TFT-LCDTFT工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称2

一．TFT工艺 流程 快递问题件怎么处理流程河南自建厂房流程下载关于规范招聘需求审批流程制作流程表下载邮件下载流程设计 中英文 标准 excel标准偏差excel标准偏差函数exl标准差函数国标检验抽样标准表免费下载红头文件格式标准下载 名称 Array Process Flow 阵列段工艺流程 Input 投料 Unpacking 拆包装 Initial clean 预备清洗 Particle count 尘埃粒子测试 Gate 栅电极层 Clean before depo 成膜前清洗 Gate （Mo/Al alloy ) Film depo 栅电极成膜 RS meter 电阻测量 Macro Inspection 宏观检查 Clean before PR 涂胶前清洗 Pre bake 预烘 PR Coating 光刻胶涂布 PR vacuum dry(VCD) 光刻胶低压干燥 PR soft bake 前烘 Expose 曝光 Titler Expose/Edge Expose 打标/边缘曝光 Develop 显影 PR hard bake 坚膜 ADI 显影后自动光学检查 Mic/Mac Inspection 宏微观检查 CD after develop 显影后关键尺寸检查 Total pitch 长寸测量 Gate Wet etch 栅电极湿刻 Contact angle 接触角测量 PR strip 光刻胶剥离 CD after etch 刻蚀后关键尺寸测量 AEI 刻蚀后自动光学检查 Micro/Macro Inspection 宏微观检查 Laser Repair 激光修补 Active层 Clean before depo 成膜前清洗 Active film depo Active成膜 AOI 自动光学检查 Macro Inspection 宏观检查 Thickness Measurement 厚度测量 Clean before PR 涂胶前清洗 Pre bake 预烘 PR Coating 光刻胶涂布 PR vacuum dry 光刻胶低压干燥 PR soft bake 前烘 Expose 曝光 Develop 显影 PR hard bake 坚膜 ADI 显影后自动光学检查 Mic/Mac Inspection 宏微观检查 Active film Dry etch & Ashing Active膜干刻与灰化 Thickness Measurement 厚度测量 PR strip 光刻胶剥离 AEI 刻蚀后自动光学检查 Mic/Macro Inspection 宏微观检查 S/D 源/漏电极层 Clean before depo 成膜前清洗 S/D Mo film depo 源/漏电极成膜 RS meter 电阻测量 MACRO Inspection 宏观检查 Clean before PR 涂胶前清洗 Pre bake 预烘 PR Coating 光刻胶涂布 PR vacuum dry 光刻胶低压干燥 PR soft bake 前烘 Expose 曝光 Edge expose 边缘曝光 Develop 显影 PR hard bake 坚膜 ADI 显影后自动光学检查 MIC/MAC Inspection 宏微观检查 CD after develop 显影后关键尺寸检查 Hard bake by oven 烘炉坚膜 S/D Mo Wet etch 源电极/漏电极湿刻 n+ a-Si Dry etch n+高掺杂膜干刻 PR strip 光刻胶剥离 Thickness Measurement 厚度测量 CD after etch 刻蚀后关键尺寸测量 AEI 刻蚀后自动光学检查 Micro/Macro Inspection 宏微观检查 Clean before O/S test 短路/开路测试前清洗 Open/Short Test 短路/开路测试 Passivation 保护层 Clean before depo 成膜前清洗 Pass'n film depo 保护膜成膜 AOI 自动光学检查 MACRO Inspection 宏观检查 Thickness Measurement 厚度测量 Clean before PR 涂胶前清洗 Pre bake 预烘 PR Coating 光刻胶涂布 PR vacuum dry 光刻胶低压干燥 PR soft bake 前烘 Expose 曝光 Edge expose 边缘曝光 Develop 显影 PR hard bake 坚膜 ADI 显影后自动光学检查 Micro/Macro Inspection 宏微观检查 SinX Dry etch & ASHING 氮化硅干刻与灰化 PR strip 光刻胶剥离 AEI 刻蚀后自动光学检查 Micro/Macro Inspection 宏微观检查 ITO ITO层 Clean before PR 成膜前清洗 a-ITO film depo ITO成膜 RS meter 电阻测试 Anneal 煺火 Macro Inspection 宏观检查 Clean before PR 涂胶前清洗 Pre bake 预烘 PR Coating 光刻胶涂布 PR vacuum dry 光刻胶低压干燥 PR soft bake 前烘 Expose 曝光 