: 制度 关于办公室下班关闭电源制度矿山事故隐患举报和奖励制度制度下载人事管理制度doc盘点制度下载 的制定及異常處理。 4.3 設備部: 負責機器的維修。 4.4 品保部: 監督稽查制度的執行和抽檢所測試產品。 5.0操作程式 5.1.1開機: 打開機器背面的總電源開關, 按下顯示屏“ON”鍵, 待機器進入“原點復位”畫面, 開機完成。 5.1.2 Pattern check檢測流程圖: 5.2程式設置: 5.2.1順次點擊: “原點復位”→“手動操作”→“基板資料”→“基板資料設定”。 設定項 數值設定 說明 檢查速度[mm/sec] ↓ ×× 檢查速度選擇。 基板長度X[mm] ↓ ××× 基板在X軸 (水準方向) 的長度。 基板長度Y[mm] ↓ ××× 基板在Y軸 (垂直方向) 的長度。 下降位置[PLS] ↓ ×××××× “測針位置下降位置登錄”成功後自動生成。 角度補正位置[PLS] ↓ ×××××× “角度補正位置登錄”成功後自動生成, 不進行角度補正時不設定。 PATTERN幅[mm] ↓ ×.×× 待測線條線寬。 (單位: 毫米) 見(圖一) PATTERN PITCH [mm] ↓ ×.×× 線寬+間距。 (單位: 毫米) 見(圖一) 1CELL行個數[mm] ↓ × 單模圖形中分成幾個部分。 (單位: 毫米, 一般設為0) 行PITCH [mm] ↓ ×.× 單模圖形Y方向相鄰兩個完全相同部分相同點之間的距離, 只有一段可設為0。(一般設為0) 測定開始位置[%] ×× 測針在線條的xx %位置時開始檢查。 ↓ 次面 下一頁。 ↓ 1 CELL PATTERN數 ××× 單模圖形包含多少條線。 CELL個數X × 設定X方向待測圖型數量。 CELL個數Y × 設定Y方向待測圖型數量。 CELL PITCH X ×.×× 見(圖一) CELL PITCH Y 替代線路OFFSET [mm] ×.×× ×.× 觸發線與第一條被測線之間的距離。 (該參數在被測ITO的直線長度大於3mm且小於10mm時使用。說明: 帶觸發針針組的三根針的最小距離為10mm) 見(圖一)。 修正資料OFFSET X[mm] ×.× 參數勿動。 修正資料OFFSET Y[mm] ×.× 參數勿動。 修正資料座標原點 設為: “左下”。 修正資料xy座標變換 設為: “無”。 ↓ 次面 ↓ 檢測範圍 [MΩ] ×.× 設定檢測範圍(具體見短路檢測機檔位選擇對照 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf ) 基板資料保存→輸入名稱 (八個字母以內, 可輸入產品的型號.) →確認→“終了”。 5.2.2探針調整: 5.2.2.1桌台角度調整 “手動模式”→“探針調整”→“基板吸著”→“ 桌台角度調整”。 注: 讓基板與三位擋Pin(限位柱)完全接觸, 用手輕輕按住基板, 再進行吸著。 按鍵說明: 箭頭 (△▽) 鍵: 讓桌面按箭頭方向進行移動。 動作方式: ․低速: 按箭頭方向桌面緩慢移動。 ․高速: 按箭頭方向桌面快速移動。 ․定位置: 桌面在原點、角度補正位置、探針下降位置循環移動。 ․指定脈沖: 桌面只進行指定脈沖部分移動(每1mm的脈沖量為1000個)。 指定脈沖: 輸入指定脈沖量。 現在位置[PLS]: 桌台現在位置用PULSE單位表示(由機器自動生成)。 操作順序: 按“原點復歸”使桌面回到初始狀態。 將CCD拨到玻璃中間, 然後按“△”鍵使玻璃前面第一模的ITO圖案區進入CCD視區內, 再將CCD基準線對準玻璃第一模上的直角ITO圖案(或平行于桌面行走方向的界機線)。 按“△”鍵讓玻璃前進, 使玻璃後邊最後一模 (靠近操作者那邊) 的ITO圖案進入CCD鏡頭視區內, 然後將CCD基準線對準對應于玻璃前面第一模的直角ITO圖案(或平行于桌面行走方向的界機線)。 