行业标准《磁记录用铬钽钛合金溅射靶材行业标准》（讨论稿）

YS/T287—××××YS/T287—××××ICS××.××.××H××前言本 标准 excel标准偏差excel标准偏差函数exl标准差函数国标检验抽样标准表免费下载红头文件格式标准下载 按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员（SAC/TC243）提出并归口。本标准负责起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司。本标准主要起草人：姚力军、王学泽、赵泽良、袁海军、马国成、吴东青。磁 记录 混凝土 养护记录下载土方回填监理旁站记录免费下载集备记录下载集备记录下载集备记录下载 用铬钽钛合金溅射靶材1范围本标准规定了磁记录用铬钽钛合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或 合同 劳动合同范本免费下载装修合同范本免费下载租赁合同免费下载房屋买卖合同下载劳务合同范本下载 ）内容。本标准适用于垂直磁记录硬盘、磁盘用铬钽钛合金靶材。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法GB/T4325化学分析方法Cr、Ti、Fe、Al、Cu、W、Ni、Na、Si等量的测定火焰原子光谱吸收法原子荧光谱法电感耦合等离子体发射光谱法GB/T6569弯曲强度检测GB/T8651金属板材超声板波探伤方法GB/T13298金属显微组织检验方法GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则GB/T1031产品几何技术规范(GPS) 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值JY/T015感耦等离子体原子发射光谱方法通则3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1靶材target在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。3.2靶坯targetblank阴极上用作溅射材料的部分。4要求4.1产品分类4.1.1铬钽钛合金靶材形状通常为圆形，示意图如图1所示。图14.2化学成分4.2.1铬钽钛合金溅射靶材纯度应不小于99.95%；4.2.2铬钽钛合金靶材的合金成分及杂质元素要求应符合表1规定。表1合金成分及杂质元素含量表 牌号 CrTaTi 主元素含量（原子分数）/at% Cr 55±0.5 Ta 20±0.5 Ti 25±0.5 杂质元素含量（质量分数）/×10-6，不大于 Fe 375 Al 200 Cu 200 W 100 Ni 100 Na 50 Si 80 气体元素含量（质量分数）/×10-6，不大于 C 120 O 1700 N 100 S 60 注：铬钽钛合金靶材的质量分数为100%减去表中金属杂质实测总和的余量（不含C、N、O、S等气体杂质）。4.3微观均匀性铬钽钛合金靶材中铬颗粒、钽颗粒和钛颗粒的大小应符合表2规定，且分布均匀，无单一颗粒堆积。表2微观均匀性要求 铬钽钛合金靶材 颗粒要求 平均值/μm 最大值/μm 铬颗粒 ≤45 ≤120 钽颗粒 ≤45 ≤120 钛颗粒 ≤45 ≤1204.4致密度铬钽钛合金靶材的致密度应不小于96%，密度应不小于8.37g/cm3。4.5弯曲强度铬钽钛合金靶材的弯曲强度应不小于700Mpa。4.6内部质量铬钽钛合金靶材内部夹杂和气孔等缺陷面积应不大于总溅射面积的0.02%。需方如有特殊要求时，由供需双方商定。4.7外形尺寸及允许偏差铬钽钛合金靶材尺寸、规格及结构方式与需方使用的溅射机台类型有关，一般由需方提供图纸。需方有特殊要求时，由供需双方商定，并在订货单（或合同）中注明。4.8表面粗糙度铬钽钛合金靶材表面粗糙度应符合图纸要求，图纸无要求时Ra值应小于1.6μm。需方如有特殊要求时，由供需双方商定，并在订货单（或合同）中注明。4.9外观质量铬钽钛合金靶材表面应清洁光滑，无指痕、油污和锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。5试验方法5.1化学成分5.1.1合金元素Cr、Ta和Ti的分析方法使用电感耦合等离子体光谱法测定，按照JY/T015执行。或按照供需双方约定的方法测定。5.1.2金属杂质元素的测定按照GB/T4325的规定执行。