Develop 显影 PR hard bake 坚膜 ADI 显影后自动光学检查 Micro/Macro Inspection 宏微观检查 ITO film etch ITO膜湿刻 PR strip 光刻胶剥离 AEI 刻蚀后自动光学检查 Micro/Macro Inspection 宏微观检查 Final E/T 最终电测 Anneal 煺火 Array test 阵列测试 Array repair 阵列修补 TEG test TEG测试 Sort 分级 Cell Process flow 制盒段工艺流程 CF Input 彩膜投料 CF Initial Clean 彩膜预备清洗 CF AOI 彩膜自动光学检查 CF Sort 彩膜分级 PI 配向膜 Clean before PI 配向膜涂布前清洗 PI Print 配向膜涂布 Pre-cure 预固化 PI Inspection PI Thickness Measurement 配向膜厚度测量 Main-cure 固化 PI rework 配向膜返工 ODF CF&TFT Matching CF&TFT匹配 Rubbing 配向摩擦 Rubbing Inspection 摩擦检查 Loader & Un loader 上料机/下料机 Buffer 缓冲器 CST Buffer 工装栏缓冲器 Rotation/Cooling Unit 旋转/冷却单元 Turn Align Unit 旋转/对位单元 Turn Over Unit 翻转单元 After Rubbing Cleaner 摩擦后清洗 Spacer Spray 衬垫球散布 Spacer Counter 衬垫球计数 Spacer rework 衬垫球返工 Spacer Cure 衬垫球附着固化 Short Dispense 导电胶涂布 Sealant Dispense 边框胶涂布 Seal Inspection 边框胶检查 LC Dispense 液晶滴下 Vacuum Assembly 真空贴合 UV Cure 紫外线固化 Mis-alignment check 错位检查 Seal Oven 边框胶热固化 Eye Inspection 目视检查 Cell gap Measurement 盒厚测试 Cutting 切割 1/4(1/6)Sheet Cutting, 1/4(1/6)切割 Stick Cutting, 切条 Cell Cutting 切粒 Visual Test Visual 测试 ECP Edge Grind 磨边 Dipping clean 浸泡式清洗 Clean before Pol 贴片前清洗 Pol Attach 贴片 Pol Inspection 贴片检查 Pol rework 贴片返工 Auto Clave Auto Clave 消泡 Laser Trimmer Laser Trimmer 激光切线 Test 测试 Gross Test 终检 Repair 修补 Bin sorter 分级 OQC Test 出货检查 Store 货栈 Module Process Flow 模块段工艺流程 COG Pad cleaning 端子清洗 IC Bonding IC 邦定 Microscope Inspection AOI 镜检 自动光学检查 Adhesive test 粘接力测试 FOG ACF Attaching ACF 粘贴 FOG Bonding FOG 邦定 Microscope Inspection 镜检 Peeling strength test 拉力测试 ET test1 电测1 IC or FPC Repair 修补 UV glue sealing 封胶 FPC reinforcement 补强 UV glue curing UV胶固化 Assembly 组装 ET test2 电测2 anti-ultraviolet tape attaching 遮光胶带粘贴 protected tape attaching 保护胶带粘贴 Backlight assembly 背光源组装 Backlight soldering 背光源焊接 Touch panel assembly 触摸屏组装 Final ET test 最终电测 Rework 返工 Aging 老化 QC test QC检验 Code printing 喷码 Packing 包装 OQC Test 出货检验 Finished good shipment 合格品出货 CIM name 集成控制系统名称 CIM 计算机集成制造系统 CIM System 计算机集成制造系统 Manufacturing Execution System(MES) 制造执行系统（MES） Preventive Maintenance System(PMS) 设备预防保养系统（PMS） Statistical Process Control(SPC) 统计过程管理（SPC） Equipment Automation Program(EAP) 设备自动化（EAP） Report 报表 Engineering Data Analysis(EDA) 工程数据分析（EDA） Finished Good Management System(FGMS) 成品管理系统（FGMS） Product 产品 Glass 玻璃基板 Panel 面板 Process Flow 工艺流程 Operation 操作 EDC 工程数据收集 