空气洁净度和级别
空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度。通常空气中含尘浓度低则空
气洁净度高,含尘浓度高则空气洁净度低。按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控
环境中空气洁净度等级,就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来进行洁净度检测并确定
其空气洁净度等级。
洁净度
标准
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的制定
以前有关国家都各自制定自己的标准,但基本上都是参照美国标准 FS-209 的各版进行,
仅单位制及命名方法有所变换或改变。
洁净度标准在命名上基本可分为两类:
一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命名,这种命名
方法以美国 FS-209A~E 版为代表,其规定粒径为 0.5μm,以空气中≥0.5μm 粒径的粒子浓
度采用英制pc/ft3直接命名,如标准中的100级,表示通过洁净度检测,测出空气中≥0.5μm
粒径的粒子浓度为 100pc/ft3 直接命名,即每立方英尺的空气中≥0.5μm 粒径的粒子数量
为 100 个,(我们平时使用的是国际单位,即通常所指的是每立方米的空气中所含≥0.5μm
粒径的粒子数量,因为 1 立方米≈35.2 立方英尺,所以我们看到标准中 100 级对应≥0.5μm
粒径的粒子数量不是 100 个,而是 3520 个,就是这个道理)。
二是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数以 10n 表示,按指数 n 命名空气洁
净度的等级,这种命名方法以日本 JISB9920 为代表,其规定粒径为 0.1μm,以空气中
≥0.1μm 粒径的粒子浓度(采用国标单位制)10n pc/m3 命名为 n 级,如该标准 2 级,其表示
≥0.1μm 粒径的粒子浓度为 100 pc/m3,即 102pc/m3。俄罗斯的标准亦基本上采用此种命
名方法。