磨片工艺流程
流程 参数 注意事项 1、先将操作台上的盒子内放入适量水 硅片厚度:285-300um 将片子放入水中泡开后放入载体，未
泡好的片子容易出现重片或较难拿开 2、将领来的材料开盒检查，将检查好轻压:10圈 自重:10圈 加整桶沙子时应将三分之二位置放入的材料放入操作台上的盒子中。 加压:200圈 研磨:300圈 沙子与悬浮液后再倒入水，防止沙桐
内沙子过满溢出。 3、检查机器是否有异常，沙桶内沙子轻压压力:29~31p 用海绵擦片子时应注意片子是否有重的多少，检查是否已经修盘加压压力:1~1.4p片或从载体内窜出。
4、将载体放入机器中放好，将沙子淋气压表:5p以上 在上盘落下后应观察载体压实，是否在载体表面并擦均匀，在请呀状态下有异响，待5个载体压实后放入沙子 压好
5、将已经泡好的片子取出放入载体中砂浆配比: 轻压状态，提速时应缓慢防止窜片，并用沾过的沙子的海绵将片子表面擦12缸沙:2盖悬浮液:1桶水 在轻压5圈后将速度提至20以上 均匀，然后停止转动，准备降盘。
6、上盘下降时在离载体约1厘米时低修盘圈数:200圈 磨完降速度时应将速度降至0再关掉速启动，待载体压实后放上沙子缓缓沙子。
提速。
7、提速后在加压状态下听载体内是否定盘速度:30(工作状态) 磨好的片子在测厚度时应正反面都擦有异响 太阳轮速度:60(修盘状态) 干净，否则无法得到准确的数值。 8、圈数磨到后按F1将机器恢复至轻载体厚度:280~230um 每1500片修盘一次 压状态，然后将速度将下来后关掉沙在修盘状态下200圈修完后将上下盘子，将上盘升起。 刮干净
9、 将载体中的片子取出冲洗干净检新载体厚度:280um
测厚度。
10、将磨好的片子收起后冲干净，然
后擦片再放入准备好的盒子中，工作
完成
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