Equipment 设备 Chamber 腔体 Unit 单体 Sub Unit 副单体 Port 端口 OIC (Operator Interface Client) 操作者界面 EDB 工程数据库 FGMS 成品管理系统 Dispatcher 派货 Create 建立 Start 下线 Scrap 报废 Un scrap 取消保废 Complete 完成 Ship 出货 Un ship 取消出货 Receive 收料 Track In 入账 Track Out 出账 Wait 等待 Hold 滞留 Release 释放 Rework 返工 Vehicle 搬运车 Robot 机械手 AGV (Automatic Guided Vehicle) 自动搬运车 MGV (Manual Guided Vehicle) 人工搬运车 Clean lifter 净化电梯 LIM (Linear Induction Motor) Carrier 线性感应马达传送载具 OHS (Overhead Handling System) 天车搬送系统 Stocker (clean depot) 工装篮存放架 Battery 电池 Bay 作业区 Inter-bay 作业区和作业区之间 Intra-bay 作业区之内 Bumper 减震缓冲器 Charger 充电器 Controller 控制器 Conveyor 传送带 Crane 吊车（在Stocker内） FFU (Fan Filter Unit) 风扇过滤器 Host 主机 I/O (Input / Output) 输入/输出 IR (Infra-Red) 红外线 IRIF(Infra-Red Interface) 红外接口 Load 上料 Unload 下料 Magnetic tape 磁条(AGV路径所使用的磁条) Retrieve 检索 RTM (Rotary Transfer Machine) 旋转传送机构 SCARA arm AGV传送臂 Reset 重新设定 Transportation 传输 Recipe 工艺参数的组合 Stock out 将工装篮取出货栈 Request 要求,请求 Transfer 传送,运送 Instruction 命令,指令 Select 选择 Cancel 取消 Operation 作业,操作 Support 支援,支持 Process 工艺 Start 开始 Batch 批量 Lot 批(指生产线的在制品或产品控制单位) ID (Identity) 识别码(如Lot ID or Chip ID) Sheet 片(Array区玻璃基版计数单位) Inspection 检验 Defect 缺陷 Hold 滞留 Release 释放 Equipment 设备（简称为EQP） Tool 工具,机台 WIP (Work In Process) 在制品（工艺在制品） Maintenance 维修保养 Cassette 工装篮(阵列段),卡匣(制盒段及模块段) Empty 空的 Reserve 预备 Report 报告 软件系统测试报告下载sgs报告如何下载关于路面塌陷情况报告535n,sgs报告怎么下载竣工报告下载 Rework 返工 Log on 登录，入系统 Log off 注销登录，离开系统 Note 批注 Unpacking line 拆包线 Un packer 拆包机 Glass conveyor 玻璃传送带 Initial Cleaner 预清洗 Un loader 下料机 Cassette Manual Guide Vehicle (MGV) 工装篮人工搬运车 Array Cassette Array工装篮 ODF Cassette Automated Material Handling System(AMHS) 自动物料搬运系统 Clean Stocker(STK) 洁净工装篮存放架（STK） Overhead Handling System (OHS) 天车搬送系统（OHS） Material Control System (MCS) 物料控制系统（MCS） Clean Robot 洁净机械手 Loader/Un loader 上/下料机 Sorter 分片机 二．TFT 材料 关于××同志的政审材料调查表环保先进个人材料国家普通话测试材料农民专业合作社注销四查四问剖析材料 中英文标准名称 类型 Type Materials name 材料名称 玻璃 Glass Glass 玻璃基板 Color filter 彩色滤光膜 Bare glass 白玻璃基板 LCD Panel 液晶面板 靶材 Target AlNd/Al Target 铝钕/铝靶材 MoNb/Mo Target 钼铌/钼靶材 ITO Target ITO靶材 化学液体 Chemical Al Etchant Al蚀刻液 ITO Etchant ITO蚀刻液 HNO3 硝酸 CH3COOH Developer 显影液 Stripper 剥离液 MEA 单乙醇胺 Photo Resist 光刻胶 Organic Photo Resist 有机膜用光刻胶 Thinner 稀释剂 NMP N-甲基-2-吡咯烷酮 HF 氢氟酸 Acetone 丙酮 IPA 异丙醇 Ethanol 酒精 辅助器材 Sub material Photo Mask 光罩 APR Plate APR版 Rubbing Cloth 摩擦绒布 Adhesive