防止污染物质飞散及再附着的基板抛光装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110405612A(43)申请公布日2019.11.05(21)申请号201910303501.XB24B55/06(2006.01)(22)申请日2019.04.16B24B41/00(2006.01)(30)优先权数据10-2018-00486442018.04.26KR(71)申请人凯恩杰株式会社地址韩国忠清南道牙山市遁浦面牙山溪谷北路，121，石谷里(72)发明人裵起煥　(74)专利代理机构北京天盾知识产权代理有限公司11421代理人胡凯(51)Int.Cl.B24B29/02(2006.01)B24B55/04(2006.01)B24B55/02(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图9页(54)发明名称防止污染物质飞散及再附着的基板抛光装置(57)摘要本发明涉及基板抛光装置，更具体地说，涉及一种能够防止抛光水或抛光粉残留或附着到基板的基板抛光装置。本发明的基板抛光装置包括：桌台，用于放置基板；抛光轮，抛光基板的上部棱角和下部棱角；轮罩，围住所述抛光轮，正面形成开口部而使得基板接触所述抛光轮；气动装置，排出所述轮罩内部的气体；以及水幕喷嘴(water curtain nozzle)，设置于所述开口部的上部或下部。CN110405612ACN110405612A权　利　要　求　书1/1页1.一种基板抛光装置，其特征在于，包括：桌台，用于放置基板；抛光轮，抛光基板的上部棱角和下部棱角；轮罩，围住所述抛光轮，正面形成开口部而使得基板接触所述抛光轮；气动装置，排出所述轮罩内部的气体；以及水幕喷嘴(water curtain nozzle)，设置于所述开口部的上部或下部。2.根据权利要求1所述的基板抛光装置，其特征在于，包括设置于所述开口部的上部或下部的气幕喷嘴(air curtain nozzle)。3.根据权利要求1所述的基板抛光装置，其特征在于，在所述轮罩的进入部侧壁或排出部侧壁具有从上部或下部向基板喷水的水幕喷嘴或喷射空气的气幕喷嘴中的其中一个或多个。4.根据权利要求1所述的基板抛光装置，其特征在于，在所述轮罩的排出部侧壁还具有气刀(air knife)。5.一种基板抛光装置，其特征在于，包括：桌台，用于放置基板；抛光轮，抛光基板的侧面；轮罩，围住所述抛光轮，正面形成开口部而使得基板接触所述抛光轮；气动装置，排出所述轮罩内部的气体；以及水幕喷嘴(water curtain nozzle)，设置于所述开口部的上部或下部。6.根据权利要求5所述的基板抛光装置，其特征在于，包括设置于所述开口部的上部或下部的气幕喷嘴(air curtain nozzle)。7.根据权利要求6所述的基板抛光装置，其特征在于，所述水幕喷嘴及气幕喷嘴形成在所述轮罩的侧壁厚度。8.根据权利要求7所述的基板抛光装置，其特征在于，所述气幕喷嘴比所述水幕喷嘴更靠近外侧而形成。2CN110405612A说　明　书1/4页防止污染物质飞散及再附着的基板抛光装置技术领域[0001]本发明涉及基板抛光装置，更具体地说，涉及能够防止抛光粉附着到基板的基板抛光装置。背景技术[0002]通常，需要将LCD或OLED等平板显示器面板或者LCD显示器所具有的导光板(Light Guiding Plate)等切割成所需大小来使用。[0003]以下将原板、玻璃基板、导光板及面板等加工对象统称为基板。[0004]需要对被切割的基板的棱角进行抛光的过程，而图1及图2示出现有的基板抛光装置。[0005]图1及图2是现有的多轮式基板抛光装置。如图所示，具有相对设置的两个上部轮20a，20b和一个下部轮30，在所述两个上部轮20a，20b之间的空间，以一部分重叠地设置下部轮30，能够同时抛光基板S的上部和下部的棱角。[0006]另外，当抛光基板S的棱角时，会产生抛光粉。这样产生的抛光粉会附着到基板的 表 关于同志近三年现实表现材料材料类招标技术评分表图表与交易pdf视力表打印pdf用图表说话 pdf 面而污染基板。并且，抛光过程中喷射的抛光水会残留在基板上而污染基板。[0007]因此，根据现有技术，在抛光基板的棱角后，为了去除抛光粉和残留的抛光水，清洗及干燥过程是必需的。发明内容[0008](要解决的技术问 题 快递公司问题件快递公司问题件货款处理关于圆的周长面积重点题型关于解方程组的题及答案关于南海问题 )[0009]本发明的目的在于提供一种能够防止基板抛光中产生的抛光粉附着到基板的基板抛光装置。