氯硅烷的性质
1、氯硅烷的基本物性
相关氯硅烷的基本性质见表1：
表1 氯硅烷的物理特性
类 别
分子式
分子量
沸点(℃)
凝固点(℃)
临 界 条 件
温度(℃)
压强(atm)
体积(cm3/g)
一氯硅烷
SiClH3
66.55
-30.4
-118.1
123.5
47.8
174
二氯硅烷
SiCl2H2
101.01
8.3
-122.0
176.3
44.4
211
三氯硅烷
SiCl3H
135.43
31.8
-134.0
206
40.6
268
四氯化硅
SiCl4
169.90
57.57
-70.0
233.8
37.1
326.3
2、氯硅烷的蒸汽压
氯硅烷的蒸汽压与温度关系见图1，经数据拟合可以得到对应的P-T曲线如下：
一氯硅烷： （式1-1）
二氯硅烷： （式1-2）
三氯氢硅： （式1-3）
四氯化硅： （式1-4）
说明
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：其中压强单位为kPa，温度单位为℃。
3、氯硅烷的汽化热
氯硅烷的汽化热与温度关系如图2，用图中
数据可以拟合得到如下方程：
三氯氢硅： （式2-1）
四氯化硅： （式2-2）
说明：H气的单位为kJ/mol，温度单位℃。
4、氯硅烷的密度
氯硅烷液体密度与温度关系见图3，对数据
进行拟合可以得到如下方程：
三氯氢硅： （式3-1）
四氯化硅： （式3-2）
说明：密度单位为kg/m3，温度单位℃。
5、氯硅烷的粘度
①、氯硅烷蒸汽粘度对温度的关系如图4，
用图中数据可以拟合得到如下方程：
三氯氢硅：
（式4-1）
四氯化硅：
（式4-2）
说明：粘度单位为10-5Pa.s，温度单位℃。
②、氯硅烷液体粘度对温度的关系如图5，用图中数据可以拟合得到如下方程：
三氯氢硅：
（式4-3）
四氯化硅：
（式4-4）
说明：粘度单位为1×10-3Pa.s，温度单位℃。
6、氯硅烷的表面张力
氯硅烷表面张力对温度的关系如图6，用图中数据可以拟合得到如下方程：
三氯氢硅：
（式5-1）
四氯化硅：
（式5-2）
说明：表面张力的单位为mN/m，温度单位℃。
7、氯硅烷的热容量
①、氯硅烷的蒸汽热容量对温度的关系如图7，
用图中数据可以拟合得到如下方程：
三氯氢硅： （式6-1）
四氯化硅： （式6-2）
说明：热容单位J/mol.K，温度单位℃。
②、氯硅烷的液体热容量对温度的关系
如图8，用图中数据拟合得到如下方程：
三氯氢硅：
（式6-3）
四氯化硅：
（式6-4）
说明：热容量单位为J/mol.K，温度单位℃。
临界温度和临界压力
①每种物质都有一个特定的温度，在这个温度以上，无论怎样增大压强，气态物质不会液化，这个温度就是临界温度。因此要使物质液化；首先要设法达到它自身的临界温度。有些物质如氨、二氧化碳等，它们的临界温度高于或接近室温，对这样的物质在常温下很容易压缩成液体。有些物质如氧、氮、氢、氦等的临界温度很低，其中氦气的临界温度为一268。C。要使这些气体液化，必须相应的要有一定的低温技术，以使能达到它们各自的临界温度，然后再用增大压强的方法使它液化。（临界温度）
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