Tape 双面胶布 Probe frame for array tester 阵列电测架 E/T Frame 电测用探测架 Cell ET Probe Unit 屏电测用探测头 Open/Short tester and prober 开路、短路电测用探测头 Teflon Tape 特氟龙带 Silicon rubber 硅胶皮 Wiper Tape 无尘卷布 高纯气体 High purity gas NF3 三氟化氮 SiH4 硅烷 SF6 六氟化硫 NH3 氨气 Cl2 氯气 HCL 氯化氢 CHF3 三氟甲烷 PH3 磷烷 CF4 四氟甲烷 N2 氮气 O2 氧气 H2 氢气 Ar 氩气 He 氦气 液晶 LC LC 液晶材料 胶膜 Film Polarizer 偏光片 Diffuser 散光膜 涂料 Dope Paint PI 聚酰亚胺 树脂 Resin Sealant 边框胶 UV glue UV胶 ACF 各向异性导电膜 Conductive Spacer 导电衬垫球 Spacer used in Sealant 边框胶内衬垫球 Spacer used in Cell（White） 盒内衬垫球(白） Spacer used in Cell（Black） 盒内衬垫球(黑） 元器件 Parts Back Light Unit 背光源 Integrated circuit/Driver IC 集成电路/驱动IC PCB 印刷电路板 FPC 柔性印刷线路板 Module Frame 模块外框 Touch Panel/Touch film 触摸屏/触摸膜 RCL 焊接材料 Soldering material FLUX 助焊剂 SOLDER CREAM 焊锡/焊接剂 三．TFT设备中英文标准名称 English name 中文名称 PHOTO 曝光 Exposer 曝光机 Coater Developer 陈列黄光制程清洗机-涂布机-显影机 long size measuring and critical dimension measuring multiple equipment 测长仪和线宽测量仪 Titler& Edge Exposer 打标机和边缘曝光复合机 Edge Exposer 边缘曝光机 AFM 原子力显微镜 FIB 聚焦离子束系统 FE-SEM 场发射扫描电子显微镜 UV Meter UV照度计 EXCIMER UV 准分子紫外清洗机 Ionizer Bar 除静电棒 Fire Extinguisher 灭火器 Photo Ionizer 软X射线静电消除器 PVD&WET 溅射&湿式 PVD (Multi-chamber type sputtering system) 磁控溅射成膜机 Particle counter 尘埃粒子测量仪 Ultrasonic Cleaner 超声波清洗机 Stripper 脱膜机 Contact Angle Analyzer 接触角测量仪 RS Meter(4point Probe) 四探针仪 Cassette Cleaner 工装篮清洗机 Initial Cleaner 预备清洗机 Pre CVD cleaner 成膜前清洗机 HF Cleaner before S/D S/D成膜前带HF清洗机 Liquid Particle Counter 液体内尘埃粒子测量仪 CCSS 中央化学品供应系统 Anneal Oven 退火炉 Hard Bake Oven 后烘炉 Film Tester 薄膜附着力测试仪 Etchant Concentration Management System 刻蚀液浓度管理系统 DMS 显影液浓度管理系统 DRS 显影液溶剂回收系统 RMS 剥离液浓度管理系统 Wet Etcher 湿刻机 4.5G-Macro Review System 4.5G宏观检查机 4.5G-Mic/Mac Review System 4.5G宏观、微观检查机 RGA(Residual Gas Analyzer) 残余气体分析仪 PECVD 化学气相沉积 Hot N2 Transfer System 热N2供应系统 PECVD 等离子增强化学气相淀积设备 Special Gas Supply & Monitor System 特种气体供应和监视管理系统 Temperature Recorder 温度记录仪 Gas Scrubber for PECVD PECVD用尾气处理装置 Full Automatic Spectroscopic Ellipsometer for Flat Panel Display 平板显示用全自动椭圆偏振光谱仪 Clean Crane 洁净室起重机设备 Spectroscope Reflectometer 平板显示用全自动分光反射光谱仪 He Leak Detector 氦气检漏仪 DRY 干刻 Dry Pump for CVD 化学气相沉积设备用真空泵 Dry Pump for PVD 物理气相沉积设备用真空泵 EPD for Dry Etching 干刻终点侦测器 Dry pump for Dry Etching 干刻机设备用真空泵 Dry Etching/Ashing System 干刻灰化一体机 Profiler System 段差量测机 Chiller for Dry Etching 干刻机辅助设备冷却器 Local Scrubber System for Dry Etching 