洁净室运作介绍报告大纲洁净室定义与历史演练洁净室的
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与分类洁净室系统
设计
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模式洁净室构装设备与材料洁净室的测试与验收洁净室的运转管理CLEANROOM定义洁净室也称洁净室、CLEANROOM，定义为：Definedby209E:Aroominwhichtheconcentrationofairborneparticlesiscontrolledspecifiedlimits。定义：将空气中微粒子，温度，湿度，室压，气流，风速，振动，噪音，照明，及微生物等控制在一定值内的空间称之。按照控制对象区分：以浮游微粒子为对象的工业洁净室（IndustrialCleanRoom）以浮游微生物为对象的生化洁净室（BiologicalCleanRoom）洁净室历史演进1958美国发展太空科技开始研究洁净室1961完成美国空军洁净室相关规格1963完成美国联邦洁净室规格FederalStandardNo.209洁净室国际标准规范美国联邦FEDSTD209ISO/TC209洁净室标准FEDSTD209E洁净室标准ISO/TC209洁净室的分类层流模式乱流模式混合模式空气气流之流动成一均匀之直线空气经由覆盖率100%HEPA进入室内由高架地板回风适用于class1~100层流型系统空气由空调箱经风管与洁净室内之HEPA进入洁净室并由高架地板或侧面回风此型适用于Class1K~100K乱流型系统并用型系统高架地板回风区C-100C-10KC-10KC/R各方式之比较C/R系统基本要求控制微粒子数量至一定标准防止外界微尘粒子进入室内产生的微尘粒子与有害气体迅速的排出室外维持室内温度、湿度和压力防止静电的干扰系统稳定与节约能源考量C/R洁净设施中央空调系统（AIRCORTROLSYSTEM）FFU（FANFILTERUNIT）FMU（FANMODULEUNIT）空气浴尘机（AIRSHOWER、PASSPAX）洗手烘干机（HANDWASHERDRYERMACHINE）缓冲区（BUFFERROOM）黏着脚垫（STICKYMAT）高效滤网（HighEfficientyParticulateAir）泄压阀（Pressuredamper）真空吸尘器（VACUUMCLEANER）无尘衣服（DUSTFREEGARMENTS）等等休息一下！C/R检证验收项目HEPA泄漏测试风速风量测试正压测试洁净度测定温湿度测定照度测试绝缘测试其他测试C/R检证条件CLEANROOM的验收条件：A条件（as-built）竣工时的洁净室仅其附属设备处于运转状态。B条件（as-rest）非作业时的洁净室生产机台以定位安装，开机运作中，但无作业人员的状态C条件（operational）作业时的洁净室所有的附属设备运行，生产机台开机运作，作业人员在场的生产状态洁净室的运转管理清净度管理温湿度管理室压控制管理气流速度管理人员教育管理无尘衣着管理节约能源管理自然界之尘埃浓度
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