7.1 扩散定律(1)
7.1.1 菲克第一定律(Fick’s First Law)
扩散过程可以分类为稳态和非稳态。
在稳态扩散中,单位时间内通过垂直于给定方向的单位面积
的净原子数(称为通量)不随时间变化,即任一点的浓度不随
时间变化。在非稳态扩散中,通量随时间而变化。研究扩散时
首先遇到的是扩散速率问
题。
菲克(A. Fick)在 1855 年提出了菲克第一定律,将扩
散通量和浓度梯度联系起来。菲克第一定律指出,在稳
态扩散(即 )的条件下,单位时间内通过垂直于扩散方
向的单位面积的扩散物质量(通称扩散通量)与该截面
处的浓度梯度成正比。为简便起见,仅考虑单向扩散问
题。设扩散沿 x 轴方向进行(图 7-1),菲克第一定律的
表达式为
(7-1)
式中:J 为扩散通量(atoms/(m2·s)或 kg/(m2·s));D 为扩散
系数(m2/s); 为浓度梯度(atoms/(m3·m)或 kg/(m3·m)) (图
7-2 为浓度梯度示意图);“-”号表示扩散方向为浓度梯度
的反方向,即扩散由高浓度向低浓度区进行。此方程又
称为扩散第一方程。
当扩散在稳态条件下应用(7-1)式相当方便。
7.1.2 菲克第二定律 (Fick’s Second Law)
实际上,大多数重要的扩散是非稳态的,在扩散过程中扩散物质的浓度随时间而变化,即
dc/dx≠0。为了研究这种情况,根据扩散物质的质量平衡,在菲克第一定律的基础上推导出
了菲克第二定律,用以分析非稳态扩散。在一维情况下,菲克第二定律的表达式为
(7-2)
式中: 为扩散物质的体积浓度(atoms/m3 或 kg/m3); 为扩散时间(s); 为扩散距离(m)。
(7-2)式给出 c=f(t,x)
函数
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关系。式(7-2)又称为扩散第二方程。由扩散过程的初始条件和
边界条件可求出(7-2)式的通解。利用通解可解决包括非稳态扩散的具体扩散问题。
7.1.3 扩散方程的求解
1. 扩散第一方程
扩散第一方程可直接用于描述稳定扩散过程。下面用氧通过金属薄壁的扩散过程来说明扩
散第一方程的解法。
如图 7-3 所示,一个内外
径分别为 r1 和 r2 的球罐中
储存有高压氧气,罐内气压
为 p1,罐外大气中氧分压
为 p2。由于氧气泄漏非常
缓慢,所以假设 p1 不随时
间变化,达到稳态后,氧气
将以一恒定速率泄漏。由菲
克第一定律,氧气在球罐壁
内的扩散通量为
则,通过整个球罐壁单位时间泄漏的氧气量为
(7-3)
对上式积分,有
(7-4)
其中,c1 和 c2 分别为氧分子在球罐内、外壁的溶解度。根据 Sievert 定律,双原子分子气体
在固体中的溶解度通常与压力的平方根成正比,即 c=Kp1/2 因此,单位时间内氧气泄漏量为
(7-5)
2. 扩散第二方程
1)高斯解
把总量为 M 的扩散元素沉淀成非常薄的薄层,夹在两个“无限”厚的相同试样之间进行扩
散。这里的无限厚是指试样的厚度或长度远大于点阵扩散长度时的情况。这时近似取沉淀层
的厚度为零,则方程(7-2)的初始条件和边界条件分别为
t=0,x=0 C=∞
x≠0 C=0
t≥0 x=±∞ C=0
满足方程(7-2)及上述条件的解为
(7-6)
此解称为高斯函数解,其曲线如图 7-4 所示。若沉淀物是置于试样表面的薄层,即扩散只向
x>0 扩散,则方程的解应为
(7-7)
利用此解可以通过示踪原子法测定固体材料中扩散系数,以及解决半导体掺杂过程中的
扩散问题。
7.1 扩散定律(3)
2)误差函数解
在 t 时间内,试样表面扩散组元 i 的浓度 Cs 被维持为常数,试样中 i 组元的原始浓度为
C0,试样的厚度认为是“无限”厚,则此问题称为半无限长物体的扩散问题。此时,方程(7-2)
的初始条件和边界条件应为
t=0,x>0 C= C0
t≥0? x=0 C=Cs
x=∞ C=C0
满足方程(7-2)及上述条件的解为
(7-8)
上式称为误差函数解,其曲线如图 7-5 所示。式中
为高斯误差函数:
(7-9)
与给定 β 值相对应的误差函数值可由表 7-1 查得。
7.1.4 扩散的驱动力及上坡扩散
菲克定律指出扩散总是向浓度低的方向进行的。但事实上很多情况,扩散是由低浓度处
向高浓度处进行的,如固溶体中某些偏聚或调幅分解,这种扩散被称为“上坡扩散”。上坡扩
散说明从本质上来说浓度梯度并非扩散的驱动力,热力学研究表明扩散的驱动力是化学位梯
度。
??? 由热力学可知,系统中的任何过程都是沿着自由能 G 降低的方向进行的。平衡条件是
系统中各处的化学势 相等,即化学位梯度为 0。扩散过程也不例外。设 ni为组元 I 的原子
