电子级硫酸制备
方法
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概述 钊现花◆摘 要：对于电子级硫酸，其实很多人并不是很熟悉，但是如果说纯硫酸也许就会有人知道，纯硫酸其实就是指的电子级硫酸，它是一种超净、高纯试剂，是属于化学剂的一种，主要应用在半导体、超大规模集成电路加工装配中。尤其是对硅晶片进行蚀刻或者进行清洗的时候便会使用到电子级硫酸，它能够更好的去除晶片上的杂物。電子级硫酸的纯度高不高或者其洁净度高不高在一定程度上会对电子元件的成品率造成一定的影响，同时还会影响到电性能及可靠性。1制备工艺精馏法其实就是将回流的原理进行充分利用，从而实现分离的目的。工业硫酸含有亚硫酸以及大量的金属等杂质，而且它是一种具有微黄色的液体。一般情况下，在对工业硫酸进行精馏提纯前，基本上还需要化学预处理，也就是将一定量的强氧化剂倒入预处理槽中，这样一来能够让硫酸中的还原性杂质进行氧化，从而便会产生二氧化碳和硫酸，接下来便可以把已经处理的硫酸输进到石英精馏塔内，然后在展开精馏处理。因为金属杂质离子目前基本上的存在形式便是以硫酸盐形式，而且硫酸盐的沸点相对会比较高一点，因此在进行精馏的时候，因为其沸点高的原因会造成其和蒸馏残液会混合在一起，然后同时都残留在釜底，然后在定期的进行去除。当精馏速度基本上都已经稳定了以后，这个时候便可以进行成品的收集，将其收集在储罐内，然后在对其进行进一步的过滤，将里面的杂质过滤掉，然后在进行分装。孙国忠是黄山市歙县中佳实业有限公司的一名工程师，他经过几年的研究，发明了一种医用电子级硫酸提纯设备，这种设备和其他设备相比有一定的优势，主要是使用的三级蒸馏技术，可能在一定程度上是使得蒸馏得到的产品品质得到进一步的提升。而且，该项设备还能够在一定程度上节约能源消耗，比如它可以充分的利用余热来预热螺旋预热器中的原料，这便实现了能源的节约。而且还将加热器进行了改善，把原来的煤加热改成了现在的电炉丝加热，这便能够在一定程度上减少了煤燃烧造成的环境污染问题，同时还节约了煤炭消耗，实现能源的节约。但是，这个设备也存在一定的缺点，该设备不能进行大规模的生产医用电子级硫酸，仅仅只能进行小规模的生产，因此，距离工业大规模生产电子级硫酸还差很远。精馏法能耗相对比较大，而且其成本并不低，同时有的杂质，仅仅利用精馏法根本无法完全去除，而且还会造成有害气体的产生，对人体健康非常的不利，只能进行小规模生产。气体吸收法也是一种比较常用的一种方法，其中最关键的便是三氧化硫的提纯。首先，要把过氧化氢溶液倒入到向发烟硫酸之中，需要注意的是一定要严格控制还倒入的过氧化氢溶液的量，这样一来便能够实现二氧化硫氧化为三氧化硫，接下来便可以把发烟硫酸放入降膜蒸发器中进行蒸发，同时一定要保证温度控制在110℃±20度条件下，这样一来才能够实现更好的蒸发效果，当三氧化硫气体产生以后，在通过除雾器，将里面的微量硫酸进行去除，在混合高度纯化的惰性气体，接下来便进入吸收塔，再利用超纯稀硫酸进行吸收，经过一段时间的冷却便能够得到超纯硫酸产品。如果产品还是不达标的话，那么便可以在进入吸收塔前展开多次的过滤。对成品的超纯硫酸进行输送和收集时也要特别的注意，输送管道一定要经过特殊
设计
领导形象设计圆作业设计ao工艺污水处理厂设计附属工程施工组织设计清扫机器人结构设计
符合成品的超纯硫酸输送要求的，然后将成品的超纯硫酸送入衬四氟的储槽中。目前，上海华谊微电子材料有限公司的詹家荣等人也对这方面进行了相关研究，并取得一定的成果，使用二次气化来实现三氧化硫原料的纯度的进一步提升，而且对于纯化的三氧化硫的吸收可以通过使用不同浓度的超纯稀硫酸来实现，从而生产出超纯硫酸。2国内外研究现状目前，我国在电子级硫酸方面的研究相对比较少，而且我们起步也比较晚一些。电子级硫酸的核心技术基本上都是掌握在欧美发达国家的手中，比如美国、德国等国家被掌握了电子级硫酸核心技术，而且，我们很少能够在相关的期刊和报纸上看到关于该项核心技术的介绍，各大媒体对于这个技术的报道非常少。目前，在国际上也仅仅只有几家公司能够进行电子级硫酸的大规模生产。比如像美国的Ashland公司、日本的Wako等公司。经过科技的不断发展，电子级硫酸相关技术也得到了一定程度的发展，比如在目前美国、日本以及韩国已经可以进行0.09～0.2μm及以上技术用的超净高纯试剂的大规模生产，而且即使是5000～10000t/a，65nm及以下技术用工艺化学品，目前基本上也已经完成了技术研究，已经完全具备了生产能力。虽然，我国在这一方面起步比较晚，但是经过最近几年的努力研究，我们也在高纯试剂方面取得了一定的成绩。但是，如果和国际领先技术相比较的话，那么我国还是和他们具有一定的差距的，而且我们的研究虽然取得了相应的成果，但是成果产业化速度相对比较缓慢，还不能够进行大规模的生产。如今，MOS级试剂的生产技术基本上都已成熟，而且目前我国的超净高纯试剂生产厂家基本上也是进行该档次产品的生产，同时在BV-Ⅲ级电子级硫酸生产方面，已经实现了年产千吨级的规模，对于BV-Ⅳ、BV-Ⅴ级这类比较高规格的产品，目前我国还没有办法进行自主生产，基本上还是依赖进口。目前，我国对超净高纯试剂非常的重视，已经把“ULSI用超净高纯试剂研究”课题作为一个非常重要的课题进行研究，同时还将其列入“863”超大规模集成电路配套材料重大专项计划之中。Reference[1]黄山市歙县中佳实业有限公司.医用电子级硫酸提纯设备：中国，201678447U[P].2010-12-22.[2]上海哈勃化工有限公司.一种超纯化学品的生成方法;中国，1300634[P].2001-06-27.[3]刘飞，李天祥.电子级磷酸的纯化技术及其发展现状[J].无机盐工业，2011，43（03）：11-13.07E936C2-3714-44BE-8CE9-EB80F0F24684 -全文完-
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