[打靶归来串词]歌曲《打靶归来》串词 篇一 : 歌曲《打靶归来》串词
歌曲《打靶归来》串词
男:战士们的品质纯洁高尚,
女:战士们的意志坚韧刚强,
男:战士们的气质淳朴谦逊,
女:战士们的胸
图1 显示跑道侵蚀模式的平面靶材
图2 平面靶材跑道侵蚀模式的截面展示
跑道外面的溅射速率要低得多,并且可能会形成氧化物。,)在 ITO 等陶瓷靶材的溅射过程中,因为靶材
材料
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中含氧,并且通常会被引入腔体,所以氧化物可以轻易形成。在金属溅射中,氧的存在可归因于腔体泄露或由于基板以及载体的除气作用引起的水汽。形成氧化物的区域通常被称为“结瘤”。这些氧化物区域是绝缘的,并且允许电荷积累。由于薄膜非常薄,即使在低压状况下,电场也特别强。一旦电场足够强,靶材表面就会出现击穿。这些电弧产生的粒子会损害基板。在严重的情况下,当电弧没有被消除,或因为没有电源灭弧或电源灭弧不足导致电弧持续燃烧时,也会损害靶材材料。
图3 在使用平面靶材的典型磁控工艺中,靶材表面低溅射速率区域的小爆炸会释放出粒子,使您不得不在靶材被全面被利用之前就需要替换靶材。
直流电 脉冲降低了结瘤形成的可能性,有助于在长时间内保持靶材质量,从而使您可以更好地利用靶材。这种制程电源方法通过定期反转极性使靶材表面放电,来减少电解质的形成和电弧放电。随着频率增加,电解质表面放电的频率也有所增加,从而降低了结瘤形成的可能性。这不仅能够延长靶材使用寿命,还能够降低对基板的损害。 减少质量下降的靶材带来的不利影响
在靶材使用寿命结束前减少恶劣的靶材环境带来的不利影响是延长靶材使用寿命的另一个主要因素。具有低储能和高效电弧管理特点的优质电源让您能够运行即使含有结瘤的陈旧靶材,而不会受到图3所列现象的不利影响。
当限制输送至电弧的电源引起结瘤爆炸时,高效的电弧管理和低储能可以降低损害。这些特点让您可以运行一个可能含有结瘤的陈旧靶材,同时将电弧能量降至可以保持薄膜质量的水平。如果没有这些特点,当结瘤形成增加时,您必须停止制程,丢弃和置换靶材,即使靶材可能仅被利用了一部分。这使您必须使用全新的靶材,从而增加了成本,即使旧靶材可能仅被利用了一部分。它还会因为要求系统全面停工而降低生产量。
使用可旋转靶材
如果靶材利用率对您制程成本尤为重要,并且您想要避免图3所列的现象,您可以通过使用可旋转靶材获益。尽管它们的成本比平面靶材高,但是可旋转靶材的利用率通常为85%,而平面靶材仅为35%到50%。这些数据与您正在采用的制程电源方法或靶材材料无关。
请注意,可旋转靶材的应用范围有限。它们不能容易地与 RF 电源. 兼容。通常而言,它们在交流电 、直流电或脉冲直流电电源制程中使用效果最佳。此外,由于受到制造条件限制,并不是所有的靶材材料都可以利用。
除了可以提高利用率,使用可旋转靶材的另一个重大好处就是它们不受图3列出的结瘤爆炸问题的影响。与以跑道模式侵蚀的平面靶材不同,可旋转靶材的整个表面侵蚀很均匀。因此,侵蚀模式不会出现“边缘”,除非在靶材的极端部位,而这通常分布于基板终端以外,因此不会影响薄膜质量。对于平面靶材而言,这些边缘容易造成促进氧化物形成的环境,从而导致结瘤、电弧放电和基板损害等问题。
防止靶材串扰
在考虑靶材问题时,利用率并不是唯一存在的问题。靶材串扰是一种潜在的变弱现象,它会导致基板电弧放电、基板和靶材损坏、以及可能出现的最终电源损坏。串扰还可能使您无法获得所期望的功率值,从而降低产量。
什么是靶材串扰,较大的基板,例如在 FPD 制造中经常使用到的那些,每个腔室可能需要1打或更多的靶材。为了与一个单室相
吻合,必须缩小靶材之间的
空隙。 合作,共同优化您的先进技术。选择能够提供全面且响应迅速的支持服务的设备供应商使您的系统能够随着新技术的推出而不断改进。
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对于为了增加 FPD 生产利润而需要行业改变的推动因素您有何见地,
答: 市场现状的确让人沮丧。在消费者开始购买更多 FPD 或生产成本大幅降低之前,利润不尽如人意,您或许觉得您正处于徘徊彷徨之中。但我们仍有充分的理由保持乐观。首先,消费者对 FPD 技术仍然有着浓厚的兴趣,因此这一市场有着巨大的发展潜力。而只需一些变化就能够将这种潜力转化为实际利润。
半导体行业的开端与如今的 FPD 市场十分相似。消费者兴趣十足,但销量却滞后。半导体行业是如何克服这一困境,迎接销量增长并最终实现可持续的利润率的呢,其中有诸多因素,包括生产效率的提高和适中的原料价格——这使得终端产品成本下降,从而扩大了市场渗透率,促进了消费需求的增长。
已经有迹象表明 FPD 行业正循着半导体行业的发展轨迹前行。娱乐“迷”持续购买 FPD 产品以取代现在已经无法满足其需求的 CRT 技术。所有大型电脑制造商都不再认为 FPD 是一种奢侈品,
其中大多数厂商将 FPD 作为新系统的标
准配置。(]而通过行业联盟使得成本进一步降低正在不断改善应用和分销渠道。
环境正在不断改善,而这一有利的变化仍将继续。