JMP的使用电池张晓辉2009.12.07(一)JMPDOE的设计(二)JMP数据分析(三)JMPDOE的分析JMPDOE的设计根据影响OTBPECVD工艺因素较多的情况,分三部分设计实验。DOE1(ScreeningDoE):目的:找到影响效率最重要的因素,选择6个影响因素。包括:PHTTOP,DCHTOP,sourcecurrent,gasratio,totalflow,pumpfrequen