[0010]本发明的另一目的在于提供一种能够防止抛光水残留在基板上的基板抛光装置。[0011](解决问题的手段)[0012]用于解决如上所述的技术问题的本发明的基板抛光装置包括：桌台，用于放置基板；抛光轮，抛光基板的上部棱角和下部棱角；轮罩，围住所述抛光轮，正面形成开口部而使得基板接触所述抛光轮；气动装置，排出所述轮罩内部的气体；以及水幕喷嘴(water curtain nozzle)，设置于所述开口部的上部或下部。[0013]并且，优选地，包括设置于所述开口部的上部或下部的气幕喷嘴(air curtain nozzle)。[0014]并且，优选地，在所述轮罩的进入部侧壁或排出部侧壁具有从上部或下部向基板喷水的水幕喷嘴或喷射空气的气幕喷嘴中的其中一个或多个。[0015]并且，优选地，在所述轮罩的排出部侧壁还具有气刀(air knife)。[0016]本发明的另一基板抛光装置包括：桌台，用于放置基板；抛光轮，抛光基板的侧面；轮罩，围住所述抛光轮，正面形成开口部而使得基板接触所述抛光轮；气动装置，排出所述轮罩内部的气体；以及水幕喷嘴(water curtain nozzle)，设置于所述开口部的上部或下3CN110405612A说　明　书2/4页部。[0017]并且，优选地，包括设置于所述开口部的上部或下部的气幕喷嘴(air curtain nozzle)。[0018]并且，优选地，所述水幕喷嘴及气幕喷嘴形成在所述轮罩的侧壁厚度。[0019]并且，优选地，所述气幕喷嘴比所述水幕喷嘴更靠近外侧而形成。[0020](发明的效果)[0021]根据本发明，能够防止基板抛光中产生的抛光粉附着到基板。[0022]并且，能够防止抛光水残留在基板上。附图说明[0023]图1及图2示出现有基板抛光装置。[0024]图3至图8示出本发明的第一实施例。[0025]图9至图13示出本发明的第二实施例。[0026]图14示出基板抛光后的状态图。[0027]符号说明[0028]100：第一实施例[0029]110：抛光轮[0030]120：轮罩[0031]130，140，150：水幕喷嘴[0032]160：气刀[0033]170：气动装置[0034]200：第二实施例[0035]210：抛光轮[0036]220：轮罩[0037]230：气动装置具体实施方式[0038]下面参照附图更具体地说明本发明的实施例的构成及作用。[0039]参照图3，本发明的第一实施例100包括：放置基板的桌台T、同时抛光放置在所述桌台T上的基板S的上下棱角的抛光轮110、轮罩120。[0040]所述轮罩120是围住所述抛光轮110而防止抛光所述基板时产生的抛光粉或抛光水的飞散的构件。[0041]所述抛光轮110是与图1的抛光轮20a，20b，30类似的多轮式。即，包括相对隔开设置的两个上部轮，以一部分重叠地设置在两个上部轮之间的空间的一个下部轮。[0042]并且，具有使得所述上部轮和下部轮旋转的主轴，横向设置所述主轴的旋转轴(参照图1，图7)。[0043]参照图4及图5，围住所述抛光轮110的轮罩120的正面形成开口部121。所述基板通过所述开口部121进入该轮罩10的内部空间，从而接触抛光轮110。为了所述基板的上下棱角被所述抛光轮抛光并使基板移动，在所述轮罩的两个侧面形成图开口部(参照图7的'4CN110405612A说　明　书3/4页123a')。[0044]形成在所述轮罩120正面的开口部121的上部和下部具有水幕喷嘴130，130a，130b。[0045]所述水幕喷嘴130以一排形成有多个喷射孔131，以向附着到轮罩120的一面以水幕形态喷水，所述喷射孔131被固定为在所述开口部121的上部和下部以既定距离隔开而位于狭缝122中。因此，通过所述水幕喷嘴130，130a，130b的喷射孔131喷射的水通过所述狭缝122朝基板的上部和下部喷射而形成水幕。如上述，可以防止通过喷射孔131喷射的水抛光基板的上部棱角和下部棱角时产生的抛光粉飞散而附着到基板。并且，通过喷射孔131喷射的水能够起到冷却抛光时产生的热并使得抛光顺畅的抛光水的作用。[0046]本实施例中仅示出形成喷水的喷射孔130a的水幕喷嘴130，但与此不同地，也可以在喷水的喷射孔131的上部或下部形成喷射空气的喷气孔(附图未示出)。更具体地说，在喷水的喷射孔130a的上部或下部，以一排形成喷射空气的喷气孔。[0047]水幕喷嘴130除了喷水之外，还以气幕形态喷射空气，从而能够在所述轮罩120中形成的开口部121的上部和下部同时形成水幕和气幕，由此确切地防止抛光时产生的抛光粉飞散而附着到基板。