旋動角度補正旋鈕, 將CCD基準線和玻璃上直角ITO圖案 (或平行于桌面行走方向的界機線) 之間的偏差的1/2定為一個補正量, 調動一個補正量, 再把CCD鏡頭基準線移到和玻璃上直角ITO圖案 (或平行于桌面行走方向的界機線)重合的地方, 來回移動檢查。 若有偏差則重復第~點重新調整, 若無偏差, 則角度補正結束, 按“終了”按鍵返回上級菜單。 5.2.2.2 探針下降位置登錄: 按鍵說明: 探針上下: 進行探針的上升下降動作。 登錄: 把現在桌台位置确認為工作數據的[探針下降位置] (每登陸一次, 將會自動生成一個新的探針下降位置, 該位置就是下次執行自動測試時的探針下降位置.)。 5.2.2.3角度補正位置: 桌台補正完成後的PLS位置。 5.2.2.4探針左右、高度調整 (探針左右、高度調整): 上下: 進行探針上下動作。 操作順序: 選擇探針與基板相對應的個數, 第一模待測圖形針必須是配置有觸發器的那3個針組, 後面針組順次一一對應。 5.2.2.5探針高度調整: 操作順序: 將探針升起, 將待測玻璃移到待測試區, 下降探針, 通過對“調節高度位置”的螺絲和感應器“ON/OFF”狀態來進行高度調整, 在探針剛與玻璃接觸的臨界狀態, 感應器呈“ON”狀態 (即變成紅色) 再旋緊半圈。 順次將所需要使用的感應器全部調整, 直到全部均呈“ON”狀態 (變成紅色), 調節完成, 再重復“測針上下”動作三次, 檢查是否調節好, 若感應器全部呈“ON”狀態 (變成紅色) 則調試完成。 若感應器均呈“OFF”狀態 (未變成紅色) , 需重複以上步驟。 注: 調整高度螺絲時, 先將針座上限位螺絲松開, 再進行上升下降調整, 調整時內六角扳手必須與螺絲垂直, 動作要輕, 旋動時以半圈為單位進行調整。 5.2.2.6探針前後調整: 操作順序: 高度調整完成後, 將探針下降, 把CCD鏡頭移到第一個針的位置, 通過調整前後位置的螺絲來調節前後, 前後位置如 (圖二) 所示, 除3個針的第1個針和第3個針在後面一概條線裏以外, 其餘針組的第1個針均在後面位置且固定不變。 設置完成後, 探針昇起後重新下降, 把動作方式設為“低速”并按住“▽”, 左右移動CCD來檢查各部分探針位置, 與圖案重合即完成, 若未與圖形重合則需重復調試直至各部分均調試好, 與 (圖二) 重合為止。 探針針尖前後距離大於線寬。然後再按“終了”回到上級菜單。 5.3操作檢查: 5.3.1操作順序: 原點復歸→基板吸著 (必須靠到三個擋位PIN上) →檢查開始→顯示結果OK, 測試完成。若顯示NG！→按“檢查結果表示”察看結果。 顯示說明: “X”、“Y”分別表示“X”、“Y”圖案中缺點所在線的位置。 “坐標 (X, Y) ”圖案位置。 “線”表示待測缺點所在單個CELL內位置, 並用MASK寫上該短路點的坐標。 5.3.2操作完畢。 5.4產品測試適應範圍: 5.4.1 此機器測試單模圖形的線條長度必須>3mm, 在自動測試時, 被測單模圖形的線條長度必須>10mm。 5.4.2 檢測範圍: 5.4.2.1 COG型號全檢。 5.4.2.2線距≦30µm點陣型號全檢。 5.4.2.3 由帶班或工程師指定的產品(檢測方法及方式由帶班或工程師指定)。 5.4.3 此機對等電位(即有防靜電線連接的圖案)設計的型號無效。 5.4.4 填充塊寬度應小於待測圖案處的 “線寬”+ “線距”。 5.5探針的清潔: 檢測時可以通過CCD鏡頭觀察探針是否有髒物, 每3小時檢查一次, 如有髒物需用淨化棉簽從針體到針尖的方向來清潔。 只可按照此順序來清潔, 清潔時淨化棉簽不可接觸到除需清潔的探針以外的其他探針。 5.6注意事項: 5.6.1在探針下降時不可左右移動或向前移動平臺, 避免損壞探針; 放置檢測機的工作台上不可放置重物(如: 藍具等), 以免破壞機台水平。 5.6.2作業前必須先做檢查, 需在蒸汽下確認無因探針引起的ITO刮花才可以作業; 在後續作業中, 每檢測50PCS, 需在蒸汽下確認有無因探針引起的ITO刮花, 如有需立即通知生產帶班及工程師處理。 