敏感材料——光、气、湿度目录概念、分类原理及生产应用实例发展趋势敏感材料是对电、光、声、力、热、磁、气体分布等场的微小变化而表现出性能明显改变的功能材料（通常称之为第二代材料）敏感元件是传感器的核心元件。敏感元件要求：灵敏度高、稳定性和可靠性高，互换性和生产重复性好，在某些情况下还要求有高的响应速率概念热敏材料光敏材料磁敏材料湿敏材料力敏材料气敏材料敏感材料光敏材料湿敏材料气敏材料敏感材料按功能分类分类目录概念、分类原理及生产应用实例发展趋势气敏材料湿敏材料光敏材料敏感材料光敏电阻：利用光电导效应检测光强度的光敏元件光致抗蚀剂：抗蚀涂层用的感光性树脂原理气敏材料湿敏材料光敏材料敏感材料本征光电导杂质光电导电压光照自由电子+空穴+导电性能改变气敏材料湿敏材料光敏材料敏感材料光致抗蚀剂光致抗蚀剂，又称光刻胶，由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。应用感光树脂经光照固化反应物性改变溶解度、亲和性溶剂溶蚀主要用途：大规模集成电路中细微图形加工的关键材料之一。光敏材料湿敏材料气敏材料敏感材料气敏材料的电阻值将随所处环境的气氛而改变，其阻值随材料类型和气体的浓度作有规则的变化O2气敏元件所用材料：ZrO2、TiO2H2、CO2、烃类气敏元件所用材料：SnO2、ZnO原理ZrO2气敏陶瓷材料光敏材料湿敏材料气敏材料敏感材料材料又具有多孔性，可制成测定氧分压的传感器在ZrO2中固溶Y2O3Y3+取代Zr4+产生氧空位产生电势差ZnO气敏材料光敏材料湿敏材料气敏材料敏感材料ZnO元件元件高阻元件电阻减小O2被测气体应用：气敏检漏仪可用于矿井、工厂、家庭的还原性有害气体的检测。应用特点：灵敏度高达百万分之一的数量级，且出现最高灵敏度的温度较低，对气体的检测是可逆的，吸附、解析时间短，对气体的选择性强。制备方法：纯ZnSO4·H2O用蒸馏水溶解后，分别加入适量的(控制pH=8～9)，草酸铵，碳酸钠和尿素溶液,充分搅拌，静置，洗涤干净后抽滤，将得到的沉淀在l1O℃干燥,再分别于500℃和800℃热处理即可。光敏材料气敏材料湿敏材料敏感材料利用材料吸附效应直接吸附大气中的水分子，使材料的电学特性（水电离引起离子传输，使固体材料电阻率降低）等物理特性发生变化进行测量电解质型陶瓷型半导体结型高分子型原理光敏材料气敏材料湿敏材料敏感材料利用陶瓷烧结时形成的多孔结构，吸附和凝聚水分子作为导电通路，改变陶瓷本身的电导率或电容量特点：材料来源丰富相对湿度范围宽湿滞回差小响应速度快富含开口气孔，易于吸收水蒸气目录概念、分类原理及生产应用实例发展趋势现在小量程范围内高精度、快响应和微型化对现有敏感材料,近可能地提高其测量上限或测量下限开发某些具有特殊气压敏感原理的新型敏感材料开发气体压力敏感材料领域的计算机模拟技术,对敏感材料的物理性能进行模拟计算气敏材料光敏材料-新型的抗蚀剂水溶性光致抗蚀剂vs传统的光致抗蚀剂1环境友好化2成像过程简单化3”溶胀现象“1涉及高危险的溶液2对环境有较大污染3溶胀现象不明显电解质类陶瓷和多孔金属类高分子类湿敏材料-高分子型电解质易被稀释和流出，影响感湿性能优异的耐热性能对湿度的响应迅速再现和互换性较差，不耐污染材料来源丰富湿度范围大响应快受限于高分子材料自身的性质谢谢观赏！
本文档为【敏感材料-光、气、湿度】，请使用软件OFFICE或WPS软件打开。作品中的文字与图均可以修改和编辑，
图片更改请在作品中右键图片并更换，文字修改请直接点击文字进行修改，也可以新增和删除文档中的内容。
该文档来自用户分享，如有侵权行为请发邮件ishare@vip.sina.com联系网站客服，我们会及时删除。
[版权声明] 本站所有资料为用户分享产生，若发现您的权利被侵害，请联系客服邮件isharekefu@iask.cn，我们尽快处理。
本作品所展示的图片、画像、字体、音乐的版权可能需版权方额外授权，请谨慎使用。
网站提供的党政主题相关内容(国旗、国徽、党徽..)目的在于配合国家政策宣传，仅限个人学习分享使用，禁止用于任何广告和商用目的。
浙公网安备 33021202002483