干刻用废气处理设备 CELL 制盒 Rubbing Line 摩擦线 Before PI cleaner PI前清洗机 Cassette BF 工装篮缓冲器 PI Printer PI涂布机 Pre-Cure 预固化炉 Main-Cure 主固化炉 Loader/Un loader 上下料机 APR cleaner APR板清洗机 Rubbing Inspection 摩擦检查机 After Rubbing Cleaner 摩擦后清洗机 ODF System ODF相关设备 Seal Dispenser 边框胶涂布机 Short Dispenser 导电胶涂布机 Seal De-bubbling machine 边框胶脱泡机 UV cure 紫外线固化机 Spacer Cure Oven 衬垫球固化炉 Cooling /Rotation Unit 冷却/旋转装置 Seal Cure Oven 边框胶固化炉 LC dispenser 液晶滴下机 LC de-bubbling 液晶脱泡机 Vacuum Assembly 真空贴合系统 Mis-align Checker 对位检查机 Visual Inspection 目视检查机 ODF Inline transfer and line control block ODF联线传输和软件控制系统 Loader(3port) 上料机 Un loader(3port) 下料机 Cassette Buffer 卡匣缓冲器 Turn Align Buffer 旋转对位缓冲器 Pairing/NG Buffer 配对/不良制品缓冲器 Spacer NG Buffer 衬垫球散布不良制品缓冲器 Turn Over Align 翻转对位器 UV Mask stock UV Mask 存储柜 Buffer after UV cure 紫外线固化后缓冲器 Cooling Buffer 冷却缓冲器 Spacer US Cleaner 衬垫球超声波清洗机 Spacer Remover(USC) 衬垫球聚团去除装置（超声波清洗机） US Cleaner after sealant dispensing 边框胶涂布后超声波清洗机 US Cleaner after short dispensing 点胶后超声波清洗机 Master PLC 主PLC CIM PC CIM PC Seal Inspection 边框涂布检查机 Cell Gap Inspection 盒厚检查机 Dry Spacer Spray & Spacer count 干式散布机 衬垫球计数器 Auto Clave 偏光片贴附后加压消泡机 Edge Grinder 液晶面板磨边机 LCD Panel cleaning and Polarizer attach system 液晶面板清洗和偏光板贴附机系统 Panel Cleaner 面板清洗机（用于液晶面板清洗和偏光板贴附机系统） Polarizer Attach Machine 偏光板贴附机（用于液晶面板清洗和偏光板贴附机系统） LCD Panel Polarizer Rework Machine 液晶面板偏光片返工机 Cell Cassette(3"-10.4") 3"-10.4"Cell卡匣 Single head scriber 单刀头切割机 LCD glass in-line Scriber 液晶面板在线切割机 Multi head Scriber 多刀头切割机 MODULE 模块 COG bonding machine 自动COG邦定机 COG Semi-automatic Bonding Machine 半自动COG邦定机 Aging test system 老化测试系统 Signal generator for LCD Inspection LCD检查用信号发生器 Auto Optical Inspection 自动光学 检测 工程第三方检测合同工程防雷检测合同植筋拉拔检测方案传感器技术课后答案检测机构通用要求培训 仪 Air Particle Counter 空气尘埃粒子测量仪 Backlight tester 背光源色度亮度测量仪 Projector 投影仪 Microscope 显微镜 Ionizer blower 离子风扇 Surface resistance test kit（点检） 表面电阻测量仪 Charged Plate Monitor 平面带电测试仪 Static electricity voltage testing 静电电压测量仪 TEST 测试 ADI-AOI 显影后检测 AEI-AOI 刻蚀后检测 CF-AOI 彩色滤光片检测 Array Tester 阵列电测机 Open/Short tester and prober 开路/短路检测和探针系统 ARRAY O/S probe 开路/短路探针系统 TEG Prober TEG探针系统 TEG Tester TEG测试系统 Probe Unit for TEG TEG测试用探针系统 Array repair 激光修补系统 Array Probe frame 阵列电测架 Visual test probe unit 目测用探针系统 ET Probe unit 2英寸电测用探针系统 Microscope 显微镜（Panel） Microscope and laser system 带激光的显微镜 Barcode Reader 条形码阅读器 Fixed 2D Code