【doc】降低TFT-LCD生产成本的沉积工艺
降低TFT-LCD生产成本的沉积工艺 20119年第1期
(2)碳纳米管电极:一种新型实用的微电极携有碳纳米管.在碳纳米管顶端及其边壁
加入功能团及金属微粒使其成为一种新型混合,多相催化剂.在聚合物中,这种催化剂一起
构成柔软的,具催化活性的隔膜.碳纳米管拥有独特的物理和化学结构,这使其有希望成为
下一代微电子模块燃料电池的电极
材料
关于××同志的政审材料调查表环保先进个人材料国家普通话测试材料农民专业合作社注销四查四问剖析材料
.
到目前为止,尚无人试图将方块状燃料电池组件制成板状或软片状;如果得以实现,这
将给设计人员在部署元件时有更大的灵活性.板状组件还有其他一些优点,如更易于维修,
在一定程度上有可能通过对流使器件降温等.这一解决
方案
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使燃料电池出现故障时不致完全
停工,而有可能以低效运行方式继续使用.
采用板式设计有可能使燃料电池的功率密度大为提高,因为这一设计并不
要求
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在对面电
接触时装有沉重的夹具框.这一点对移动式电子装置非常重要,对一些需要重量轻的电源时
也是如此.作为一种可折叠燃料电池板式工艺,这种板的效率应该更高,更紧凑,更方便.
在未来的电子学及远程通信设备中,这种设备将更具有竞争力. (3)金属双极板材:燃料电池组测试表明,适当涂铝的薄层板材优于老式石墨流场板
材,金属板的电子传导率是石墨板的4N5倍,表面接触电阻只有15nff)-cm2,而成本却是石
墨板材的I/10.这种工艺可生产出有前途的,成本更低的石墨代用品. 燃料电池的未来
工艺进展表明,氢燃料电池作动力的轿车是实际可行的,在今后的若干年内这是一种现
实需要的零排放交通工具.我们确信,这一领域的研究工作毫无异议地将给世界提供更加持
久的能源,并使未来的发电工作不带污染.
(杨英惠摘译)
降低TFT-LCD生产成本的沉积工艺
大面积吁ICD(薄膜晶体管.液晶显示)电视是2l世纪消费电子产品的主要成功"案 例"之一,由于近年来其价格不断下降,多数消费者都买得起.在这方面?LCD设备制
造商也起了不小作用.以PEVCD(等离子增强化学气相沉积)为例,通过加大大面积衬底
的加工能力,设备制造商已明显降低了单位衬底面积的生产成本,由第四代尺寸设备
(6g0~880mm2)到第8.5代尺寸设备(2200x2500mm)下降了8O%.用于陈列加工的其他
设备,如PVD(物理气相沉积)和腐蚀(设备)在降低成本方面也有类似的情况. 降低制造成本
1]FT-LCDTV制造商总在追求降低制造成本以便降低新TV的售价,这包括降低材料成
本和整个设备占用成本.大面积加工设备要求有高的性价比,低的总占用成本和制备出性能
良好的薄膜;这些需求对PVD阵列系统是复杂的,希望产量高,操作成本低,这需要良好
的系统结构以便能沉积出高性能的单层和三层薄膜,随着金属材料和铟锡氧化物(rrO)的
变化,层的厚度在25~500nm之间,该系统需要在纯Ar气或反应性加工进行溅射沉
积的能
力.研究人员发现了一种新概念TFr阵列溅射系统可进一步降低大面积TV板制造的占用成
本和材料成本,这种新设计还支持8.5代以后的大面积衬底和象素ITO沉积. 降删造中的材科成本
大面积?LCD溅射系统中降低材料成本的关键是使用较廉价的靶材并用旋转靶(以
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2009年第1期
提高靶的利用率)设计和新的预溅射技术.TFT-LCD制造商所用典型靶材料是Mo,Ti,
Mo合金和ITO,较廉价的替代品是较厚的和Cu,而且不必键合到支撑板或支撑管上(Mo,
Ti及Mo合金靶则有此需求)从而不必使用较贵的焊料.旋转靶与平面靶相比有其固有的优
点:寿命长(是平面靶的5倍以上),靶材利用率大大提高——由平面靶的20~/~-40%提高到
80%,这些优点己在第6代尺寸系统中得到证明.阴极作成半圆形以得到最佳层均匀性,它
避免了边缘掩模的阴影效应.靶表面清洁加工可连续进行,在装入新玻璃时无需中断.预溅
射只需一块衬底,所以该系统运行成本中可节省49个8.5代衬底;对预溅射而言"陪片"
玻璃可再次利用5次.
工艺数据
上述新工艺所沉积膜的性能(直到8.5代衬底)以厚度均匀性,电阻率和缺陷比来表征.
实验结果是:在8.5代设备上用旋转靶,厚度均匀性<?15%,薄层阻率在3~3.5uQ.eli1
之间.含靶侵蚀分布的靶利用率达88%.
结论
TFT-LCD工业要不断扩大在彩电市场中的份额,在所有环节:从生产商,元件供应商
到设备供应商都要各自设法降低材料成本和总占用成本,并保持产品性能符合要求,对
nLCD阵列溅射的新工艺可以达到这些目的.
,
(邓志杰摘译)
穗
耐穿孔的芳族聚酰胺/聚氨基甲酸酯燃料软囊材料
英国GIN航空公司的
工程
路基工程安全技术交底工程项目施工成本控制工程量增项单年度零星工程技术标正投影法基本原理
师开发出一种新型单层软囊材料,可减少挥发性有机化合物
(VOCs)应用于燃料罐.这种软胶囊耐划伤,对穿刺也有一定耐受力.据估计,采用这种
材料可减少60%的VOCs应用和30%的制造时间,每个燃料罐的重量则可减少5%.
这种材料是由编织芳族聚酰胺纤维芯布和热塑聚氨基甲酸酯外层构成的复合材料,内面
涂有专用燃料阻挡层.燃料阻挡层与燃料的兼容性与普通燃料罐相当.这意味着无需用胶于
防划层,而且极大地减少了VOC溶剂的用量.制造
方法
快递客服问题件处理详细方法山木方法pdf计算方法pdf华与华方法下载八字理论方法下载
是普茨茅斯公司自行开发的一种热
喷涂工艺.
(杨英惠摘译)
可焊接的镀镍不锈钢包铜材料
美国技术材料公司是一家电刷工程材料公司,开发出了一种可焊接的良好导电材料.这
种称为Ni-Tmeclad36的材料是一种不锈钢双包铜,其表面经过镍特殊处理.它的电
导率是
CS的36%,比市售纯镍高一倍,其可焊性优于其它良导替代物. 镀镍层在激光焊接和钎焊时也有良好的结合性,模拟汽车运行时的温度变化,在湿度环
境中测试也显示出这种材料有良好的耐蚀性能.在四分硬度回火条件下,材料有良好的成形
性能,其表面也可电镀.
技术材料公司与工业界的领先厂家共同开发了这种材料在电源装置中的应用,其中有混
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浙公网安备 33021202002483