5.6.3在測針昇降時壓入量不能超過操作5.2.2.5中所規定範圍壓力, 過大會刮傷ITO。 5.6.4不可用任何物體接觸探針頭部(在清潔時使用淨化棉簽的情況除外)。 5.6.5模數超過探針針組數量時, 可作多次來測試, 每次測第一模圖形所對應針組均為有觸發器的針組.(即有三支針的那一組)。 5.6.6在每個型號調試完畢後應用模版測試機台的可靠性。 5.6.7 調機前需調整探針的高度是否與待測玻璃的高度相對應, 若有差異應予及時調整, 以防損傷探針。 5.6.8 不得將已測品和待測品同放在一個籃具內。 5.6.9 Pattern check測針在下列情況下必須更換: 5.6.9.1 在檢測機上的CCD下與蝕刻後線條比較, 測針針尖寬度大于被測線寬1/3時必須換針。 5.6.9.2 當測針斷針時必須更換新針。 5.6.9.3 當測針出現刮花ITO後, 經用模版研磨後仍然嚴重刮花ITO時必須更換新針。 5.6.9.4 當測針使用兩周後(每天按檢測300對產品計算), 必須更換新針． 5.6.9.5 在檢測機上的CCD下與蝕刻後線條比較, 測針針尖寬度大于30μm時, 必須更換新針。 5.6.10 檢測機測試速度按下面設定: 5.6.10.1 在檢測≦15Ω產品時, 檢測機測試速度設定: 20mm/S。 5.6.10.2 在檢測20~30Ω產品時, 檢測機測試速度設定: 25mm/S。 5.6.10.3 在檢測＞30Ω產品時, 檢測機測試速度設定: 30mm/S。 5.6.10.4 檢測機需每檢測50PCS後進行角度補正1次。 5.6.11 Pattern check在测试产品前必须先进行模板测试, 以檢驗機台可靠性。 5.6.12 每检测同型号产品50片后必须再测试一次模板。 5.6.13 短路檢測機檔位選擇對照表: 玻璃阻值 檢測機檔位 60≦R 5MΩ 30≦R＜60 1MΩ R＜30 0.5MΩ 5.6.14 普通產品測試要求(共需測試一次): 5.6.15左右出走線產品測試要求(共需測試三次): 第一次測試 第二次測試 第三次测试: 將玻璃方向旋轉180°後, 按第二次測試方法再測試一次。 5.6.16 線條垂直產品測試要求(共需測試三次): 第一次測試 第二次測試 第三次測試 5.6.17 針壓測試周期為每月進行一次, 每次測試完畢後記錄在《Pattern check針壓記錄表》WI/PE/211-02中, 對NG的針壓要及時進行維修, 針壓測試要求及步驟如下: 圖示 步驟及要求 1.調水平(調節電子稱的四個腳, 使水平儀的小汽泡居中) 。 2.測試前必須將螺杆調到最高位置, 即“換組”位置(目的是避免安裝被測針組時碰傷測針) 。 圖示 步驟及要求 3.安裝針組 3.1壓條示意圖 壓條 3.2 壓條與針組安裝位置。 圖示 步驟及要求 3.3 壓條與針組的組裝方式。 3.4將被測針安裝在測試架上, 並鎖緊螺絲固定。 圖示 步驟及要求 4.將電子稱清零(每按一次“TARE”鍵就清零一次) 。 5.1將壓條壓在針組未測試的測針尾部。 圖示 步驟及要求 5.2將壓條壓在針組未測試的測針尾部(只讓待測試的那組針接觸到電子稱) 。 6.1將被測針組插頭插在檢測機模塊上。 (全局圖) 圖示 步驟及要求 6.2將被測針組插頭插在檢測機模塊上。 (放大圖) 7.1向下旋動螺杆到達“測試”位置。 圖示 步驟及要求 7.2當螺杆到達“測試”位置時, 再向下緩慢地旋動螺杆使測針緩慢地接觸到電子稱, 開始測試。 8.針壓測試: 1) 緩慢調動測針, 使觸摸屏上相對應的測針指示燈閃爍, 此時電子稱上顯示的數值就是該針組的針壓。 2) 當針壓指示燈持續閃爍1~3分鐘, 電子稱的顯示數值穩定後記錄該針組編號及針壓。 圖示 步驟及要求 9.將測針上升到“換針”位置。 10.將壓條從已測針下方轉至另一測針尾部, 并壓住。 