Reader 2维读码器系统(固定类型) Portable 2D Code Reader 2维读码器系统(可移动类型) PI+Macro inspection system PI+Macro检测系统 Cell Gap Measure System 盒厚测量系统 Laser Trimmer 激光切线系统 Cell Laser Repair 液晶盒激光修补系统 Oscilloscope 示波器 Manual probe 手动探针系统 Precision Parameter Analyzer TFT参数分析仪 R&D 研发 Product Optical Quality Measurement System 产品光学质量检测系统 Optical Parameters Measurement System 光学特性量测设备 Circuit drawing//Orcad 电路图编辑器 P-spice Analog Simulation P-spice电路仿真器 PCB Artwork PCB线路图编辑器 3D Mechanical Design Tool 3D机械设计工具 2D structure Design Tool 2D结构设计工具 Pattern Generator 测试图形发生器 Resistance Attenuator 电阻衰减器 illuminance Colorimeter 亮度色度计 Spectrophotometer 亮度色度光谱仪 Color Analyzer 色彩分析仪 R,L,C Measurement R,L,C测试仪 ESD Gun(EMI/EMS)table 静电枪台 UV TEST chamber 紫外线测试箱 Seal dispenser 边框胶涂布机 three axis Measurement Stage 三轴量测平台 Pre-tilt angle & cell gap measurement system 倾斜角盒厚量测仪 LC resistivity meter 液晶电阻率测量仪 Oscilloscope(Analog) 模拟示波器 Thermo-hygrostat 恒温恒湿柜 Thermal Shock Chamber 冷热冲击舱 ESD Gun(EMI/EMS) 静电枪 Liquid crystal injection machine 灌晶机 Plasma cleaning machine 等离子清洗机 Simulation software of LCD Optical parameters LCD光学特性模拟软件 Layout editor for mask 版图设计软件 CIM 集成控制 CIM System -.Manufacturing Execution System(MES) -.Preventive Maintenance System(PMS) -.Statistical Process Control(SPC) -.Equipment Automation Program(EAP) -.Report System -.Engineering Data Analysis(EDA) -.Finished Goods Management System(FGMS) -.Engineering Data Base(EDB) 计算机集成制造系统 -.制造执行系统 -.机台预防保养系统 -.统计制程管制 -.设备自动化 -.报表系统 -.工程数据分析 -.产成品管理系统 -.工程数据库 Operator Interface Client(OIC) 操作者界面 FAB Monitoring Client(FMC) 工厂监控系统 Dispatcher(DSP) 任务分配系统 Fault Detection and Classification(FDC) 缺陷检查和分类系统 Alarm Management System(AMS) 机台报警系统 Real Time Analysis/Monitoring System(RTAMS) 缺陷管理的实时监控/分析系统 System Management System(SMS) 系统管理系统 AMHS 物料搬运 Unpacking line -.Un packer -.Glass conveyor -.Initial Cleaner -.Un loader 拆包线 -.拆包机 -.玻璃传送带 -.预清洗 -.下料机 Cassette Manual Guide Vehicle (MGV) 工装篮人工引导车 Array Cassette Array工装篮 ODF Cassette ODF工装篮 Automated Material Handling System(AMHS) -.Clean Stocker(STK) -.Overhead Handling System (OHS) -.Material Control System (MCS) 自动物料搬运系统 -.洁净堆料机（STK） -.天车搬送系统（OHS） -.