5.1.3气体元素O、N、C和S的分析方法按照GB/T14265的规定执行。5.2微观均匀性检验铬钽钛合金靶材的微观均匀性检验按照GB/T13298的规定执行。5.3致密度检验铬钽钛合金靶材的致密度按GB/T3850的规定执行。5.4弯曲强度检测弯曲强度检测按GB/T6569的规定执行。5.5内部质量检验铬钽钛合金靶材的内部质量的检验按照GB/T8651的规定执行。5.6外形尺寸检测方法铬钽钛合金靶材的外形尺寸通过卡尺、平面度仪、塞规等，按照加工图纸标识尺寸进行测定。需方有特殊要求时，可采用三坐标测量仪（CMM）进行检测。5.7表面粗糙度检验铬钽钛合金靶材的表面粗糙度通过粗糙度测量仪以GB/T1031标准进行测量，或按照供需双方约定的方法测定。5.8外观质量检验铬钽钛合金靶材外观质量及内包装质量目视检查，如发现异常现象，用放大镜或数码显微镜进行鉴别。6检验规则6.1检查和验收6.1.1铬钽钛合金靶材成品应由供方检验部门进行检测，保证靶材质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写质量证明书。6.1.2需方应对收到的铬钽钛合金靶材按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准（或订货合同）的规定不符时，应在收到产品之日起1个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方场所共同进行。6.2组批铬钽钛合金靶材应成批提交验收。每批应由同一生产批、同种成分和规格的靶材组成。6.3检验项目和取样规定6.3.1铬钽钛合金靶材出厂前必须进行全面检测。检验项目、取样位置、取样数量应符合表3规定。表3检测项目、取样位置及数量 检验项目 取样规定 取样数量 要求的章条号 检验的章条号 化学成分 靶坯边料（取样位置参考图3） 1个/批 4.2 5.1 微观均匀性 靶坯边料（取样位置参考图3） 1个/批 4.3 5.2 致密度 靶材整体 1个/批 4.4 5.3 弯曲强度 靶材整体 1个/批 4.5 5.4 内部质量 靶材整体 1个/批 4.6 5.5 外形尺寸 成品 逐件 4.7 5.6 表面粗糙度 成品 逐件 4.8 5.7 外观质量 成品 逐件 4.9 5.86.3.2取样位置在生产过程中，为了不破坏靶的整体性，化学成分和微观均匀性的检测在铬钽钛合金靶坯加工到成品前取样进行。圆形靶坯在边缘位置进行取样，取样示意图如图2所示。图2圆形铬钽钛合金靶坯取样示意图6.4检验结果的判定6.4.1化学成分检测不合格时，则判该批产品不合格。6.4.2微观均匀性、致密度、内部质量、弯曲强度抽检合格，判同批产品全部合格；抽检不合格时，判该件不合格，再从同批产品中加倍抽样进行复检，若复检全部合格，判该批其余产品合格；若复检不合格，则判整批产品不合格。6.4.3外形尺寸检测、表面粗糙度检测、外观质量检测、内包装质量检测不合格时，判该件产品不合格。7标志、包装、运输、贮存及质量证明书7.1标志7.1.1在检验合格的铬钽钛合金靶材上，将公司标志、成分及生产批号刻在产品指定位置。7.1.2在每个外包装上贴纸质标贴，内容包括：a)公司标志；b)产品名称；c)材料及纯度；d)客户名称；e)订单编号；f)生产批号；g)出厂日期；h)其他要求内容。7.2包装7.2.1铬钽钛合金靶材的清洗、干燥及内包装应在百级洁净室内进行。靶材经过全面清洗，真空干燥后每片单独真空包装，真空袋封口要平整无贯通，真空袋无漏洞，无真空泄露。7.2.2外包装采用纸盒或中空盒包装。包装盒内应有防碰撞措施。将质量证明书用塑封袋装好后粘贴于包装盒上。7.2.3包装产品应保存于清洁的环境中。7.3运输与贮存运输及贮存过程中，应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。7.4质量证明书每批产品应附有质量证明书，注明：a)供方名称、地址、电话、传真；b)产品名称；c)材料及纯度；d)客户名称；e)订单编号f)生产批号；g)分析检测结果和质量监督部门印记；h)生产日期；i)其他要求内容。8订货单（或合同）内容a)产品名称；b)纯度；c)化学成分；d)规格；e)数量；f)标准编号；g)合同编号；h)单价;i)其他需要协商或增加标准以外要求的内容。YS中华人民共和国工业和信息化部发布××××-××-××实施××××-××-××发布磁记录用铬钽钛合金溅射靶材CrTaTialloytargetusedinmagneticrecording草案稿YS/T×××—××××中华人民共和国有色金属行业标准样品1样品266