[0048]并且，所述轮罩120的排出侧(以基板移动方向而言时后侧)具有气刀160。其能够喷射高压空气来去除残留在基板上的抛光水或水幕的水滴。[0049]以所述开口部121为基准，分别在上部和下部设置所述气刀160，从而能够从所述基板的上部和下部喷射高压空气。[0050]参照图6及图7，本发明的第一实施例100中，轮罩120的两侧壁，即进入部侧壁和排出部侧壁123分别具有水幕喷嘴140，150。[0051]所述水幕喷嘴140，150上形成用于向基板方向喷水的喷射孔141，151。本实施例中，虽然被供应水的喷射孔141，151形成为一排，但更优选地，也可以与被供应气体的喷射孔142，152一同排成两排。[0052]因此，轮罩120的正面和两侧壁分别具有水幕喷嘴130，140，150，三面形成水幕或气幕，从而有效防止抛光粉飞散。[0053]参照图8，本发明的第一实施例100中，具有用于排出所述轮罩120内部的气体以及抛光水而形成吸入压力的气动装置170。[0054]所述气动装置170吸入，排出所述轮罩120的内部空气而形成真空气氛，此时，由所述气动装置170排出的抛光水经过排水箱(附图未示出)通过排水道排出，抛光粉和吸入的空气被一同排出。[0055]图9及图10示出本发明的第二实施例200。第一实施例是多轮式，第二实施例是槽轮式抛光装置。[0056]参照图9及图10，本发明的第二实施例200具有水平放置基板S的桌台T和抛光所述基板S的侧面的圆筒形的抛光轮210。所述抛光轮210通过主轴以水平方向旋转，因此抛光轮210的旋转轴是垂直的。[0057]尤其，为了防止所述抛光轮210的抛光作业时产生的抛光粉飞散，具有围住抛光轮210的轮罩220。[0058]参照图11，所述轮罩220形成为整体上与抛光轮210相似的圆筒形态，一侧形成开5CN110405612A说　明　书4/4页口部221，基板通过所述开口部221进入轮罩220的内部而能够接触抛光轮210。[0059]参照图12及图13，形成在所述轮罩220的开口部221的上部和下部分别形成水幕喷嘴223a，223b和气幕喷嘴222a，222b。即，所述水幕喷嘴223a，223b和气幕喷嘴222a，222b形成在所述轮罩220的侧壁的厚度面上。并且，水和空气的流路也形成在轮罩220侧壁的厚度面上。[0060]所述水幕喷嘴223a，223b向基板喷水而形成水幕，当抛光基板时供给抛光水，并防止抛光时产生的抛光粉飞散。[0061]所述气幕喷嘴222a，222b向基板喷射空气而形成气幕，防止抛光基板时产生的抛光粉飞散。[0062]另外，在轮罩220的开口部221，向内侧形成水幕喷嘴223a，223b，所述水幕喷嘴223a，223b的外侧形成气幕喷嘴222a，222b。[0063]并且，第二实施例中，也连接排出轮罩220内部的气体并排出抛光水的气动装置230而吸入并排出所述轮罩220的内部空气，形成真空气氛，此时，由所述气动装置230排出的抛光水经过排水箱(附图未示出)通过排水道排出，抛光粉和吸入的空气被一同排出。[0064]图14示出基板被抛光后的图，(a)是第一实施例中以气动装置170和气刀160不工作的状态实施抛光的样态。由此可知，基板表面分布着大量的抛光水。[0065](b)是第一实施例中以气动装置170工作而气刀160不工作的状态实施抛光的样态。此时，相比(a)，基板上残留的抛光水和再附着的抛光粉明显减少。具体来说，在基板的末端50mm以内区域中，间歇性地分布着3mm以下的水滴。并且，抛光时，用肉眼没有看到轮罩内部形成的云雾形态的水滴。[0066](c)是第一实施例中以气动装置170和气刀160都工作的状态实施抛光的样态。可见已改善到无法用肉眼确认基板上残留的抛光水和再附着的抛光粉的程度。[0067]可解释为通过气动装置170吸入并排出残留在内部的云雾形态的水和抛光时飞散的抛光粉并在基板排出时用气刀160喷射空气的结果。6CN110405612A说　明　书　附　图1/9页图1图27CN110405612A说　明　书　附　图2/9页图3图48CN110405612A说　明　书　附　图3/9页图59CN110405612A说　明　书　附　图4/9页图610CN110405612A说　明　书　附　图5/9页图7图811CN110405612A说　明　书　附　图6/9页图9图1012CN110405612A说　明　书　附　图7/9页图11图1213CN110405612A说　明　书　附　图8/9页图1314CN110405612A说　明　书　附　图9/9页图1415