物料控制系统（MCS） Clean Robot 洁净机械手 Loader/Un loader 上下料机 Sorter 分片机 CIM Server 集成控制系统服务器 MES DB Server MES 数据服务器 MES APP Server MES 应用服务器 EDA/EDB Server EDA/EDB 服务器 FDC Server FDC服务器 PMS Server PMS服务器 YMS Server YMS服务器 File Server 文件服务器 Centralized Backup/Recovery Server 中央备份服务器 Development Server 开发服务器 Testing Server 测试服务器 Storage/Disk Array 磁盘阵列 SAN Switch/Storage Link SAN交换机 Tape Library 磁带库 Switch 网络交换机 Router 网络路由器 Firewall 网路防火墙 Message Bus 信息总线 TIBCO Rendezvous TIBCO消息集聚器 Data Protector 数据保护者 Facility 工程 Exhaust Fan(FRP) 排气风机（玻璃钢离心式） UPW system 纯水超纯水设备 Auto control system 自动控制系统 CDA system 压缩空气系统 Bulk gas supply system 大宗气体供应系统 Exhaust Fan 排气风机 Fan Filter Unit 送风过滤系统 Gas and liquid leak detection system 气体和液体测漏系统 Diesel oil generator 柴油发电机系统 VOC scrubber 有机物蒸气洗净机 Plant Vacuum pump 工厂真空系统 cleaning vacuum pump 清洁真空系统 waste water monitor system 废水检测系统 vesda system 空气烟感探测分析系统 chiller 冷水机组 cooling tower 冷却塔 HVAC PUMP 空调水泵 heat energy supply system 集中供热系统 LPG system LPG站系统 PCW system PCW系统 35KV transformer 35KV变压器 Telephone system 电话系统 CATV system 有线电视系统 broadcasting system 广播系统 fire alarm system 火警系统 WWT 废水处理系统 35KV switch device 35KV开关装置 Mv switchgears, cast coil transformers, unit substations, power scada 中压变配电系统 Security & CCTV system 安保和闭路电视系统 Fire fighting system 消防系统 Analysis room 分析室 Single head scriber 单刀头切割机 Contact Angle 接触角测量仪 Eyewash 洗眼台 Wet station 带通风橱的中央实验台 四．TFT生产常用中英文名称 English name 中文名称 General 一般专有名词 LCD (Liquid Crystal Display) 液晶显示器 Glass, substrate or glass substrate 玻璃基版 TFT(Thin Film Transistor) 薄膜晶体管 Panel 面板 Array 阵列 Cell 液晶盒 Module 模块 Monitor 监视器 Pixel 像素 Computer 电脑 Notebook－PC 笔记本电脑（简称为NB） RGB (Red, Green, Blue) 指红绿蓝三基色 PM (Preventive Maintenance) 预防保养 Quality 品质 Standard 标准 (指作业标准或质量指针) Material 材料 Yield 良率 CIM (Computer Integration Manufacturing) 计算机集成制造（指以计算机系统整合制造流程） FA (Factory Automation) 工厂自动化 Exit 出口 Precaution 注意 Warning 警告 Emergency 紧急 Alarm 警报 Clean Room 洁净室 Clean room 洁净室 HEPA (High Efficient Particulate Air) filter 高效能粒子空气过滤网 Contamination 污染 Temperature (TEMP) 温度 Humidity 湿度 Pressure 压力 UPW (Ultra-Pure Water) 超纯水 DIW (De-Ionized Water) 去离子水 IPA (Isopropyl Alcohol) 异丙醇 Sticky mat 粘尘垫 Cleanliness 洁净度 ESD (Electro-static Discharge) 静电放电 Laminar flow 层流（流体力学名词） Turbulent flow 扰流（流体力学名词） Alcohol 酒精 Acetone 丙酮 Particle 微粒子 Dust 灰尘 Gowning room 换衣间 Raised floor (grating floor) 高架地板 Air shower 风淋室 Prohibit 禁止 Clean suit (bunny suit, dust-free garment) 无尘服 Glove 手套 Hairnet 网帽 Hood 头罩 Mask 口罩 Clean shoes (dust-free shoes, boots) 无尘鞋 Factory Automation 