圖示 步驟及要求 11.旋動螺杆下降針組, 開始另一根針的針壓測試, 測試方法重復步驟7~8。 12.測試完畢, 旋動螺杆至“換組”位置, 取下已測針組, 進入下個針組的測試。 5.6.18 檢測擋Pin 新檢測擋Pin在更換後, 由Pattern check檢測組長級別或以上人員,用黑色油筆將擋Pin平均分成6區(即每區為60°), 並將新安裝擋Pin與玻璃接觸的第一面用黑色油筆打點作標記(用以追蹤轉動次數)﹔ 檢測機擋Pin每檢測3天後, 需將更換將磨損面旋轉60°以避開磨損面與被測玻璃再接觸(每個擋Pin經過轉動6次後需更換成新擋Pin) , 記錄於《轉動擋Pin記錄表》。 5.6.19 主針組的替代 當主針組出現異常且又無主針組可使用時, 可用兩個正常普通針組代替, 方法是將其中一個普通針組按主針組接線方式接好, 另一個普通針組的插頭的半邊插進檢測機主針組模塊上的觸發針插口上, 然後按調節主針組的方法進行調節即可。 5.6.20 檢測機針組異常履曆表 當檢測機任一針組出現異常時, 均需按《測針異常履曆表》記錄。 5.6.21 可接受最少針組數量 只要針組有異常, 就必須處理(指更換彈簧或送維修), 在針組少於以下數量時, 生產工程師需立即通知生產部主管及生技高工、設備高工處理: 主針組: 檢測機臺數+1﹔ 普通針組: 檢測機臺數×8. 5.6.22 Patten check產能(是指从蓝具取玻璃→放在Patten check上检测→放回蓝具的產能) 项目 普通产品 COG产品 备注 调节带触发针针组时间 5min/每次 调节一般针组时间 2min/每次 每片玻璃测试时间 测试速度30mm/sec 20S(300边) 60Ω、80Ω 22S(350边) 测试速度25mm/sec 25S(300边) 20Ω、30Ω 28S(350边) 测试速度20mm/sec 30S(300边) 10Ω、15Ω 32S(350边) 测试速度15mm/sec 35S(300边) ＜10Ω 38S(350边) 调针总时间(6*6模) 合版 18min 36 min 分版 30min 60 min 合分版 36min 54 min 测试1对玻璃需时 测试速度30mm/sec 合版 84S 172S 分版 42S 86S 合分版 168S 252S 测试速度25mm/sec 合版 106S 218S 分版 53S 109S 合分版 212S 318S 测试速度20mm/sec 合版 124S 252S 分版 62S 126S 合分版 248S 372S 测试速度15mm/sec 合版 146S 298S 分版 73S 149S 合分版 292S 438S 每班产能(11H) 测试速度30mm/sec 合版 458对 217对 分版 900对 418对 合分版 222对 144对 测试速度25mm/sec 合版 363对 171对 分版 713对 330对 合分版 176对 114对 测试速度20mm/sec 合版 310对 148对 分版 609对 285对 合分版 150对 97对 测试速度15mm/sec 合版 263对 125对 分版 517对 241对 合分版 128对 83对 按稼动率为70%算, 每班产能 测试速度30mm/sec 合版 321对 152对 分版 630对 293对 合分版 156对 101对 测试速度25mm/sec 合版 254对 120对 分版 499对 231对 合分版 123对 80对 测试速度20mm/sec 合版 217对 104对 分版 426对 200对 合分版 105对 68对 测试速度15mm/sec 合版 184对 87对 分版 362对 169对 合分版 89对 58对 5.6.23正常作業時, 由檢測操作員和修補操作員按《短路檢測及修補記錄表》要求進行記錄。 5.6.24激光修補後再檢測品需獨立檢測, 並由檢測操作員如實記錄在《短路檢測及修補記錄表》中。