数,则化学位 就是 I 的自由能。原子受到的驱动力可由化学位对距离的求导得出
(7-10)
式中:“-”号表示驱动力与化学位下降的方向一致,也就是扩散总是向化学位减少的方向进
行的。
一般情况下的扩散如渗碳、扩散退火等 与 的方向一致,所以扩散表现为向浓度降低
的方向进行。固溶体中的溶质原子的偏聚、调幅分解等 与 方向相反,所以扩散表现为
浓度高的方向进行(上坡扩散)。
引起上坡扩散的还可能有下面一些情况:
a) 弹性应力作用下的扩散
金属晶体中存在弹性应力梯度时,将造成原子的扩散。大直径的原子跑向点阵的伸长部分,
小直径的原子跑向点阵受压缩的部分,造成固溶体中的溶质原子的不均匀。
b) 晶界的内吸附
一般情况晶界能量比晶粒内部高。如果溶质原子位于晶界上可使体系总能量降低,它们就会
扩散而富集在晶界上,使得晶界上浓度比晶内的高。
c) 电场作用下的扩散
很大的电场也促使晶体中的原子按一定方向扩散。
菲克定律
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菲克定律
菲克定律,是描述气体扩散现象的宏观规律,这是生理学家菲克(Fick)于 1855
年发现的。包括两个内容:(1)早在 1855年,菲克就提出了:在单位时间内通
过垂直于扩散方向的单位截面积的扩散物质流量(称为扩散通量 Diffusion
flux,用 J表示)与该截面处的浓度梯度(Concentration gradient)成正比,也
就是说,浓度梯度越大,扩散通量越大。这就是菲克第一定律。(2)菲克第二
定律是在第一定律的基础上推导出来的。菲克第二定律指出,在非稳态扩散过程
中,在距离 x处,浓度随时间的变化率等于该处的扩散通量随距离变化率的负值。
目录
菲克第一定律(Fick’s first law)
菲克定律里的稳态扩散和非稳态扩散
菲克第二定律(Fick’s second law)
编辑本段菲克第一定律(Fick’s first law)
早在 1855 年,菲克就提出了:在单位时间内通过垂直于扩散方向的单
位截面积的扩散物质流量(称为扩散通量 Diffusion flux,用 J 表示)与
该截面处的浓度梯度(Concentration gradient)成正比,也就是说,浓度
梯度越大,扩散通量越大。这就是菲克第一定律,它的数学表达式如下:
······(1)
式(1)中, D 称为扩散系数(m2/s),C 为扩散物质(组元)的体积浓
度(原子数/m 或 kg/m),dC/dx 为浓度梯度,“–”号表示扩散方向为浓度
梯度的反方向,即扩散组元由高浓度区向低浓度区扩散。扩散通量 J 的单
位是 kg / m^2·s。
扩散系数
扩散系数(Diffusion coefficient)D 是描述扩散速度的重要物理量,
它相当于浓度梯度为 1 时的扩散通量,D 值越大则扩散越快。对于固态金属
中的扩散,D 值都是很小的,例如,1000℃时碳在 γ-Fe 中的扩散系数 D 仅
为 10m^2/s 数量级。
编辑本段菲克定律里的稳态扩散和非稳态扩散
菲克第一定律只适应于和 J 不随时间变化——稳态扩散(Steady-state
diffusion)的场合(见图 3.7-1)。对于稳态扩散也可以描述为:在扩散过
程中,各处的扩散组元的浓度 C 只随距离 x 变化,而不随时间 t 变化,每
一时刻从前边扩散来多少原子,就向后边扩散走多少原子,没有盈亏,所
以浓度不随时间变化。实际上,大多数扩散过程都是在非稳态条件下进行
的。非稳态扩散(Nonsteady-state diffusion)的特点是:在扩散过程中,
和 J 都随时间变化。通过各处的扩散通量 J 随着距离 x 在变化,而稳态扩
散的扩散通量则处处相等,不随距离而发生变化。对于非稳态扩散,就要
应用菲克第二定律了。
编辑本段菲克第二定律(Fick’s second law)
菲克第二定律是在第一定律的基础上推导出来的。菲克第二定律指出,
在非稳态扩散过程中,在距离 x 处,浓度随时间的变化率等于该处的扩散
通量随距离变化率的负值,即
将代入上式,得
······(2)
这就是菲克第二定律的数学表达式。如果扩散系数 D 与浓度无关,则
该式可以写成
······(3)
上式中,C 为扩散物质的体积浓度(kg/m), t 为扩散时间(s), x 为距离
(m)。实际上,固溶体中溶质原子的扩散系数 D 是随浓度变化的,为了使求
解扩散方程简单些,往往近似地把 D 看作恒量处理。
式(2)和(3)都是偏微分方程,求解时应先作变换:令,这样,式(3.7-3)
就可以变成一个常微分方程,再结合初始条件和边界条件求出方程的通解。
利用通解可以解决包括非稳态扩散的具体问题。