工厂自动化 Vehicle 搬运车 Robot 机械手 AGV (Automatic Guided Vehicle) 自动搬运车 MGV (Manual Guided Vehicle) 人工搬运车 Clean lifter 净化电梯 LIM (Linear Induction Motor) Carrier 线性感应马达传送载具 OHS (Overhead Handling System) 天车搬送系统 Stocker (clean depot) 工装篮存放架 Battery 电池 Bay 作业区 Inter-bay 作业区和作业区之间 Intra-bay 作业区之内 Bumper 减震缓冲器 Charger 充电器 Controller 控制器 Conveyor 传送带 Crane 吊车（在Stocker内） FFU (Fan Filter Unit) 风扇过滤器 Host 主机 I/O (Input / Output) 输入/输出 IR (Infra-Red) 红外线 IRIF(Infra-Red Interface) 红外接口 Load 上料 Unload 下料 Magnetic tape 磁条(AGV路径所使用的磁条) Retrieve 检索 RTM (Rotary Transfer Machine) 旋转传送机构 SCARA arm AGV传送臂 Reset 重新设定 Transportation 传输 Operation Instruction 生产操作系统 Recipe 工艺参数的组合 Stock out 将Cassette取出货栈 Request 要求,请求 Transfer 传送,运送 Instruction 命令,指令 Select 选择 Cancel 取消 Operation 作业,操作 Support 支援,支持 Process 工艺 Start 开始 Comp. 完成（Completion的缩写） Batch 批量 Lot 批(指生产线的在制品或产品控制单位) ID (Identity) 识别码(如Lot ID or Chip ID) Sheet 片(Array区玻璃基版计数单位) Chip 片(Cell区玻璃计数单位) Inspection 检验 Defect 缺陷 Production 生产 Hold 滞留 Release 释放 Equipment 设备（简称为EQP） Tool 工具,机台 WIP (Work In Process) 在制品（工艺在制品） Maintenance 维修保养 Cassette 工装篮(阵列段),卡夹 (制盒段及模块段) Empty 空的 Reserve 预备 Report 报告 Scrap 报废 Rework 返工 Log on 登录，入系统 Log off 注销登录，离开系统 Note 批注 Array 阵列段 Stepper 步进式曝光机 Backside-Exposure 背面曝光 RIE (Reactive ion etching) 反应性离子刻蚀 PE (Plasma Etch) 等离子刻蚀机 ICP (Inductive Coupled Plasma) 电感偶式等离子刻蚀机 O3 Asher 臭氧灰化（为去光刻胶机的模块之一，用来去除工艺的有机残留） CJ 指高压水洗 MS 指超音波水洗 Heat 加热 Cool 冷却 Spec 规格 Brush 毛刷（清洗机所使用之软刷） DI; DI water; Deionized Water 去离子水 UPW 超纯水 Vent 破真空，真空环境下的玻璃送至LoadLock闭锁时，通入氮气平衡压力，以防止剧烈的气压变化造成破片 Purge 清洁（用CF或NF系列的气体通入CVD清除器壁累积的硅） Rinse 冲洗 Veri-Code 二维码 Bar-Code 条形码 Vacuum 真空 Plasma 等离子 PE (Plasma Etch) 等离子刻蚀机 Uniformity 均匀性(类似(大-小)/平均值的概念) Etching Rate 刻蚀速率(=刻蚀厚度/时间) Cell 制盒段 Detergent 清洁剂 γ- Butyrolactone γ-丁内酯, 简称γ液, 用于清除APR版上的PI PS (Photo Spacer) 光刻胶衬垫料（功能与普通的Spacer相同, 一般用于大尺寸产品, 且可得到较好的cell gap） UV sealant UV 胶（用于两块玻璃基板组合时假固定用） Polyfron 均压纸（ 基板压合时使用, 用于分隔基板, 可使压力均匀分布以及减少杂质所造成的损害） CDA (Compressed Dry Air) 压缩高压干燥空气 Control box 电源控制箱 Valve 阀门, 控制阀 Breaker 电源开关, 继电器 Clean booth 洁净工作台 模块段 Module Chip 芯片 Tape 胶带 Screw 螺丝 FPC (Flexible Printed Cable) 柔性印刷线路板 PCB (Printed Circuit Board) 印刷电路板 TAB (Tape Automated Bonding) 自动连带式贴合 OLB (Outer Lead Bonding) 外引脚接合 ILB (Inner Lead Bonding) 内引脚接合 COG (Chip on Glass) 芯片压合在玻璃 ACF(Anisotropic Conductive film) Film) 各向异性导电膜